平板狀部件吸附裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種負(fù)壓吸附平板狀部件的平板狀部件吸附裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，已提出各種對(duì)覆蓋電路基板(以下稱為基板)及裝配在該基板上的電子零件的覆蓋薄膜(coverlay film)等平板狀部件進(jìn)行某種加工，或?qū)⒃撈桨鍫畈考斔椭料乱坏拦ば驎r(shí)，將該平板狀部件暫時(shí)保持的吸附裝置(以下稱為平板狀部件吸附裝置)。
[0003]這樣的平板狀部件吸附裝置使得作為吸附對(duì)象的平板狀部件與形成有多個(gè)吸附孔的吸附板(Plate)對(duì)面接觸并將該平板狀部件負(fù)壓吸附。在這種情況下，為了防止吸引力的下降，重要的是盡可能地減少吸附泄露。另外，“吸附泄露”是指在進(jìn)行平板狀部件的吸附動(dòng)作時(shí)，多個(gè)吸附孔中的一部分吸附孔變?yōu)閺钠桨鍫畈考冻龅臓顟B(tài)。
[0004]為了盡可能地減少吸附泄露，重要的是在使平板狀部件與吸附板相對(duì)面時(shí)，預(yù)先設(shè)定為吸附板中的吸附區(qū)域與平板狀部件為幾乎相同的尺寸或比平板狀部件的尺寸略小。這里，“吸附區(qū)域”是指設(shè)置在吸附板上的吸附孔中的，可進(jìn)行對(duì)作為吸附對(duì)象的平板狀部件的吸附的區(qū)域。另外，該吸附區(qū)域可以為各種形狀，這里指定為矩形。
[0005]這里，若作為吸附對(duì)象的平板狀部件的尺寸為一種，則只要設(shè)定為吸附區(qū)域與該平板狀部件幾乎相同尺寸或比該平板狀部件的尺寸略小，即可不產(chǎn)生吸附泄露而將該平板狀部件吸附，然而，想要吸附比吸附區(qū)域的尺寸更小的平板狀部件的情況也是存在的。在這種情況下，一旦吸附區(qū)域的大小被固定，比吸附區(qū)域的尺寸更小的平板狀部件就不能覆蓋整個(gè)吸附區(qū)域，就會(huì)產(chǎn)生吸附泄露。
[0006]如此，能夠不產(chǎn)生吸附泄露而將平板狀部件吸附裝置中的比吸附板的吸附區(qū)域的尺寸更小的平板狀部件吸附的平板狀部件吸附裝置以往就為已知的(例如參考專利文獻(xiàn)一 )O
[0007]圖11是顯示用于說(shuō)明專利文獻(xiàn)一中記載的平板狀部件吸附裝置900的圖。圖11(a)是顯示平板狀部件吸附裝置900的結(jié)構(gòu)的斜視圖，圖11 (b)是顯示平板狀部件吸附裝置900中所使用的帶狀片材(sheet)910的俯視圖。
[0008]在對(duì)專利文獻(xiàn)一中記載的平板狀部件吸附裝置900 (在專利文獻(xiàn)一中稱為基板吸附固定裝置)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明之前，首先使用圖11(b)來(lái)對(duì)帶狀片材910進(jìn)行說(shuō)明，之后再使用圖11(a)來(lái)對(duì)平板狀部件吸附裝置900的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
[0009]帶狀片材910如圖11(b)所示，由復(fù)數(shù)個(gè)的片材部910a、910b、910c、......構(gòu)成，
各個(gè)片材部910a、910b、910c、……中形成有與作為吸附對(duì)象的平板狀部件(指定為基板)的尺寸相對(duì)應(yīng)的吸附區(qū)域Qa、Qb、Qc、......。
[0010]平板狀部件吸附裝置900如圖11(a)所示，具有:安裝在基板載置臺(tái)920上的吸附板930 ;讀取打印在作為吸附對(duì)象的基板940上的條形碼(bar code) 941，輸出顯示該基板940的尺寸的片材選擇信號(hào)的條形碼讀取器(bar-code reader) 950 ;以及基于條形碼讀取器950輸出的片材選擇信號(hào)，從形成在帶狀片材910上的復(fù)數(shù)個(gè)的吸附區(qū)域Qa、Qb、Qc、……中選擇具有與基板940的尺寸相對(duì)應(yīng)的吸附區(qū)域(指定為吸附區(qū)域Qb)的片材部(指定為片部材910b)，并將選出的片材部910b配置在吸附板930上的配置部960。
