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包括銅填充多徑激光鉆孔的元件載體的制作方法

文檔序號(hào):11595507閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種元件載體(100),其包括由電絕緣結(jié)構(gòu)和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)構(gòu)成的層堆疊部(101)。此外,鉆孔(110)延伸至層堆疊部(101)中并且具有第一鉆孔段(111)和連接的第二鉆孔段(112),第一鉆孔段(111)具有第一直徑(D1),第二鉆孔段(112)具有不同于第一直徑(D1)的第二直徑(D2)。導(dǎo)熱材料(102)基本上填充整個(gè)鉆孔(110)。鉆孔(110)特別地通過激光鉆孔形成。

技術(shù)研發(fā)人員:尼古勞斯·鮑爾·歐平格爾;陳趙健;竇玉村;威廉·塔姆
受保護(hù)的技術(shù)使用者:奧特斯(中國(guó))有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.01.29
技術(shù)公布日:2017.08.08
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