專利名稱：描繪裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種由機(jī)構(gòu)等進(jìn)行描繪的描繪裝置，其該機(jī)構(gòu)通過(guò)在長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)上照射用設(shè)在曝光頭上的空間光調(diào)制元件(二維光調(diào)制器)等基于圖形數(shù)據(jù)調(diào)制的光束，而按規(guī)定的圖形曝光。
背景技術(shù)：
在一般所用的描繪裝置中，有通過(guò)用光束掃描記錄介質(zhì)，在其上面描繪所要求的圖像的掃描式的印刷基板曝光裝置、激光光電繪圖儀、激光打印機(jī)等曝光裝置。
在如此的曝光裝置中，例如，在是印刷基板曝光裝置的情況下，對(duì)記錄介質(zhì)即印刷布線基板用的基板材，掃描激光，進(jìn)行描繪。此處所用的印刷布線基板用的基板材，通過(guò)在絕緣層上形成導(dǎo)體薄膜，用光抗蝕劑覆蓋該導(dǎo)體薄膜而成。
該印刷基板曝光裝置，通過(guò)對(duì)如此的基板材，掃描基于圖像數(shù)據(jù)調(diào)制的激光，對(duì)該光抗蝕劑層感光所要求的基板圖形。
在從印刷基板曝光裝置上取下如此曝光處理的印刷布線基板用的基板材，然后通過(guò)實(shí)施光抗蝕處理，作為印刷基板完成。
在如此所用的以往的基板曝光裝置中，在送出輥片狀的記錄介質(zhì)的裝料器、和回收該記錄介質(zhì)的卸料器的之間拉架長(zhǎng)條帶狀的記錄介質(zhì)。在通過(guò)固定機(jī)構(gòu)將該拉架的記錄介質(zhì)的部分載置固定在描繪工作臺(tái)的描繪面上的狀態(tài)下，可通過(guò)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)高精度滑動(dòng)地構(gòu)成該描繪工作臺(tái)。此外，在拉架在裝料器和卸料器之間的記錄介質(zhì)的正上面，配置使激光掃描的掃描光學(xué)系統(tǒng)。
然后，通過(guò)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，高精度地輸送通過(guò)固定機(jī)構(gòu)將記錄介質(zhì)的被拉架的部分固定在描繪面上的描繪工作臺(tái)，同時(shí)掃描光學(xué)系統(tǒng)，與該描繪工作臺(tái)一同，高精度地對(duì)滑動(dòng)的介質(zhì)掃描基于圖像數(shù)據(jù)調(diào)制的激光，如此進(jìn)行描繪。
此外，在該以往的印刷基板曝光裝置中，由于在結(jié)束初始的描繪處理后，再次開始描繪處理，因此在解除描繪工作臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)，用裝料器的一對(duì)夾持輥固定記錄介質(zhì)，同時(shí)也用卸料器的一對(duì)夾持輥固定，使拉架在裝料器和卸料器之間的記錄介質(zhì)形成不動(dòng)的狀態(tài)后，利用滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，向裝料器側(cè)移動(dòng)描繪工作臺(tái)。接著，利用描繪工作臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)，使記錄介質(zhì)固定在描繪工作臺(tái)的描繪面上。然后，松開裝料器的一對(duì)夾持輥，通過(guò)裝料器的一對(duì)抽出輥，抽出記錄介質(zhì)，使其形成松馳狀態(tài)。接著，利用滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，使描繪工作臺(tái)向卸料器側(cè)移動(dòng)，同時(shí)利用掃描光學(xué)系統(tǒng)，掃描固定在該描繪工作臺(tái)的描繪面上的記錄介質(zhì)，同時(shí)通過(guò)卸料器的一對(duì)驅(qū)動(dòng)輥，向卸料器內(nèi)回收記錄介質(zhì)，結(jié)束下個(gè)描繪處理。另外，在再次進(jìn)行下個(gè)描繪處理的情況下，按需要次數(shù)重復(fù)上述的操作(例如，參照專利文獻(xiàn)1。)。
在如此的以往的印刷基板曝光裝置中，由于在結(jié)束描繪處理后，到開始下個(gè)描繪處理中，解除描繪工作臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)，用裝料器和卸料器分別固定記錄介質(zhì)，利用滑動(dòng)機(jī)構(gòu)向裝料器側(cè)移動(dòng)描繪工作臺(tái)，利用描繪工作臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)，將記錄介質(zhì)固定在描繪工作臺(tái)的描繪面上，然后，松開裝料器的一對(duì)夾持輥，通過(guò)裝料器的一對(duì)抽出輥，抽出記錄介質(zhì)，使其形成下垂，由于到結(jié)束以上動(dòng)作，不向下個(gè)描繪動(dòng)作移動(dòng)，因而曝光處理的時(shí)間以外的等待時(shí)間長(zhǎng)，所以存在生產(chǎn)性低的問題。
專利文獻(xiàn)1特開2000-235267號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于以上的事實(shí)，其目的在于提供一種新型描繪裝置，能夠連續(xù)地對(duì)長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)進(jìn)行曝光處理，從而能夠縮短等待時(shí)間，在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行多個(gè)曝光處理，提高生產(chǎn)性。
本發(fā)明的第1發(fā)明所述的描繪裝置，是連續(xù)地向一定的輸送方向輸送的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)，同時(shí)進(jìn)行描繪的描繪裝置，其特征在于，具有架設(shè)長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的至少2個(gè)輥；張力設(shè)定機(jī)構(gòu)，固定保持架設(shè)在長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)上的相鄰的2個(gè)輥之間的部分的張力，而平面地拉架長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)；描繪單元，在平面地拉架在相鄰的2個(gè)輥之間的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)上，按二維圖形進(jìn)行描繪處理。
通過(guò)按上述構(gòu)成，以在2個(gè)輥的之間架設(shè)所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)，用張力設(shè)定機(jī)構(gòu)一定地保持架設(shè)在2個(gè)輥的之間的部分的張力，使其平面拉架的狀態(tài)，輸送長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)。然后，能夠?qū)茉O(shè)在2個(gè)輥的之間的一定保持張力的平面地拉架的部分，用描繪單元，連續(xù)地按二維圖形進(jìn)行掃描處理。因而，由于通常能夠連續(xù)進(jìn)行曝光處理，所以能夠縮短等待時(shí)間，在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行多個(gè)曝光處理，能夠提高生產(chǎn)性。
第2發(fā)明所述的發(fā)明，是如第1發(fā)明所述的描繪裝置，其特征在于在用描繪單元描繪的、平面地拉架在相鄰的2個(gè)輥之間的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的背面?zhèn)扰渲帽３謸闲杂涗浗橘|(zhì)的平面性的下支撐機(jī)構(gòu)。
