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附載體銅箔、積層體、印刷配線板的制造方法及電子機(jī)器的制造方法與流程

文檔序號:12280694閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種附載體銅箔,其依序具備載體、中間層及極薄銅層,且

所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp為0.193~3.082μm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的核心部高度差Sk為0.097~0.937μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的突出峰部高度Spk為0.059~0.470μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的突出峰部高度Spk為0.059~0.470μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp為0.003~0.024μm3/μm2

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp為0.003~0.024μm3/μm2。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp為0.003~0.024μm3/μm2。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp為0.003~0.024μm3/μm2。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層側(cè)表面中,滿足以下的10-1~10-5的項(xiàng)目中的任一個(gè)或兩個(gè)或三個(gè)或四個(gè)或五個(gè);

·10-1:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp滿足以下的10-1a~10-1c中的任一個(gè);

10-1a:2.4μm以下、

10-1b:1.53μm以下、

10-1c:0.700μm以下;

·10-2:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的核心部高度差Sk滿足以下的10-2a~10-2c中的任一個(gè);

10-2a:0.80μm以下、

10-2b:0.51μm以下、

10-2c:0.37μm以下;

·10-3:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的突出峰部高度Spk滿足以下的10-3a~10-3c中的任一個(gè);

10-3a:0.217μm以下、

10-3b:0.170μm以下、

10-3c:0.140μm以下;

·10-4:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp滿足以下的10-4a~10-4d中的任一個(gè);

10-4a:0.018μm3/μm2以下、

10-4b:0.010μm3/μm2以下、

10-4c:0.008μm3/μm2以下、

10-4d:0.006μm3/μm2以下;

·10-5:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk滿足以下的10-5a~10-5c中的任一個(gè);

10-5a:8.41以下、

10-5b:7.00以下、

10-5c:5.825以下。

11.一種附載體銅箔,其依序具備載體、中間層及極薄銅層,且

所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的核心部高度差Sk為0.097~0.937μm。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的突出峰部高度Spk為0.059~0.470μm。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp為0.003~0.024μm3/μm2

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp為0.003~0.024μm3/μm2。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

19.一種附載體銅箔,其依序具備載體、中間層及極薄銅層,且

所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的突出峰部高度Spk為0.059~0.470μm。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp為0.003~0.024μm3/μm2。

21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

23.一種附載體銅箔,其依序具備載體、中間層及極薄銅層,且

所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp為0.003~0.024μm3/μm2。

24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的附載體銅箔,其中,所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

25.一種附載體銅箔,其依序具備載體、中間層及極薄銅層,且

所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面的由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk為3.271~10.739。

26.根據(jù)權(quán)利要求1至8、11至25中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其中,所述極薄銅層側(cè)表面中,滿足以下的26-1~26-5的項(xiàng)目中的任一個(gè)或兩個(gè)或三個(gè)或四個(gè)或五個(gè);

·26-1:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp滿足以下的26-1a~26-1c中的任一個(gè);

26-1a:2.4μm以下、

26-1b:1.53μm以下、

26-1c:0.700μm以下;

·26-2:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的核心部高度差Sk滿足以下的26-2a~26-2c中的任一個(gè);

26-2a:0.80μm以下、

26-2b:0.51μm以下、

26-2c:0.37μm以下;

·26-3:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的突出峰部高度Spk滿足以下的26-3a~26-3c中的任一個(gè);

26-3a:0.217μm以下、

26-3b:0.170μm以下、

26-3c:0.140μm以下;

·26-4:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的峰部的實(shí)體體積Vmp滿足以下的26-4a~26-4d中的任一個(gè);

26-4a:0.018μm3/μm2以下、

26-4b:0.010μm3/μm2以下、

26-4c:0.008μm3/μm2以下、

26-4d:0.006μm3/μm2以下;

·26-5:由激光顯微鏡測定的依據(jù)ISO 25178的最大峰高度Sp與突出峰部高度Spk的比Sp/Spk滿足以下的26-5a~26-5c中的任一個(gè);

