專利名稱：彈性表面波裝置及具有它的通信裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用于延遲線和濾波器等的彈性表面波裝置及具有該彈性表面波裝置的通信裝置。
背景技術(shù)：
近年來，由于電子設(shè)備的小型化和輕量化，對(duì)于電子零部件也要求多功能化。在這樣的背景下，對(duì)于作為使用于攜帶式電話機(jī)等通信裝置的彈性表面波裝置的彈性表面波濾波器(以下稱作SAW濾波器)，也要求其具有不平衡型—平衡型變換功能，以達(dá)到能與根據(jù)平衡輸入進(jìn)行工作的IC直接連接，對(duì)其研究也變得活躍起來。
特別是，在由諧振器型濾波器構(gòu)成的具有不平衡型—平衡型變換功能的SAW裝置中，平衡側(cè)的振幅差和相位差成為重要特性(以下稱作平衡性)，要求平衡側(cè)的振幅差是0dB，相位差是180°。但是，實(shí)際上，即使是SAW裝置的結(jié)構(gòu)，也由于平衡性的傾向不同，而不能完全地使振幅差等于0dB，相位差等于180°，這就成為對(duì)這些SAW濾波器結(jié)構(gòu)改善平衡性的技術(shù)課題。
在具有不平衡型—平衡型變換功能的彈性表面波裝置上，因IC的種類和目的不同而有各種結(jié)構(gòu)，例如，在平衡側(cè)的匹配阻抗大約等于不平衡側(cè)的匹配阻抗的4倍的彈性表面波裝置上，但能廣泛地使用圖12那樣的結(jié)構(gòu)。
圖12示出的彈性表面波裝置的結(jié)構(gòu)是在壓電基板(未圖示)上設(shè)置包括諧振器型濾波器100和與其相位差180°的諧振器型濾波器101。
在上述諧振器型濾波器100上，設(shè)置梳型電極部(叉指式換能器，以下記作IDT)101，在其IDT101的左右(沿彈性表面波傳播方向的左右)配置IDT102、103。另外，在上述諧振器型濾波器100中，從左右(沿彈性表面波傳播方向的左右)夾這些IDT101、102、103分別配置反射器104和105。
IDT由鋁等金屬薄膜形成，是作為彈性表面波變換部的具有使輸入的電信號(hào)(交流)變換成彈性表面波(彈性能)傳播到壓電基板上，將傳播到的彈性表面波變換成電信號(hào)進(jìn)行輸出的功能的裝置。反射器是用于將傳播來的彈性表面波向傳播來的方向反射，使變換功率提高的裝置。
在這樣的IDT中，利用分別設(shè)定各梳型電極指的長度和寬度、相鄰的各梳型電極指的間隔、表示梳型電極指間相互插入狀態(tài)時(shí)的對(duì)置長度的交叉寬度，就能設(shè)定信號(hào)變換特性和通頻帶。此外，對(duì)于反射器，利用調(diào)整各反射器電極指的寬度和間隔，就能設(shè)定反射特性。
此外，為了使諧振器型濾波器110與上述諧振器型濾波器100的相位相差180°，設(shè)置IDT111，使其電極指信號(hào)端(信號(hào)側(cè))和接地(接地側(cè))與諧振器型濾波器100中的IDT101中的顛倒，在其IDT111的左右(沿彈性表面波傳播方向的左右)配置IDT112、113。另外，在上述諧振器型濾波器110中，從左右夾這些IDT111、112、113分別配置反射器114、115，用于反射彈性表面波，使變換功率提高。
另外，詳細(xì)地說，設(shè)置不平衡信號(hào)用端子170和平衡信號(hào)用端子180和190，不平衡信號(hào)用端子170并聯(lián)地與諧振器型濾波器100中的IDT102、103和諧振器型濾波器110中的112和113連接，平衡信號(hào)用端子180和190與IDT101、111各自串聯(lián)地連接。即，連接相位180°不同的2個(gè)諧振器型濾波器100、110的單側(cè)，將連接的不平衡信號(hào)用端子170作為不平衡型，將不連接的平衡信號(hào)用端子180和190作為平衡型，構(gòu)成具有不平衡型—平衡型變換功能的彈性表面波裝置。另一方面，對(duì)于該彈性表面波裝置，要求通頻帶外的高衰減和衰減的急劇性。
因此，如圖13所示，圖12示出的彈性表面波裝置的各端170、180、190中，利用各自串聯(lián)地插入包括諧振器131、141、151的陷波諧振器130、140、150，能在通頻帶外得到高衰減和衰減的急劇性。