第3發(fā)明所述的發(fā)明，是如第1發(fā)明所述的描繪裝置，其特征在于下支撐機(jī)構(gòu)，是平面滑動(dòng)接觸的導(dǎo)向部件。
通過(guò)按上述構(gòu)成，除所述第1發(fā)明所述的發(fā)明的作用、效果外，由于從平面地拉架在相鄰的2個(gè)輥之間的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的背面由下支撐機(jī)構(gòu)支撐，保持撓性記錄介質(zhì)的平面性，能夠以保持更高的平面性的狀態(tài)進(jìn)行描繪處理，所以能夠更加提高描繪處理的穩(wěn)定性。
第4發(fā)明所述的發(fā)明，是如第1～第3發(fā)明中的任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于對(duì)于平面地拉架在所述相鄰的2個(gè)輥之間的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)，在輸送方向的描繪單元的上游側(cè)的位置上，在掃描撓性記錄介質(zhì)的面?zhèn)然虿幻枥L的面?zhèn)?，配置校?zhǔn)單元。
通過(guò)按上述構(gòu)成，除所述第1～第3發(fā)明中的任何一項(xiàng)所述的發(fā)明的作用、效果外，還能夠擴(kuò)大描繪裝置的設(shè)計(jì)的自由度，能夠謀求緊湊化。
第5發(fā)明所述的發(fā)明，是如第1～第3發(fā)明中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于在平面地拉架在相鄰的2個(gè)輥之間的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的兩面?zhèn)确謩e配置描繪單元。
通過(guò)按上述構(gòu)成，除所述第1～第3發(fā)明中的任何一項(xiàng)所述的發(fā)明的作用、效果外，還能夠同時(shí)描繪長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的表背兩面能夠提高描繪裝置的效率。
第6發(fā)明所述的發(fā)明，是如第5發(fā)明所述的描繪裝置，其特征在于在平面地拉架在相鄰的2個(gè)輥之間的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的兩面?zhèn)鹊闹辽僖环降拿枥L單元的上游側(cè)配置校準(zhǔn)單元。
第7發(fā)明所述的發(fā)明，是如第5發(fā)明所述的描繪裝置，其特征在于在平面地拉架在相鄰的2個(gè)輥之間的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的兩面?zhèn)鹊拿枥L單元的上游側(cè)分別配置校準(zhǔn)單元。
第8發(fā)明所述的發(fā)明，是如第1～第7發(fā)明中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于由激光曝光裝置構(gòu)成描繪單元。
第9發(fā)明所述的發(fā)明，是如第1～第8發(fā)明中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于描繪單元，以通過(guò)用空間光調(diào)制元件調(diào)制光束，曝光處理二維圖形的方式構(gòu)成。
第10發(fā)明所述的發(fā)明，是如第1～第9發(fā)明中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于描繪單元，以在用空間光調(diào)制元件調(diào)制光束后，利用自動(dòng)聚焦機(jī)構(gòu)，使其聚焦在長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)上，照射二維圖形的方式構(gòu)成。
根據(jù)本發(fā)明的描繪裝置，通過(guò)連續(xù)地對(duì)長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)進(jìn)行曝光處理，具有能夠在單位時(shí)間內(nèi)進(jìn)行多個(gè)曝光處理，從而提高生產(chǎn)性的效果。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置主要部位的簡(jiǎn)要構(gòu)成的立體圖。
圖2是表示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置主要部位的簡(jiǎn)要構(gòu)成的俯視圖。
圖3是表示向校準(zhǔn)攝像機(jī)校正用的位置移動(dòng)根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置的帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部的狀態(tài)的主要部位的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖。
圖4是表示向光束位置檢測(cè)用的位置移動(dòng)根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置的帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部的狀態(tài)的主要部位的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖。
圖5是表示向曝光面功率校正用的位置移動(dòng)根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置的帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部的狀態(tài)的主要部位的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖。
圖6是表示在根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置的曝光處理部的輸送路徑上設(shè)置撓性印刷布線基板材用的導(dǎo)向的構(gòu)成例的主要部位的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖。
圖7是表示在與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置的曝光處理部的輸送路徑上的曝光頭組件的相反側(cè)，設(shè)置校準(zhǔn)單元的構(gòu)成例的主要部位的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖。
圖8是表示在根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置的曝光處理部的輸送路徑的上下兩側(cè)，分別設(shè)置校準(zhǔn)單元和曝光頭理部的曝光頭組件的構(gòu)成例的主要部位的簡(jiǎn)要構(gòu)成圖。
圖9是表示用本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置曝光處理的撓性印刷布線基板材的主要部位的俯視圖。