[0011]另外，對(duì)于吸附板930，在該吸附板930的整個(gè)面上設(shè)置有多個(gè)吸附孔(無(wú)圖示)，吸附板930的幾乎整個(gè)面都成為了吸附區(qū)域。與此相對(duì)，被片材載置部960所選擇的片材部的吸附區(qū)域比吸附板930的吸附區(qū)域更小。并且，片材載置部960具有帶狀片材910被架設(shè)在其上的輥(roller) 961、輥962，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)輥961、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)輥962的驅(qū)動(dòng)部932，及控制驅(qū)動(dòng)部963的控制部964。
[0012]根據(jù)專利文獻(xiàn)一中記載的平板狀部件吸附裝置900，由于是基于顯示作為吸附對(duì)象的基板940的尺寸的片材選擇信號(hào)，具有與該基板940的尺寸相對(duì)應(yīng)的吸附區(qū)域Qb的片材部910b被配置在吸附板930上，因此能夠不產(chǎn)生因與基板940的尺寸相對(duì)應(yīng)的區(qū)域以外的吸附孔而導(dǎo)致的吸附泄露。
[0013]然而，在專利文獻(xiàn)一中記載的平板狀部件吸附裝置900中，需要預(yù)先對(duì)每種作為吸附對(duì)象的基板的尺寸都準(zhǔn)備具有與基板的尺寸相對(duì)應(yīng)的吸附區(qū)域的片材部，并且，不僅需要設(shè)置作為用于將具有與基板的尺寸相對(duì)應(yīng)的吸附區(qū)域的片材部配置在吸附板上的機(jī)構(gòu)的輥和驅(qū)動(dòng)該輥的驅(qū)動(dòng)板，同時(shí)還需要設(shè)置控制驅(qū)動(dòng)部的控制部。因此，對(duì)于專利文獻(xiàn)一中記載的平板狀部件吸附裝置900，存在吸附裝置整體的結(jié)構(gòu)變得龐大的課題。
[0014]先行技術(shù)文獻(xiàn)
[0015]專利文獻(xiàn)
[0016]專利文獻(xiàn)一日本特開(kāi)2004-322254號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0017]本發(fā)明是基于以上情況而發(fā)明的，目的在于提供一種不使得平板狀部件吸附裝置整體的結(jié)構(gòu)變得龐大，便能通過(guò)簡(jiǎn)單的操作來(lái)形成與作為吸附對(duì)象的平板狀部件的尺寸相對(duì)應(yīng)的吸附區(qū)域的平板狀部件吸附裝置。
[0018][I]本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置是一種負(fù)壓吸附平板狀部件的平板狀部件吸附裝置，其特征在于，具有:基底板，被安裝在形成負(fù)壓室的吸附裝置本體上；以及部件對(duì)面板，與所述平板狀部件對(duì)面，并與所述基底板在平面上以密接的狀態(tài)層疊，可相對(duì)于基底板被設(shè)定在基準(zhǔn)位置以及從該基準(zhǔn)位置進(jìn)行滑動(dòng)后的滑動(dòng)位置上，其中，在所述基底板上，多個(gè)吸附孔作為基底板側(cè)吸附孔被設(shè)置，在所述部件對(duì)面板上，多個(gè)吸附孔作為部件對(duì)面板側(cè)吸附孔被設(shè)置，所述基底板側(cè)吸附孔以預(yù)定的配置被設(shè)置在所述基底板上，所述部件對(duì)面板側(cè)吸附孔由復(fù)數(shù)個(gè)的基準(zhǔn)吸附孔及追加吸附孔所構(gòu)成，所述復(fù)數(shù)個(gè)的基準(zhǔn)吸附孔被設(shè)置為當(dāng)所述部件對(duì)面板位于所述基準(zhǔn)位置時(shí)，與所述基底板側(cè)吸附孔中的全部的吸附孔或所述基底板側(cè)吸附孔中的預(yù)定的