但是，在上述結(jié)構(gòu)中，由于為了使諧振器型濾波器110的相位對(duì)于諧振器型濾波器100有180°不同，而使諧振器型濾波器110中央的IDT111中的電極指的信號(hào)端和接地對(duì)于諧振器型濾波器100顛倒，因此，就包括了在諧振器型濾波器100與諧振器型濾波器110的信號(hào)端和接地的根數(shù)不同的情況和在IDT與IDT邊界中信號(hào)端和接地并列而產(chǎn)生不需要的電場(chǎng)的情況等平衡性惡化的因素。作為對(duì)該平衡性的改善的一個(gè)對(duì)策，依舊有設(shè)信號(hào)端電極指為接地等的方法，而在平衡性上存在問題。

發(fā)明內(nèi)容
需要解決的技術(shù)問題作為圖12示出的彈性表面波裝置，在通頻帶內(nèi)的近旁，諧振器型濾波器100與諧振器型濾波器110最理想的是相位差僅為180°，但結(jié)果由于上述那樣的原因，實(shí)際上阻抗等也不同。其結(jié)果，平衡性產(chǎn)生距理想狀態(tài)的振幅差0dB和相位差180°的偏移。這樣的不當(dāng)是由相位相差180°的二系統(tǒng)濾波器構(gòu)成的具有不平衡型—平衡型變換功能的電表面波裝置本質(zhì)上存在的問題。此外，在以平衡性為實(shí)用問題的標(biāo)準(zhǔn)的情況下沒有有效的改善方法。
本發(fā)明的目的是鑒于上述現(xiàn)有的問題，提供一種進(jìn)一步改善平衡性的具有不平衡型—平衡型變換功能的彈性表面波裝置。
用于解決技術(shù)問題的技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的彈性表面波裝置的特征在于，包括沿彈性表面波傳播方向形成的具有多個(gè)梳型電極部的第1彈性表面波元件和第2彈性表面波元件，在上述第2彈性表面波元件與上述第1彈性表面波元件相位反轉(zhuǎn)180°，具有不平衡型—平衡型變換功能的彈性表面波裝置中，包括在上述第1彈性表面波元件的不平衡側(cè)串聯(lián)連接的第1諧振器；在上述第2彈性表面波元件的不平衡側(cè)串聯(lián)連接的第2諧振器，上述第1諧振器和第2諧振器用相互不同的設(shè)計(jì)參數(shù)形成。此外，優(yōu)選上述第1諧振器和第2諧振器由至少1個(gè)的梳型電極部和夾梳型電極部而配置的反射體構(gòu)成的彈性表面波諧振器。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，因?yàn)榈?諧振器和第2諧振器分別是按照第1彈性表面波元件和第2彈性表面波元件的特性設(shè)計(jì)的，所以，利用調(diào)節(jié)各自的設(shè)計(jì)參數(shù)，起到所說的能改善彈性表面波裝置的不平衡型—平衡型變換中的平衡性的效果。
本發(fā)明的彈性表面波裝置的特征在于，加在上述結(jié)構(gòu)上，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和上述第2諧振器中的反射體和/或梳型電極部的電極指的根數(shù)。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由各諧振器中的電極指的根數(shù)能改善平衡側(cè)的輸出的平衡性。
本發(fā)明的彈性表面波裝置的特征在于，加在上述結(jié)構(gòu)上，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和第2諧振器中的交叉寬度。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由各諧振器中的交叉寬度能改善平衡側(cè)的輸出的平衡性。
本發(fā)明的彈性表面波裝置的特征在于，加在上述結(jié)構(gòu)上，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和第2諧振器中的占空比。此外，設(shè)上述第1諧振器和第2諧振器中的反射體和/或梳型電極部的占空比分別為x和y的情況下，最好滿足0＜|x-y|≤0.05的關(guān)系。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由各諧振器中的占空比能改善平衡側(cè)的輸出的平衡性。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由第1諧振器與第2諧振器的比能改善平衡側(cè)的輸出的平衡性。