圖中12-曝光處理部，14-未曝光的記錄介質(zhì)供給部，16-曝光后的記錄介質(zhì)回收部，20-線性移動(dòng)機(jī)構(gòu)，21-移動(dòng)工作臺(tái)，22-基板輸送部，24-基板厚度調(diào)整用Z工作臺(tái)，26-帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部，28-撓性印刷布線基板材，30-一對(duì)夾持輥，32-一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥，34-驅(qū)動(dòng)電機(jī)，36-減速機(jī)構(gòu)，38-入口導(dǎo)向輥，40-出口導(dǎo)向輥，42-校正刻度尺，44-光束位置檢測(cè)裝置，45-曝光面功率測(cè)定單元，46-校準(zhǔn)單元，48-曝光頭單元，50-基部，52-攝像部，54-曝光頭組件，58-控制單元，60-供給卷軸，66-出口側(cè)卷軸，68-松緊調(diào)節(jié)輥，70-卷取輥，76-輸送路徑出口側(cè)保持輥，78-入口側(cè)輥，82-平面滑動(dòng)接觸導(dǎo)向部件。
具體實(shí)施例方式
以下，參照?qǐng)D1～圖9，說(shuō)明本發(fā)明的描繪裝置的實(shí)施方式。
本發(fā)明的實(shí)施方式的描繪裝置作為曝光裝置構(gòu)成，該曝光裝置由控制單元自動(dòng)控制，通過(guò)向主掃描方向移動(dòng)以長(zhǎng)條帶狀的片形成的撓性記錄介質(zhì)即撓性印刷布線基板材，同時(shí)利用曝光頭，空間調(diào)制基于在控制單元從圖像數(shù)據(jù)生成的調(diào)制信號(hào)從光源側(cè)出射的多個(gè)光束，照射在撓性印刷布線基板材上，進(jìn)行曝光處理。
如圖1所示，該描繪裝置，在底座10的中央部配置曝光處理部12，在該曝光處理部12的一方的側(cè)部(朝圖1在左側(cè)部)配置未曝光的記錄介質(zhì)供給部14，在該曝光處理部12的另一方的側(cè)部(朝圖1在右側(cè)部)配置曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16，如此構(gòu)成。
該曝光處理部12，通過(guò)線性移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，將基板輸送部22安裝在設(shè)于底座10上的帶減振功能的裝置基臺(tái)18的平面上。
該線性移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，通過(guò)在帶減振功能的裝置基臺(tái)18的上平面部和安裝基板輸送部22的移動(dòng)工作臺(tái)21的之間，安裝線性電機(jī)或其它輸送機(jī)構(gòu)而構(gòu)成。
例如在由線性電機(jī)構(gòu)成該線性移動(dòng)機(jī)構(gòu)20的情況下，在帶減振功能的裝置基臺(tái)18上，沿輸送方向設(shè)置棒狀的定子部(磁鐵部)20A，并設(shè)置線圈部20B，其配置在移動(dòng)工作臺(tái)21的下面?zhèn)?。該線性電機(jī)，利用通過(guò)向線圈部20B通電產(chǎn)生的磁場(chǎng)和定子部20A的磁場(chǎng)的作用形成的驅(qū)動(dòng)力，使移動(dòng)工作臺(tái)21向輸送方向移動(dòng)。
該線性電機(jī)，通過(guò)電控制，能夠高精度地驅(qū)動(dòng)控制基板輸送部22的輸送動(dòng)作中的定速性、定位精度以及起動(dòng)或停止時(shí)的轉(zhuǎn)矩變動(dòng)等。
線性移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，以能夠從圖1及圖2所示的曝光處理位置，向圖3所示的校準(zhǔn)攝像機(jī)校正用的位置、或圖4所示的光束位置檢測(cè)用的位置或圖5所示的曝光面功率校正用的位置移動(dòng)的方式構(gòu)成。
如圖1及圖2所示，基板輸送部22，在移動(dòng)工作臺(tái)21上設(shè)置基板厚度調(diào)整用Z工作臺(tái)24，在該基板厚度調(diào)整用Z工作臺(tái)24上，設(shè)置帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26，如此構(gòu)成。
該基板厚度調(diào)整用Z工作臺(tái)24，為了進(jìn)行記錄介質(zhì)曝光面的高度位置調(diào)整，以能夠通過(guò)利用斜面的微動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，向高度方向(Z軸方向)平行移動(dòng)帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26整體的方式構(gòu)成。
如圖2所示，在帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26上，為了輸送長(zhǎng)條帶狀的撓性記錄介質(zhì)即撓性印刷布線基板材28，在輸送方向上游側(cè)配置一對(duì)夾持輥30，在其輸送方向下游側(cè)配置一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32。該一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32，由驅(qū)動(dòng)輥32A和轉(zhuǎn)動(dòng)地連接在其外周面上的多個(gè)(此處為2個(gè))夾持輥32B構(gòu)成。在上述驅(qū)動(dòng)輥32A和夾持輥32B的之間，夾入撓性印刷布線基板材28，形成通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)輥32A，不產(chǎn)生滑動(dòng)地輸送撓性印刷布線基板材28的構(gòu)成。
向該驅(qū)動(dòng)輥32A，用皮帶傳遞機(jī)構(gòu)，傳遞由驅(qū)動(dòng)電機(jī)34輸出的、被減速器36減速的規(guī)定轉(zhuǎn)速的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力。由此，該一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32，以規(guī)定的掃描速度輸送撓性印刷布線基板材28。
配置在帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26上的一對(duì)夾持輥30，通過(guò)使兩個(gè)夾持輥相互轉(zhuǎn)動(dòng)接觸而構(gòu)成，以保持在一對(duì)夾持輥30的夾持輥之間夾入撓性印刷布線基板材28的狀態(tài)，同時(shí)通過(guò)旋轉(zhuǎn)一對(duì)夾持輥30，送出撓性印刷布線基板材28的方式構(gòu)成。
此外，在該帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26的輸送路徑上，在一對(duì)夾持輥30的上游側(cè)設(shè)置導(dǎo)向輥38，在一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32的下游側(cè)設(shè)置導(dǎo)向輥40。
如圖2所示，在該帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26，在設(shè)定在其內(nèi)部的、相對(duì)于撓性印刷布線基板材28的曝光用輸送路徑的輸送方向上游側(cè)的延長(zhǎng)線上的規(guī)定位置上，配置校正刻度尺42。
此外，在帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26的內(nèi)部的一對(duì)夾持輥30和一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32之間的規(guī)定位置上，以與輸送路徑正下方鄰接的狀態(tài)，配置光束位置檢測(cè)裝置44和曝光面功率測(cè)定裝置45。
如圖1及圖2所示，在曝光處理部12，在基板輸送部22的上方的輸送方向上游側(cè)配置校準(zhǔn)單元46，在其輸送方向下游側(cè)配置作為描繪單元的曝光頭單元48。
