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一體化晶體諧振器的制作方法

文檔序號(hào):12717560閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一體化晶體諧振器,包括振子晶片基座、電極,其特征在于:所述的振子基座由壓電材料通過掩膜、化學(xué)腐蝕制成,振子晶片基座的上表面、下表面均設(shè)有凹陷區(qū),凹陷區(qū)內(nèi)分別設(shè)有上電極、下電極;凹陷區(qū)的深度大于上電極或下電極的厚度;上電極、下電極在振子晶片基座的兩端分別設(shè)有金屬引出線;振子晶片基座的上方分別連接固定上蓋板、下基板;下基板的底面的兩端分別設(shè)有焊盤,焊盤與上電極或下電極的金屬引出線連接;上蓋板、下基板與振子晶片基座的材質(zhì)相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體諧振器,其特征在于:振子晶片基座凹陷區(qū)的邊沿分別通過高溫密封膠連接固定上蓋板、下基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體諧振器,其特征在于:所述的壓電材料為壓電水晶。

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