吸附孔相對(duì)向，所述追加吸附孔在所述部件對(duì)面板的預(yù)定區(qū)域中被設(shè)置在沿著該部件對(duì)面板的滑動(dòng)方向相鄰的基準(zhǔn)吸附孔之間，當(dāng)所述部件對(duì)面板位于所述基準(zhǔn)位置時(shí)，通過(guò)所述基準(zhǔn)吸附孔與被設(shè)置在和該基準(zhǔn)吸附孔同位置上的所述基底板側(cè)吸附孔相對(duì)向，從而在所述部件對(duì)面板上形成基準(zhǔn)吸附區(qū)域，當(dāng)所述部件對(duì)面板位于所述滑動(dòng)位置時(shí)，通過(guò)所述基準(zhǔn)吸附孔與被設(shè)置在和該基準(zhǔn)吸附孔同位置上的所述基底板側(cè)吸附孔相對(duì)向，從而在所述部件對(duì)面板上形成具有與所述基準(zhǔn)吸附區(qū)域不同大小的特定吸附區(qū)域。
[0019]根據(jù)本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置，當(dāng)部件對(duì)面板位于基準(zhǔn)位置時(shí)和位于滑動(dòng)位置時(shí)，能夠?qū)⒖晌狡桨鍫畈考奈絽^(qū)域形成為基準(zhǔn)吸附區(qū)域及具有與該基準(zhǔn)吸附區(qū)域不同大小的特定吸附區(qū)域。這樣，根據(jù)本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置，僅改變相對(duì)于基底板的部件對(duì)面板的位置，即可改變吸引區(qū)域的大小。因此，不使得平板狀部件吸附裝置整體的結(jié)構(gòu)變得龐大，便能通過(guò)簡(jiǎn)單的操作來(lái)形成與作為吸附對(duì)象的平板狀部件的尺寸相對(duì)應(yīng)的吸附區(qū)域。具體地，能夠形成比本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置原本所具有的吸附區(qū)域(基準(zhǔn)吸附區(qū)域)小的吸附區(qū)域(特定吸附區(qū)域)。這樣，即使在對(duì)比具有適合本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置原本所具有的吸附區(qū)域(基準(zhǔn)吸附區(qū)域)的尺寸的平板狀部件的尺寸小的平板狀部件進(jìn)行吸附的情況下，也能夠不產(chǎn)生吸附泄露而將該小尺寸的平板狀部件吸附。
[0020]另外，當(dāng)把部件對(duì)面板相對(duì)于基底板設(shè)定在基準(zhǔn)位置和從該基準(zhǔn)位置滑動(dòng)后的各個(gè)滑動(dòng)位置時(shí)，可以是將基底板的位置與吸附裝置本體固定，使得部件對(duì)面板滑動(dòng)，也可以與此相反，將部件對(duì)面板的位置固定，而使得基底板與吸附裝置本體同時(shí)滑動(dòng)。
[0021][2]本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置還具有定位部，分別在當(dāng)所述部件對(duì)面板位于所述基準(zhǔn)位置時(shí)、及當(dāng)所述部件對(duì)面板位于所述滑動(dòng)位置時(shí)，將所述部件對(duì)面板定位在所述基準(zhǔn)位置或所述滑動(dòng)位置上。
[0022]通過(guò)具有這樣的定位部，部件對(duì)面板的各個(gè)部件對(duì)面板側(cè)吸附孔與基底板的各個(gè)基底板側(cè)吸附孔分別正確地對(duì)向，并且兩者的對(duì)向關(guān)系能夠被保持。這樣，在進(jìn)行吸附動(dòng)作時(shí)，部件對(duì)面板的各個(gè)部件對(duì)面板側(cè)吸附孔與基底板的各個(gè)基底板側(cè)吸附孔的對(duì)向關(guān)系也不會(huì)被破壞，能夠長(zhǎng)時(shí)間地進(jìn)行恰當(dāng)?shù)奈絼?dòng)作。