該校準(zhǔn)單元46，在未圖示的描繪裝置的筐體等的固定結(jié)構(gòu)部上安裝設(shè)置基部50。在該基部50上，設(shè)置一對(duì)平行的導(dǎo)軌部(未圖示)，在其上面分別安裝多個(gè)(在本實(shí)施方式中為4部)攝像部52，攝像部52能夠以通過(guò)用滾珠螺桿機(jī)構(gòu)在導(dǎo)軌上移動(dòng)的攝像機(jī)座，使透鏡部的光軸與撓性印刷布線基板材28的寬度方向上的所要求的位置對(duì)正的方式移動(dòng)。
各攝像部52，在未圖示的攝像機(jī)主體的下面設(shè)置透鏡部，同時(shí)在透鏡部的突出的前端部上安裝環(huán)狀的閃光燈光源(LED閃光燈光源)。而且，在該攝像部52，以向撓性印刷布線基板材28照射來(lái)自閃光燈光源的光，經(jīng)由透鏡部由攝像機(jī)本體攝像其反射光的方式，檢測(cè)撓性印刷布線基板材28的端部或標(biāo)記M(見圖9)等。
如圖1及圖2所示，作為配置在曝光處理部12上的描繪單元的曝光頭單元48安裝設(shè)置在支柱上，該支柱分別立設(shè)在未圖示的輸送撓性印刷布線基板材28的寬度方向兩端部的外側(cè)上。
作為該描繪單元的曝光頭單元48，以激光曝光裝置構(gòu)成，將多個(gè)曝光頭組件54排列成m行n列(在本實(shí)施方式中，為2行4列，合計(jì)8個(gè))的大致矩陣狀，該多個(gè)曝光頭組件54的行，沿?fù)闲杂∷⒉季€基板材28的寬度方向(是與輸送方向正交的方向，相當(dāng)于與撓性印刷布線基板材28的輸送方向即掃描方向正交的方向)配置。
如圖1所示，在該描繪裝置本體的內(nèi)部設(shè)置光源單元56。該光源單元56，收容未圖示的多個(gè)激光器(半導(dǎo)體激光器)光源，通過(guò)光纖將從各激光器光源射出的光束分別導(dǎo)給對(duì)應(yīng)的曝光頭組件54。
各曝光頭組件54，以在通過(guò)空間光調(diào)制元件即未圖示的數(shù)字·微型反射鏡·器件(DMD)調(diào)制導(dǎo)入的光束后，利用自動(dòng)聚焦機(jī)構(gòu)使其對(duì)焦在撓性印刷布線基板材28上，照射按二維圖形(所謂面曝光處理)的方式構(gòu)成。
各曝光頭組件54的數(shù)字·微型反射鏡·器件(DMD)，在控制單元58的圖像處理部，基于圖像數(shù)據(jù)，按點(diǎn)單位控制，對(duì)撓性印刷布線基板材28曝光點(diǎn)圖形。
作為該描繪單元的曝光頭單元48，按一定速度輸送撓性印刷布線基板材28，同時(shí)按規(guī)定的定時(shí)，向撓性印刷布線基板材28照射從各自的曝光頭組件54照射的多個(gè)光束，進(jìn)行曝光處理。此時(shí)，由于各曝光頭組件54，在曝光時(shí)在通過(guò)自動(dòng)聚焦機(jī)構(gòu)對(duì)焦后曝光，所以即使在撓性印刷布線基板材28的高度位置有些多少變動(dòng)，也能夠進(jìn)行恰當(dāng)?shù)钠毓馓幚怼?br> 在該曝光頭單元48中，以形成相對(duì)于掃描方向按規(guī)定的傾斜角傾斜，以掃描方向作為短邊的矩形狀的方式，構(gòu)成未圖示的由1個(gè)曝光頭組件54形成的曝光區(qū)域，在向掃描方向輸送的撓性印刷布線基板材28上，按每個(gè)曝光頭組件54形成帶狀的曝光過(guò)的區(qū)域。
此外，在該曝光頭單元48中，由于相對(duì)于掃描方向按規(guī)定的傾斜角傾斜地沿曝光區(qū)域曝光，曝光的二維配列的點(diǎn)圖形與掃描方向傾斜，在掃描方向排列的各點(diǎn)，通過(guò)向與掃描方向交叉的方向排列的點(diǎn)間，真正變窄點(diǎn)間間距，所以能夠謀求高分辨率化。
另外，在該描繪裝置中，在輸送運(yùn)轉(zhuǎn)中的撓性印刷布線基板材28和曝光頭單元48的相對(duì)的位置關(guān)系產(chǎn)生偏移時(shí)，攝像部52攝影設(shè)在撓性印刷布線基板材28上的標(biāo)記M等，檢測(cè)撓性印刷布線基板材28和曝光頭單元48的位置的偏移量，修正利用曝光頭單元48的曝光處理，能夠?qū)闲杂∷⒉季€基板材28進(jìn)行恰當(dāng)?shù)钠毓馓幚怼?br> 如圖1及圖2所示，在該描繪裝置中，由于在設(shè)于曝光處理部12上的輸送路徑上輸送撓性印刷布線基板材28，連續(xù)地進(jìn)行曝光處理，所以設(shè)置與曝光處理部12的輸送路徑的上游側(cè)連接的未曝光的記錄介質(zhì)供給部14，設(shè)置與曝光處理部12的輸送路徑的下游側(cè)連接的曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16。
該未曝光的記錄介質(zhì)供給部14，通過(guò)在驅(qū)動(dòng)單元64上安裝卷裝未曝光的長(zhǎng)條狀撓性印刷布線基板材28的供給卷軸60、和間隔帶卷取卷軸62而構(gòu)成。
在該未曝光的記錄介質(zhì)供給部14，形成通過(guò)作為張力設(shè)定機(jī)構(gòu)的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，將從供給卷軸60抽出的撓性印刷布線基板材28，送入到曝光處理部12的記錄介質(zhì)輸送路徑的入口的構(gòu)成。
另外，雖未圖示，但在供給卷軸60和曝光處理部12的記錄介質(zhì)輸送路徑的入口的之間配置第1松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，也可以形成經(jīng)由清潔輥配置第2松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。
該松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，例如形成在未曝光的記錄介質(zhì)供給部14的出口側(cè)輥66、和曝光處理部12的入口導(dǎo)向輥38的之間呈U字狀松弛的撓性印刷布線基板材28的部分配置可轉(zhuǎn)動(dòng)的松緊調(diào)節(jié)輥68。另外，該松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，能夠用利用空氣吸引撓性印刷布線基板材28的構(gòu)成即空氣松緊調(diào)節(jié)代替。
如此構(gòu)成的未曝光的記錄介質(zhì)供給部14，形成通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元64旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)供給卷軸60，抽出撓性印刷布線基板材28，通過(guò)松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，連續(xù)地向曝光處理部12的輸送路徑上供給撓性印刷布線基板材28的構(gòu)成。
在供給卷軸60上，以在卷裝的撓性印刷布線基板材28彼此間不直接接觸的方式，夾入卷裝間隔帶61。因此在未曝光的記錄介質(zhì)供給部14上，以在間隔帶卷取卷軸62上卷取與送出的撓性印刷布線基板材28一同延伸的間隔帶61的方式，用驅(qū)動(dòng)單元64旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)間隔帶卷取卷軸62。
此外，曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16，通過(guò)在驅(qū)動(dòng)單元74上安裝卷裝曝光過(guò)的長(zhǎng)條狀撓性印刷布線基板材28的卷取卷軸70、和間隔帶供給卷軸72而構(gòu)成。
在該曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16上，通過(guò)與曝光處理部12的記錄介質(zhì)輸送路徑的出口連接的作為張力設(shè)定機(jī)構(gòu)的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，在卷取卷軸70上卷裝從曝光處理部12送出的曝光過(guò)的撓性印刷布線基板材28。
