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一種聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12844846

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本實(shí)用新型涉及聲表面波濾波器,具體涉及一種聲表面波濾波器反射柵結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)隨著摩爾定律放緩,近年來(lái)市場(chǎng)以那種力圖小型化來(lái)降低產(chǎn)品成本方法已接近極限,所以需要不斷提高產(chǎn)品良率以提升企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力?,F(xiàn)有技術(shù)中,濾波器產(chǎn)品頻率段提高到2.7G,濾波器芯片線條也由以前的幾微米提高到0.25微米,這就對(duì)我們的工藝水平有了更高的要求。在現(xiàn)有技術(shù)中,在對(duì)聲表面波濾波器芯片進(jìn)行光刻工藝時(shí),例如,使用波長(zhǎng)248納米的光源做單層光刻負(fù)膠剝離工藝時(shí),對(duì)于芯片上0.25微米極限線條會(huì)出現(xiàn)出現(xiàn)剝離后光阻剝離(peeling...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
該類(lèi)技術(shù)注重原理思路,無(wú)完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。

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