本發(fā)明的彈性表面波裝置的特征在于，加在上述結(jié)構(gòu)上，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和第2諧振器中的反射體與梳型電極部的最外電極指中心間距離。此外，設(shè)由上述彈性表面波元件的梳型電極部的結(jié)構(gòu)決定的波長為λ，第1諧振器和2諧振器中的反射體與形電極部的最外電極指中心間距離分別為Xλ和Yλ的情況下，最好滿足(0+0.5n)λ＜|X-Y|λ≤(0.18+0.5n)λ(n＝0，1，2…)的關(guān)系。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，因?yàn)榈?諧振器與第2諧振器的最外電極指中心間距離不同，所以，第1諧振器與第2諧振器的振幅和相位特性不同，能補(bǔ)償?shù)?彈性表面波元件與第2彈性表面波元件中的通頻帶高頻一側(cè)的平衡度的偏移。因而，能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
本發(fā)明的彈性表面波裝置的特征在于，加在上述結(jié)構(gòu)上，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和第2諧振器中的反射體與梳型電極部的節(jié)距比。此外，設(shè)第1諧振器和第2諧振器中的反射體與梳型電極部的節(jié)距比(梳型電極部的節(jié)距/反射體的節(jié)距)分別為a和b的情況下，最好滿足0.984≤a/b＜1的關(guān)系。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于使第1諧振器和第2諧振器中梳型電極部與反射體的節(jié)距比不同，因此，第1諧振器與第2諧振器中的振幅和相位特性不同，能補(bǔ)償?shù)?彈性表面波元件與第2彈性表面波元件中的通頻帶高頻一側(cè)的平衡度的偏移。因而，能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
此外，上述彈性表面波裝置也可以用表面向下(フエイスダウン)工藝容納在包裝內(nèi)。
本發(fā)明的通信裝置的特征在于，具有上述彈性表面波裝置的任一種。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過具有提高了平衡性的彈性表面波裝置，能改善平衡性。
具體實(shí)施例方式
(第一實(shí)施方式)
基于圖1至圖7對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的說明如下。本實(shí)施方式涉及的具有不平衡型—平衡型變換功能的彈性表面波裝置(SAW裝置)如圖1所示，其結(jié)構(gòu)包括諧振器型濾波器(彈性表面波元件、SAW濾波器)1、2。這些諧振器型濾波器1、2具有大致相等的通頻帶。此外，這些諧振器型濾波器1、2設(shè)置在壓電基板(未圖示)上。上述壓電基板由鉭酸鋰和鈮酸鋰等構(gòu)成。
上述諧振器型濾波器1以IDT11為中央，在其左右(沿彈性表面波傳播方向的左右)配置IDT12、13。從左右(沿彈性表面波傳播方向的左右)夾這些IDT11、12、13分別具有反射器14、14。
上述諧振器型濾波器2以IDT21為中央，在其左右(沿彈性表面波傳播方向的左右)配置IDT22、23。從左右(沿彈性表面波傳播方向的左右)夾這些IDT21、22、23分別具有反射器24、24。
然后，上述IDT11和IDT21顛倒地配置它們的電極指的信號(hào)端(信號(hào)側(cè))和接地(接地側(cè))，這樣，上述諧振器型濾波器1和諧振器型濾波器2被設(shè)計(jì)成相互的相位相差約180°。
上述諧振器型濾波器1和2對(duì)于不平衡信號(hào)用端子7并聯(lián)地連接。此外，諧振器型濾波器1對(duì)于平衡信號(hào)用端子8和諧振器型濾波器2對(duì)于平衡信號(hào)用端子9分別串聯(lián)地連接。
此外，為了改善頻帶外的衰減量，陷波諧振器3和5對(duì)于諧振器型濾波器1，陷波諧振器4和6對(duì)于諧振器型濾波器2分別串聯(lián)地連接。此外，上述陷波諧振器3和4與不平衡信號(hào)用端子7連接。陷波諧振器5和6分別與平衡信號(hào)用端子8和9連接。如上所述，由于將不平衡信號(hào)用端子7一側(cè)的陷波諧振器分割成陷波諧振器3和4，因此能更加良好地調(diào)節(jié)平衡性。
各陷波諧振器3、4、5、6分別包括諧振器31、41、51、61，是沿其彈性表面波傳播方向，分別由反射器32、42、52、62夾持而構(gòu)成的。
詳細(xì)地說，諧振器型濾波器1的IDT12和13與陷波諧振器3的諧振器31連接。諧振器型濾波器1的IDT11與陷波諧振器5的諧振器51連接。諧振器型濾波器2的IDT22和23與陷波諧振器4的諧振器41連接。然后，諧振器型濾波器2的IDT21與陷波諧振器6的諧振器61連接。