該松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，例如形成在配置于從曝光處理部12的出口導(dǎo)向輥40的輸送方向下游側(cè)上的保持輥76、和曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16的入口側(cè)輥78的之間，U字狀松弛撓性印刷布線基板材28的部分，可轉(zhuǎn)動(dòng)松緊調(diào)節(jié)輥68的方式的配置。
另外，在該曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16上，形成在入口側(cè)輥78和卷取卷軸70的之間設(shè)置一對(duì)夾持輥80，用一對(duì)夾持輥80吸收為使卷取卷軸74卷裝而拉伸曝光過(guò)的撓性印刷布線基板材28所作用的張力，使張力不傳遞給配置在曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16的輸送路徑上游側(cè)的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)的構(gòu)成。
如此構(gòu)成的曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16，形成連續(xù)卷裝回收，通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元74旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)供給卷軸70，從曝光處理部12經(jīng)由松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)送出的撓性印刷布線基板材28的構(gòu)成。
另外，在該曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16中，以在卷取卷軸70上卷裝時(shí)，卷裝在卷取卷軸70上的撓性印刷布線基板材28彼此間不直接接觸的方式，在卷裝面之間夾入地卷裝間隔帶61。因此在曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16中，為了以能夠在送入的撓性印刷布線基板材28上沿著卷裝間隔帶61的方式，從間隔帶供給卷軸72拉出間隔帶61，用驅(qū)動(dòng)單元74轉(zhuǎn)動(dòng)間隔帶供給卷軸72。
如圖1及圖2所示，在所述構(gòu)成的描繪裝置中，在未曝光的記錄介質(zhì)供給部14的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)、和曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)的之間，設(shè)定曝光處理部12的曝光用輸送路徑。
在該曝光處理部12的曝光用輸送路徑上，通過(guò)用驅(qū)動(dòng)電機(jī)34旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32，按規(guī)定速度，向主行走方向(主掃描方向)輸送，拉架在一對(duì)夾持輥30和一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32之間的撓性印刷布線基板材28，同時(shí)利用曝光頭單元48進(jìn)行曝光處理。
當(dāng)在該曝光處理部12進(jìn)行曝光處理時(shí)，對(duì)拉架在曝光用輸送路徑上的撓性印刷布線基板材28，作用在與校準(zhǔn)單元46的下面對(duì)應(yīng)的位置和與曝光頭單元48的下面對(duì)應(yīng)的位置相等的張力。與此同時(shí)，作用于拉架在曝光處理部12的曝光用輸送路徑上的撓性印刷布線基板材28的張力，通過(guò)配置在其輸送方向上游側(cè)的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)、和配置在輸送方向下游側(cè)的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，穩(wěn)定地保持在規(guī)定的張力。
由此，在該曝光處理部12，通過(guò)曝光頭單元48的各曝光頭組件54，能夠?qū)Π垂潭ū３值囊?guī)定的張力平面張開的撓性印刷布線基板材28的表面，按二維圖形適當(dāng)進(jìn)行曝光處理。
另外，在曝光處理部12，由于能夠?qū)Π匆欢ㄋ俣认蛑餍凶叻较蜉斔偷膿闲杂∷⒉季€基板材28，用曝光頭單元48，連續(xù)地進(jìn)行曝光處理，所以能夠排除在曝光頭單元48的正下方往返運(yùn)動(dòng)撓性印刷布線基板材28的動(dòng)作，能夠迅速且合理地進(jìn)行曝光處理，提高作業(yè)效率。
此外，在該描繪裝置中，控制單元58，基于校準(zhǔn)單元46攝像撓性印刷布線基板材28取得的標(biāo)記M或端部的位置數(shù)據(jù)，求出有關(guān)用曝光頭單元48曝光處理時(shí)的曝光開始位置及撓性印刷布線基板材28的寬度方向上的點(diǎn)的偏移位置的修正系數(shù)。然后，控制單元58，基于該修正系數(shù)，將在撓性印刷布線基板材28上曝光的圖像的位置修正成適當(dāng)位置，如此修正曝光頭單元48的各曝光頭組件54形成的二維描繪圖形或圖像記錄開始時(shí)期等，進(jìn)行曝光處理的控制。
在該描繪裝置的曝光處理部12，由于校準(zhǔn)單元46正下方的成為撓性印刷布線基板材28的檢測(cè)對(duì)象的部分、和曝光頭單元48正下方的成為撓性印刷布線基板材28的檢測(cè)對(duì)象的部分，都接受相同的張力，以同一速度向主行走方向(主掃描方向)輸送，因而能夠無(wú)誤差地在曝光頭單元48中應(yīng)用校準(zhǔn)單元46的檢測(cè)結(jié)果，所以能夠更加提高曝光處理的精度。
接著，說(shuō)明用于該描繪裝置的校準(zhǔn)單元46的校正機(jī)構(gòu)。在該描繪裝置中，通過(guò)校準(zhǔn)單元46，能夠進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整撓性印刷布線基板材28、和曝光頭單元48的相對(duì)位置關(guān)系的校正。
在該描繪裝置的校正中，如果用未圖示的輸入部，輸入撓性印刷布線基板材28的尺寸數(shù)據(jù)，就基于該輸入的尺寸數(shù)據(jù)，以對(duì)正撓性印刷布線基板材28的寬度方向的方式，移動(dòng)校準(zhǔn)單元46的攝像部52的位置。
此外，在該描繪裝置中，通過(guò)各攝像部52，在主掃描方向攝影移動(dòng)中的撓性印刷布線基板材28的縱向規(guī)定范圍，檢測(cè)為檢測(cè)曝光位置預(yù)先形成在撓性印刷布線基板材28上的標(biāo)記M，與各攝像部52的基準(zhǔn)位置比較，生成曝光用的修正數(shù)據(jù)，基于該修正數(shù)據(jù)，利用未圖示的脈沖計(jì)數(shù)器等，謀取撓性印刷布線基板材28的曝光開始位置到達(dá)曝光頭單元48的曝光光束照射位置的定時(shí)，進(jìn)行曝光處理運(yùn)轉(zhuǎn)。
此外，在該描繪裝置中，為謀求適當(dāng)?shù)男Ｕ?，進(jìn)行校準(zhǔn)用攝像部52的位置校正。在該校準(zhǔn)用攝像部52的位置校正中，利用校正刻度尺42進(jìn)行位置校正。
因此，在該描繪裝置中，驅(qū)動(dòng)線性移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，從圖2所示的曝光待機(jī)位置朝圖中向右方向移動(dòng)基板輸送部22(設(shè)置移動(dòng)工作臺(tái)21、基板厚度調(diào)整用Z工作臺(tái)24、一對(duì)夾持輥30及一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32，同時(shí)設(shè)置校正刻度尺42的掃描用輸送部26)整體，放置在圖3所示的校準(zhǔn)攝像機(jī)校正用的位置上。