26-5a:8.41以下、

26-5b:7.00以下、

26-5c:5.825以下。

27.根據(jù)權(quán)利要求1至8、11至25中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其中,當(dāng)權(quán)利要求1至8、11至25中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔從載體觀察時(shí)在載體的一面?zhèn)纫佬蚓哂兄虚g層及極薄銅層的情況下,在所述極薄銅層側(cè)及所述載體側(cè)的至少一表面或兩表面具有選自由粗化處理層、耐熱層、防銹層、鉻酸鹽處理層及硅烷偶聯(lián)劑處理層所組成的群中的1種以上的層,或者

當(dāng)權(quán)利要求1至8、11至25中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔從載體觀察時(shí)在載體的兩面?zhèn)纫佬蚓哂兄虚g層及極薄銅層的情況下,在該極薄銅層側(cè)一表面或兩表面具有選自由粗化處理層、耐熱層、防銹層、鉻酸鹽處理層及硅烷偶聯(lián)劑處理層所組成的群中的1種以上的層。

28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的附載體銅箔,其中,所述粗化處理層是由下述的材料組成的層,所述材料為選自由銅、鎳、磷、鎢、砷、鉬、鉻、鐵、釩、鈷及鋅所組成的群中的任一單質(zhì)或含有任1種以上所述單質(zhì)的合金。

29.根據(jù)權(quán)利要求1至8、11至25中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔,其中,在所述極薄銅層上具備樹脂層。

30.據(jù)權(quán)利要求27所述的附載體銅箔,其中,在所述選自由粗化處理層、耐熱層、防銹層、鉻酸鹽處理層及硅烷偶聯(lián)劑處理層所組成的群中的1種以上的層上具備樹脂層。

31.一種積層體,是使用權(quán)利要求1至30中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔而制造。

32.一種積層體,其含有權(quán)利要求1至30中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔與樹脂,且所述附載體銅箔的端面的一部分或全部被所述樹脂覆蓋。

33.一種積層體,是將一個(gè)權(quán)利要求1至30中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔從所述載體側(cè)或所述極薄銅層側(cè),積層在另一個(gè)權(quán)利要求1至30中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔的所述載體側(cè)或所述極薄銅層側(cè)而成。

34.一種印刷配線板的制造方法,其使用權(quán)利要求31至33中任一項(xiàng)所述的積層體。

35.一種印刷配線板的制造方法,其包括如下步驟:

在權(quán)利要求31至33中任一項(xiàng)所述的積層體的任一面或兩面進(jìn)行至少1次設(shè)置樹脂層與電路這2層的步驟;及

在進(jìn)行至少1次形成所述樹脂層及電路這2層之后,將所述極薄銅層或所述載體從構(gòu)成所述積層體的附載體銅箔剝離的步驟。

36.一種印刷配線板的制造方法,其使用權(quán)利要求1至30中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔。

37.一種電子機(jī)器的制造方法,其使用利用權(quán)利要求36所述的方法而制造的印刷配線板。

38.一種印刷配線板的制造方法,其包括如下步驟:

準(zhǔn)備權(quán)利要求1至30中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔與絕緣基板的步驟;

將所述附載體銅箔與絕緣基板積層的步驟;及

將所述附載體銅箔與絕緣基板積層后,經(jīng)過將所述附載體銅箔的載體剝離的步驟而形成覆銅積層板,

其后通過半加成法、減成法、部分加成法或改良型半加成法中的任一方法而形成電路的步驟。

39.一種印刷配線板的制造方法,其包括如下步驟:

在權(quán)利要求1至30中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面形成電路的步驟;

以掩埋所述電路的方式在所述附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面形成樹脂層的步驟;

將所述載體或所述極薄銅層剝離的步驟;及

在將所述載體或所述極薄銅層剝離后去除所述極薄銅層或所述載體,由此,使形成在所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面的掩埋在所述樹脂層的電路露出的步驟。

40.一種印刷配線板的制造方法,其包括如下步驟:

將權(quán)利要求1至30中任一項(xiàng)所述的附載體銅箔的所述極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面與樹脂基板積層的步驟;

在所述附載體銅箔的與樹脂基板積層的側(cè)為相反側(cè)的極薄銅層側(cè)表面或所述載體側(cè)表面進(jìn)行至少1次設(shè)置樹脂層與電路這2層的步驟;及

在形成所述樹脂層及電路這2層后,將所述載體或所述極薄銅層從所述附載體銅箔剝離的步驟。

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