技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu)，包括壓電基底；所述壓電基底之上制作有叉指換能器；所述叉指換能器兩側(cè)為反射柵；還包括連接所述叉指換能器和所述反射柵的匯流條；在所述反射柵的外側(cè)、所述匯流條的末端還連接有多根補(bǔ)償反射柵；所述補(bǔ)償反射柵平行于所述反射柵；所述補(bǔ)償反射柵的寬度寬于所述反射柵。本實(shí)用新型在反射柵邊緣部位增加了數(shù)根補(bǔ)償發(fā)射柵，加大了圖形表面積同時(shí)減小了反射柵在顯影階段受水力沖擊的力道，保證了圖形的完整性。穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)了在對(duì)25微米極限線條的光刻工藝，經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，可提高成品良率約10％左右。

技術(shù)研發(fā)人員：掌慶冠;張莉;王紹安;吳莊飛;陸增天
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫市好達(dá)電子有限公司
文檔號(hào)碼：201621431474
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.23
技術(shù)公布日：2017.07.07