在該圖3所示的校準(zhǔn)攝像機(jī)校正用的位置上，各攝像部52和各自對(duì)應(yīng)的校正刻度尺42相對(duì)的狀態(tài)。在此狀態(tài)下，基于指定的校準(zhǔn)標(biāo)記M的寬度位置信息，使校準(zhǔn)用的各攝像部52向基板寬度方向移動(dòng)。
在該描繪裝置中，由于是由撓性印刷布線基板材28的輸送路徑，在攝像部52側(cè)配置校正刻度尺42的構(gòu)成，因此在帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26的輸送路徑上輸送撓性印刷布線基板材28的狀態(tài)下，能夠進(jìn)行校準(zhǔn)用攝像部52的位置校正。
另外，在該描繪裝置中，用校準(zhǔn)用攝像部52攝影校正刻度尺42，根據(jù)攝影校正刻度尺42的圖形的位置，校正攝像部52和校正刻度尺42的位置關(guān)系。
另外，在該描繪裝置中，在結(jié)束校準(zhǔn)攝像機(jī)校正工作后，進(jìn)行驅(qū)動(dòng)線性移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，使基板輸送部22整體，從圖3所示的校準(zhǔn)攝像機(jī)校正用的位置，返回到圖2所示的曝光待機(jī)位置的運(yùn)轉(zhuǎn)。
下面，說(shuō)明有關(guān)用于該描繪裝置的各曝光頭組件54的曝光位置和曝光區(qū)域內(nèi)的功率分布的校正機(jī)構(gòu)。
在該描繪裝置中，在不在帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26的輸送路徑上輸送撓性印刷布線基板材28的狀態(tài)下，測(cè)定各曝光頭組件54的光束位置、和曝光區(qū)域內(nèi)的功率分布。
在該描繪裝置中，首先，為了測(cè)定各曝光頭組件54的光束位置，使帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26，從圖2所示的曝光待機(jī)位置，朝圖中，向右側(cè)方向，移動(dòng)到各曝光頭組件54和各自對(duì)應(yīng)的光束位置檢測(cè)裝置44相對(duì)的圖4所示的光束位置檢測(cè)位置。然后，用光束位置檢測(cè)裝置44測(cè)定各曝光頭組件54的光束位置，校正各曝光頭組件54的曝光位置。
接著，在該描繪裝置中，為了測(cè)定各曝光頭組件54的曝光區(qū)域內(nèi)的功率分布，使帶檢測(cè)用單元的掃描用輸送部26，從圖4所示的光束位置檢測(cè)位置，朝圖中向右側(cè)方向，移動(dòng)到各曝光頭組件54和各自對(duì)應(yīng)的曝光面功率測(cè)定裝置45相對(duì)的曝光面功率校正位置。
另外，此時(shí)，為了使曝光面功率測(cè)定裝置45的檢測(cè)表面與撓性印刷布線基板材28的輸送路徑的表面對(duì)正，驅(qū)動(dòng)基板厚度調(diào)整用Z工作臺(tái)24，使曝光面功率測(cè)定裝置45上升到所要求的高度。
然后，用各自對(duì)應(yīng)的曝光面功率測(cè)定裝置45測(cè)定各曝光頭組件54的曝光區(qū)域內(nèi)的功率分布，校正曝光區(qū)域全區(qū)的功率，能夠描繪適當(dāng)?shù)亩S圖形。
另外，在該描繪裝置中，在結(jié)束校正各曝光頭組件54的曝光位置的工作及在曝光區(qū)域全區(qū)校正功率的工作后，驅(qū)動(dòng)線性移動(dòng)機(jī)構(gòu)20，進(jìn)行將基板輸送部22整體，從圖5所示的曝光面功率校正位置，返回到圖2所示的曝光待機(jī)位置的工作。
下面，說(shuō)明如上所述構(gòu)成的描繪裝置的作用及工作。
在該描繪裝置，在開始曝光處理前，進(jìn)行對(duì)所述的校準(zhǔn)攝像部52的校正的處理、和對(duì)各曝光頭組件54的曝光位置和曝光區(qū)域內(nèi)的功率分布的校正。另外，能夠隨時(shí)進(jìn)行對(duì)校準(zhǔn)攝像部52的校正的處理。
接著，在該描繪裝置，將成為進(jìn)行曝光處理的對(duì)象的撓性印刷布線基板材28，放置在從未曝光的記錄介質(zhì)供給部14，通過(guò)曝光處理部12，到達(dá)曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16的輸送路徑上。因此，從供給卷軸60取出記錄介質(zhì)即撓性印刷布線基板材28，通過(guò)曝光處理部12上的輸送路徑，將前端固定在卷取卷軸70上。
然后，在該描繪裝置中，使供給卷軸60旋轉(zhuǎn)到檢測(cè)出在其供給卷軸60側(cè)的出口側(cè)輥66、和曝光處理部12側(cè)的入口導(dǎo)向輥38的之間的部分最多松弛放置在輸送路徑上的撓性印刷布線基板材28的狀態(tài)即下垂達(dá)到規(guī)定量(垂下最上限值)，在垂下部分放置松緊調(diào)節(jié)輥68。其后，在檢測(cè)出下垂達(dá)到下垂量下限值(最小松弛狀態(tài))時(shí)，調(diào)整到使供給輥60驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)到檢測(cè)出下垂達(dá)到下垂上限值。
接著，在該描繪裝置中，使一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)到檢測(cè)出在曝光處理部12的輸送路徑出口側(cè)保持76、和曝光過(guò)的記錄介質(zhì)回收部16側(cè)的入口側(cè)輥78的之間的部分，最少松弛的狀態(tài)即下垂達(dá)到規(guī)定量(下垂最下限值)，在下垂部分放置松緊調(diào)節(jié)輥68。其后，在檢測(cè)出下垂達(dá)到下垂量上限值(最多松弛狀態(tài))時(shí)，調(diào)整到使卷取卷軸70旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)到檢測(cè)出下垂達(dá)到下垂達(dá)到下垂量下限值。
接著，在該描繪裝置中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32，輸送撓性印刷布線基板材28，同時(shí)按規(guī)定間隔，利用校準(zhǔn)攝像部52，攝影撓性印刷布線基板材28的表面，在攝影設(shè)在撓性印刷布線基板材28上的曝光開始位置的標(biāo)記M(檢測(cè))時(shí)，形成使一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32停止的待機(jī)狀態(tài)。
接著，在該描繪裝置中，在通過(guò)旋轉(zhuǎn)一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32，按規(guī)定量送出撓性印刷布線基板材28時(shí)，用校準(zhǔn)攝像部52，攝影在前面的作業(yè)工序設(shè)在撓性印刷布線基板材28基板上的單位曝光區(qū)域L的校準(zhǔn)標(biāo)記M，計(jì)測(cè)單位曝光區(qū)域L的標(biāo)記M的位置。另外，單位曝光區(qū)域L的標(biāo)記M的位置的計(jì)測(cè)，最好在圖9所示的撓性印刷布線基板材28的輸送方向，在單位曝光區(qū)域L中的2處以上(單位曝光區(qū)域L的周圍4處以上)進(jìn)行，但在基板不伸縮變形的情況下，也可以在2處(單位曝光區(qū)域L的上下或左右)進(jìn)行。
然后，如果結(jié)束單位曝光區(qū)域L的標(biāo)記M的位置計(jì)測(cè)，控制單元58根據(jù)單位曝光區(qū)域L的標(biāo)記M位置的計(jì)測(cè)值，以在伸縮變形狀態(tài)下曝光圖像對(duì)應(yīng)的方式，進(jìn)行曝光數(shù)據(jù)的曝光數(shù)據(jù)的變形處理。另外，此時(shí)，控制單元58，也可以進(jìn)行包括圖像記錄位置修正(曝光開始時(shí)的修正)的處理。