[0023][3]在本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置中，還具有這樣的特征，所述定位部具有:基底板側(cè)定位孔，被設(shè)置為貫通所述基底板；復(fù)數(shù)個(gè)的部件對(duì)面板側(cè)定位孔，被設(shè)置在所述部件對(duì)面板上，當(dāng)所述部件對(duì)面板位于所述基準(zhǔn)位置或所述滑動(dòng)位置時(shí)，在該基準(zhǔn)位置和該滑動(dòng)位置上分別與所述基底板側(cè)定位孔對(duì)向；以及定位針，可插入所述基底板側(cè)定位孔及與該基底板側(cè)定位孔對(duì)向的所述部件對(duì)面板側(cè)定位孔。
[0024]通過(guò)使得定位部具有這樣的結(jié)構(gòu)，能夠使得定位部的結(jié)構(gòu)單一。并且，對(duì)于用于進(jìn)行定位的操作，只要進(jìn)行僅將定位針插入基底板側(cè)定位孔及與該基底板側(cè)定位孔對(duì)向的部件對(duì)面板側(cè)定位孔這樣的簡(jiǎn)單的操作即可，單進(jìn)行這樣的操作即可實(shí)現(xiàn)切實(shí)的定位。
[0025][4]在本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置中，還具有這樣的特征，所述定位部具有:驅(qū)動(dòng)裝置，用于使得所述部件對(duì)面板進(jìn)行所述滑動(dòng)；以及控制裝置，控制該驅(qū)動(dòng)裝置，通過(guò)由所述控制裝置來(lái)控制所述驅(qū)動(dòng)裝置，將所述部件對(duì)面板定位在所述基準(zhǔn)位置或所述滑動(dòng)位置上。
[0026]通過(guò)使得定位部具有這樣的結(jié)構(gòu)，能夠自動(dòng)地進(jìn)行部件對(duì)面板的定位。例如，操作員通過(guò)操作用于選擇滑動(dòng)位置的選擇按鈕，能夠自動(dòng)地設(shè)定為預(yù)定的滑動(dòng)位置，或從預(yù)定的滑動(dòng)位置設(shè)定到基準(zhǔn)位置。另外，作為驅(qū)動(dòng)裝置，可以例舉具有電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)裝置。另外，在設(shè)計(jì)這樣的定位部時(shí)，也可使用圖像處理技術(shù)，基于對(duì)作為吸附對(duì)象的平板狀部件進(jìn)行攝像而獲得的圖像數(shù)據(jù)，識(shí)別作為吸附對(duì)象的平板部件的尺寸，并基于這個(gè)識(shí)別結(jié)果，進(jìn)行控制使得部件對(duì)面板自動(dòng)地到達(dá)預(yù)定的位置。
[0027][5]在本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置中，還具有這樣的特征，存在被設(shè)在所述相鄰的基準(zhǔn)吸附孔之間的所述追加吸附孔沿著所述滑動(dòng)方向被設(shè)置η個(gè)(η為2以上的整數(shù))的區(qū)域，在將該η個(gè)的追加吸附孔沿著滑動(dòng)方向依次從第一段的追加吸附孔設(shè)置到第η段的追加吸附孔時(shí)，所述滑動(dòng)位置可以設(shè)定為從所述第一段到所述第η段的η個(gè)階段，通過(guò)在所述η個(gè)階段的各個(gè)滑動(dòng)位置上所述η個(gè)的追加吸附孔依次與所述基底板的基底板側(cè)吸附孔相對(duì)向，從而在所述η個(gè)階段的各個(gè)滑動(dòng)位置上所述特定吸附區(qū)域被形成為各不相同的大小。
[0028]這樣，在部件對(duì)面板上，在部件對(duì)面板位于基準(zhǔn)位置時(shí)形成的基準(zhǔn)吸附區(qū)域以外，可以形成部件對(duì)面板位于復(fù)數(shù)個(gè)階段(η個(gè)階段)的滑動(dòng)位置時(shí)分別形成的η種的特定吸附區(qū)域。
[0029][6]在本發(fā)明的平板狀部件吸附裝置中，還具有這樣的特征，所述基準(zhǔn)吸附孔和所述追加吸附孔在所述部件對(duì)面板上被