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一種聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12844846閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu),包括壓電基底(6);所述壓電基底(6)之上制作有叉指換能器(1);所述叉指換能器(1)兩側(cè)為反射柵(2);還包括連接所述叉指換能器(1)和所述反射柵(2)的匯流條(4);其特征在于,在所述反射柵(2)的外側(cè)、所述匯流條(4)的末端還連接有多根補(bǔ)償反射柵(3);所述補(bǔ)償反射柵(3)平行于所述反射柵(2);所述補(bǔ)償反射柵(3)的寬度寬于所述反射柵(2)。

2.如權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu),其特征在于,所述補(bǔ)償反射柵(3)有2~6根。

3.如權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu),其特征在于,多根所述補(bǔ)償反射柵(3)的寬度相等,相鄰的補(bǔ)償反射柵(3)的間隔距離相等。

4.如權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu),其特征在于,由靠近所述反射柵(2)到遠(yuǎn)離所述反射柵(2)的方向,相鄰的補(bǔ)償反射柵(3)的間隔距離越來越寬。

5.如權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu),其特征在于,所述補(bǔ)償反射柵(3)的寬度是所述反射柵(2)的寬度的5~10倍。

6.如權(quán)利要求5所述的聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu),其特征在于,所述反射柵(2)的寬度為0.25um,所述補(bǔ)償發(fā)射柵(3)的寬度為4um。

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