該控制單元58，在進(jìn)行曝光數(shù)據(jù)的變形處理的期間，進(jìn)行連續(xù)送入撓性印刷布線基板材28的控制，進(jìn)行下個(gè)單位曝光區(qū)域L的校準(zhǔn)標(biāo)記M的位置計(jì)測(cè)。
接著，控制單元58，如果結(jié)束曝光數(shù)據(jù)的變形處理，單位曝光區(qū)域L的前頭被送到曝光頭單元48的位置，就通過(guò)各曝光頭組件54，開始對(duì)撓性印刷布線基板材28的曝光，在該單位曝光區(qū)域L的后端達(dá)到通過(guò)曝光頭單元48的規(guī)定位置時(shí)，停止對(duì)該單位曝光區(qū)域L的曝光。
該曝光處理，在撓性印刷布線基板材28的單位曝光區(qū)域L通過(guò)曝光頭單元48形成的曝光區(qū)域時(shí)，進(jìn)行。在該曝光處理中，各曝光頭組件54基于在控制單元58變形處理的曝光數(shù)據(jù)，對(duì)DMD照射激光，在該DMD的微型反光鏡形成導(dǎo)通狀態(tài)時(shí)反射的激光，通過(guò)利用光學(xué)系統(tǒng)設(shè)定的光路，成像在撓性印刷布線基板材28上，如此進(jìn)行該處理。
在該曝光處理中，連續(xù)進(jìn)行上述的曝光處理，在按預(yù)先指定的次數(shù)曝光了單位曝光區(qū)域L時(shí)，停止一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32，結(jié)束曝光處理。
如上所述，在該曝光處理中，在一對(duì)夾持輥30和一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32的之間架設(shè)撓性印刷布線基板材28，通過(guò)以一定速度旋轉(zhuǎn)一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32，連續(xù)地送入撓性印刷布線基板材28。然后，對(duì)架設(shè)在一對(duì)夾持輥30和一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32的之間的撓性印刷布線基板材28的架設(shè)部分，通過(guò)曝光頭組件54，連續(xù)地曝光激光，進(jìn)行描繪。因此，該描繪裝置，與在往路對(duì)記錄介質(zhì)進(jìn)行用于校準(zhǔn)調(diào)整的處理，在回路進(jìn)行曝光處理的描繪裝置相比，由于通常能夠連續(xù)地進(jìn)行曝光處理，所以能夠提高生產(chǎn)性。
下面，參照?qǐng)D6，說(shuō)明在上述描繪裝置上的曝光處理部12的輸送路徑設(shè)置撓性印刷布線基板材28用的導(dǎo)向的構(gòu)成例。
在該圖6所示的曝光處理部12中，形成在與輸送路徑上的曝光頭組件54形成的曝光處理區(qū)域整體對(duì)應(yīng)的、與撓性印刷布線基板材28的正下方接觸的位置上，配置作為下支撐機(jī)構(gòu)的平面滑動(dòng)接觸導(dǎo)向部件82的構(gòu)成。
在該平面滑動(dòng)接觸導(dǎo)向部件82的上面部，設(shè)置以與撓性印刷布線基板材28的背面滑動(dòng)接觸，從下方支撐的方式導(dǎo)向的導(dǎo)向平面。
通過(guò)如此設(shè)置平面滑動(dòng)接觸導(dǎo)向部件82，沿輸送路徑上輸送的撓性印刷布線基板材28，沿著平面滑動(dòng)接觸導(dǎo)向部件82的導(dǎo)向平面上滑動(dòng)，一邊保持平面狀態(tài)地導(dǎo)向，一邊利用各曝光頭組件54進(jìn)行曝光處理。在如此構(gòu)成的情況下，由于在曝光處理時(shí)，能夠以更高的精度維持平面性，能夠防止因干擾而變動(dòng)撓性印刷布線基板材28的平面，所以能夠以更穩(wěn)定的質(zhì)量進(jìn)行曝光處理。
另外，也可以代替作為該下支撐機(jī)構(gòu)的平面滑動(dòng)接觸導(dǎo)向部件82，形成在未圖示的攝像部52的正下方位置、和曝光頭單元48的正下方位置上分別旋轉(zhuǎn)接觸作為下支撐機(jī)構(gòu)的單個(gè)或多個(gè)導(dǎo)向輥，以保持平面狀態(tài)的方式，一邊導(dǎo)向一邊輸送撓性印刷布線基板材28的構(gòu)成。
下面，參照?qǐng)D7，說(shuō)明在所述圖1～圖5所示的描繪裝置中，在曝光處理部12的輸送路徑的下側(cè)(與配置曝光頭單元48的曝光頭組件54的一側(cè)的相反側(cè))配置校準(zhǔn)單元46的構(gòu)成例。
在該圖7所示的曝光處理部12中，在曝光處理部12的輸送路徑的下側(cè)配置校準(zhǔn)單元46。此外，在撓性印刷布線基板材28上，在相對(duì)于曝光的表面的背面上形成校準(zhǔn)標(biāo)記M。
在該圖7所示的曝光處理部12中，由于沒有必須配置在輸送路徑的下側(cè)的結(jié)構(gòu)物，所以能夠如此設(shè)計(jì)，提高在曝光位置上的設(shè)計(jì)的自由度。
在如此構(gòu)成的描繪裝置中，通過(guò)配置在輸送路徑的下側(cè)的校準(zhǔn)單元46，檢測(cè)形成在撓性印刷布線基板材28的背面上的校準(zhǔn)標(biāo)記M，一邊進(jìn)行校準(zhǔn)對(duì)正一邊進(jìn)行曝光處理。
下面，參照?qǐng)D8，說(shuō)明除所述圖1～圖5所示構(gòu)成的描繪裝置外，在曝光處理部12的輸送路徑的下側(cè)也配置曝光頭單元48的曝光頭組件54的構(gòu)成例。
在該圖8所示的構(gòu)成例中，形成在曝光處理部12的輸送路徑的上側(cè)和下側(cè)，分別配置校準(zhǔn)單元46及曝光頭單元48的曝光頭組件54的構(gòu)成。
根據(jù)如此構(gòu)成，通過(guò)分別配置在撓性印刷布線基板材28的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊母餍?zhǔn)單元46及曝光單元48的曝光頭組件54，能夠利用1次掃描動(dòng)作同時(shí)分別在撓性印刷布線基板材28的表背兩面曝光處理不同的圖像。
因而，在用該圖8所示的構(gòu)成例的描繪裝置，同時(shí)在撓性印刷布線基板材28的表背兩面進(jìn)行曝光處理的情況下，曝光處理的效率提高到2倍，能夠提高生產(chǎn)性。
另外，在本實(shí)施方式中，作為用于作為激光曝光裝置構(gòu)成的曝光頭單元48的曝光頭組件54的空間光調(diào)制元件，采用DMD，通過(guò)固定點(diǎn)燈時(shí)間，進(jìn)行通/斷，生成點(diǎn)圖像，但也可以利用導(dǎo)通時(shí)間比(占空比)控制的脈沖幅度調(diào)制。此外，也可以將1次點(diǎn)燈時(shí)間設(shè)定為非常短的時(shí)間，通過(guò)點(diǎn)燈次數(shù)生成點(diǎn)圖形。
另外，在本實(shí)施方式中，說(shuō)明了作為空間光調(diào)制元件具備DMD的曝光頭組件54，但除如此的反射型空間光調(diào)制元件外，也能夠代替DMD，例如，采用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)式的空間光調(diào)制元件(SLMSpecial Light Modulator)、或透射型空間光調(diào)制元件(LCD)、或利用電光學(xué)效果調(diào)制透射光的光學(xué)元件(PLZT元件)、或液晶光圈(LFC)的液晶光圈陣列等，MEMS式以外的空間光調(diào)制元件。另外，也可以采用多個(gè)排列Grating Light Valve(GLV)，構(gòu)成二維狀。在采用這些反射型空間光調(diào)制元件(GLV)或透射型空間光調(diào)制元件(LCD)的構(gòu)成中，除上述的激光外，作為光源也可以采用電燈等光源。
此外，作為該實(shí)施方式的光源，能夠采用多個(gè)具有合波激光源的光纖陣列光源、陣列化具有出射從具有1個(gè)發(fā)光點(diǎn)的單一半導(dǎo)體激光入射的激光的1根光纖的光纖光源的光纖陣列光源、二維狀排列多個(gè)發(fā)光點(diǎn)的光源(例如，LD陣列、有機(jī)EL陣列等)、等。
此外，在該描繪裝置中，能夠采用任何利用曝光直接記錄信息的光子式感光材料、利用曝光產(chǎn)生的熱記錄信息的熱式感光材料。在采用光子式感光材料的情況下，作為激光裝置，采用GaN系半導(dǎo)體激光器、波長(zhǎng)變換固體激光器等，在采用熱式感光材料的情況下，作為激光裝置，采用AlGaAs系半導(dǎo)體激光器(紅外激光器)、固體激光器。
此外，在所述的實(shí)施方式中，以通過(guò)配置在一對(duì)夾持輥30的輸送方向上游側(cè)的作為張力設(shè)定機(jī)構(gòu)的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)、和配置在一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32的輸送方向下游側(cè)的作為張力設(shè)定機(jī)構(gòu)的松緊調(diào)節(jié)輥機(jī)構(gòu)，按固定張力拉架設(shè)在一對(duì)夾持輥30和一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥32之間的撓性印刷布線基板材28的方式構(gòu)成，但是作為此處所用的張力設(shè)定機(jī)構(gòu)，也可以通過(guò)使一方的一對(duì)夾持輥和另一方的一對(duì)夾持輥的速度不同旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，以施加固定的張力的方式構(gòu)成，或以用規(guī)定的制動(dòng)力制動(dòng)一方的一對(duì)夾持輥，用另一方的一對(duì)夾持驅(qū)動(dòng)輥輸送，施加固定張力的方式構(gòu)成。
另外，本發(fā)明的描繪裝置，除對(duì)作為長(zhǎng)條帶狀的撓性記錄介質(zhì)的撓性印刷布線基板材28進(jìn)行描繪處理外，也可以構(gòu)成對(duì)顯示器用基板進(jìn)行描繪處理的裝置。
另外，本發(fā)明的描繪裝置，也可以代替曝光頭單元，形成為搭載噴墨頭，對(duì)長(zhǎng)條帶狀的撓性記錄介質(zhì)即用紙等，從噴墨頭噴墨，用墨描繪的描繪裝置。
另外，本發(fā)明，并不局限于此，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)，當(dāng)然能夠獲得其它多種構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種描繪裝置，連續(xù)地向一定的輸送方向輸送長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的同時(shí)進(jìn)行描繪，其特征在于，具有架設(shè)所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的至少2個(gè)輥；張力設(shè)定機(jī)構(gòu)，一定地保持所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)上的架設(shè)在所述相鄰的2個(gè)輥之間的部分的張力，以便平面地拉架長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)；描繪單元，在平面地拉架在所述相鄰的2個(gè)輥之間的所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)上，按二維圖形進(jìn)行描繪處理。
2.如權(quán)利要求1所述的描繪裝置，其特征在于在用所述描繪單元描繪的平面地拉架在所述相鄰的2個(gè)輥之間的所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的背面?zhèn)扰渲糜糜诒３炙鰮闲杂涗浗橘|(zhì)的平面性的下支撐機(jī)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求2所述的描繪裝置，其特征在于所述下支撐機(jī)構(gòu)是平面滑動(dòng)接觸的導(dǎo)向部件。
4.如權(quán)利要求1～3中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于對(duì)于平面地拉架在所述相鄰的2個(gè)輥之間的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)，在沿輸送方向的所述描繪單元的上游側(cè)的位置的、描繪所述撓性記錄介質(zhì)的一面?zhèn)然虿幻枥L的一面?zhèn)扰渲眯?zhǔn)單元。
5.如權(quán)利要求1～3中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于在平面地拉架在所述相鄰的2個(gè)輥之間的所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的兩面?zhèn)确謩e配置描繪單元。
6.如權(quán)利要求5所述的描繪裝置，其特征在于在平面地拉架在所述相鄰的2個(gè)輥之間的所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的所述兩面?zhèn)鹊闹辽僖环降乃雒枥L單元的上游側(cè)配置校準(zhǔn)單元。
7.如權(quán)利要求5所述的描繪裝置，其特征在于在平面地拉架在所述相鄰的2個(gè)輥之間的所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的所述兩面?zhèn)鹊乃雒枥L單元的上游側(cè)分別配置校準(zhǔn)單元。
8.如權(quán)利要求1～7中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于由激光曝光裝置構(gòu)成所述描繪單元。
9.如權(quán)利要求1～8中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于，所述描繪單元構(gòu)成為通過(guò)用空間光調(diào)制元件調(diào)制光束來(lái)曝光處理二維圖形。
10.如權(quán)利要求1～9中任何一項(xiàng)所述的描繪裝置，其特征在于，所述描繪單元構(gòu)成為在用空間光調(diào)制元件調(diào)制光束后、利用自動(dòng)聚焦機(jī)構(gòu)向所述長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)聚焦，照射二維圖形。
全文摘要
本發(fā)明提供一種描繪裝置，能夠連續(xù)地對(duì)長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)進(jìn)行曝光處理，而縮短等待時(shí)間，在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行多個(gè)曝光處理，能夠提高生產(chǎn)性。至少在2個(gè)輥(30、32)之間架設(shè)連續(xù)向一定的輸送方向輸送的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)(28)。然后，在通過(guò)用張力設(shè)定機(jī)構(gòu)(68)保持架設(shè)在相鄰的2個(gè)輥(30、32)之間的部分的一定的張力而平面地拉架的長(zhǎng)條的撓性記錄介質(zhì)的部分上，用描繪單元(48)，按二維圖形進(jìn)行描繪處理。由此，由于通常能夠連接進(jìn)行曝光處理，所以能夠提高生產(chǎn)性。
文檔編號(hào)H04N1/04GK1756292SQ20051010699
公開日2006年4月5日 申請(qǐng)日期2005年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月29日
發(fā)明者福井隆史 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社