根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，本彈性表面波裝置具有平衡信號(hào)用端子8和9的各自阻抗大約四倍于不平衡信號(hào)用端子7的阻抗這樣的不平衡型—平衡型變換功能。
在本實(shí)施方式中，對(duì)設(shè)計(jì)成不平衡信號(hào)用端子7側(cè)等于50Ω、平衡信號(hào)用端子8和9側(cè)等于200Ω的情況進(jìn)行說明。以下，為了研究陷波諧振器中的根據(jù)電極指的根數(shù)的平衡性，舉出具體例子進(jìn)行說明。表1示出上述彈性表面波裝置中的設(shè)計(jì)參數(shù)。設(shè)陷波諧振器3和4中的電極指的根數(shù)分別為N1和N2，N1≠N2。
表1


在表1示出設(shè)計(jì)的上述彈性表面波裝置中，如表2所示，陷波諧振器3中的電極指的根數(shù)N1和陷波諧振器4中的電極指的根數(shù)N2的組合按①～③進(jìn)行改變，對(duì)彈性表面波裝置的平衡性進(jìn)行研究。此外，也示出陷波諧振器3和陷波諧振器4中的電極指的根數(shù)的比N2/N1。
表2


圖2示出①～③組合的彈性表面波裝置的振幅平衡度的曲線圖。從該曲線圖可知，若使N2/N1變大，極值下降的高頻側(cè)的特性就向低頻側(cè)轉(zhuǎn)換。若在①和③中比較極值的值，從0.65dB向0.85dB變化。
另一方面，圖3示出①～③組合的彈性表面波裝置的相位平衡度的曲線圖。從該曲線圖可知，相位平衡度若使N2/N1大，就全體向上(相位平衡度變大)轉(zhuǎn)換。特別是，高頻側(cè)的變化量大，在①和③的比較中，從170°向172.5°變化。
可知通過以上那樣地改變與不平衡信號(hào)用端子側(cè)連接的陷波諧振器的電極指的根數(shù)，平衡性就變化。即，根據(jù)諧振器型濾波器的設(shè)計(jì)而平衡性不同，但通過改變與不平衡信號(hào)用端子側(cè)連接的陷波諧振器中的諧振器的電極指的根數(shù)，能調(diào)節(jié)平衡性。本實(shí)施方式的情況下，若使N2/N1變大，相位平衡度就全體向上移動(dòng)，但若比較通頻帶內(nèi)的最大值和最小值的變化量，則最小值的變化量大。
另外，圖4和圖5示出在簡單的模擬試驗(yàn)中，改變了與不平衡信號(hào)用端子側(cè)連接的陷波諧振器中的諧振器的電極指的根數(shù)的情況下的平衡性的變化。其結(jié)果，可知振幅平衡度和相位平衡度在高頻側(cè)的變化量大。該情況示出應(yīng)該與實(shí)測(cè)值的傾向一致，能根據(jù)模擬試驗(yàn)進(jìn)行參數(shù)的控制。上述模擬試驗(yàn)可以基于例如等效電路法進(jìn)行，能舉出等效電路模型或模式結(jié)合理論等。
此外，圖6和圖7中示出使上述彈性表面波裝置中的陷波諧振器3的占空比變化為0.42、0.62、0.82的情況的平衡性的變化。圖6示出振幅平衡度，圖7示出相位平衡度。再者，陷波諧振器4的占空比為0.62。N1是337，此外，N2是305，其他的設(shè)計(jì)參數(shù)與表1示出的相同。
從圖6和圖7可知，通過使與不平衡信號(hào)用端子側(cè)連接的陷波諧振器的占空比變化，平衡性就變化。即，根據(jù)諧振器型濾波器的設(shè)計(jì)而平衡性不同，但通過使與不平衡信號(hào)用端子側(cè)連接的陷波諧振器的諧振器中的占空比變化，能在通頻帶的高頻側(cè)調(diào)節(jié)平衡性。特別是，從圖7可知能調(diào)節(jié)相位平衡。
此外，上述中，由3個(gè)IDT構(gòu)成諧振器型濾波器，但也可以應(yīng)用于使用與本實(shí)施方式的設(shè)計(jì)無關(guān)的除諧振器型濾波器之外的結(jié)構(gòu)，例如不限于3個(gè)，是由多個(gè)IDT構(gòu)成的結(jié)構(gòu)的情況。
(第二實(shí)施方式)基于圖8至圖10對(duì)本發(fā)明的其他實(shí)施方式的說明如下。再者，為了方便說明，在與上述第一實(shí)施方式示出的各部件具有相同功能的部件上作相同的標(biāo)記，省略其說明。
本實(shí)施方式中，在與第一實(shí)施方式的彈性表面波裝置大致相同的設(shè)計(jì)中，將包括與不平衡信號(hào)用端子7一側(cè)連接的諧振器31a和夾它的反射器32和32的陷波諧振器3改變?yōu)榘ㄖC振器31a和夾它的反射器32a和32a的陷波諧振器3a。上述諧振器31與諧振器31a的交叉寬度不同。這樣，為了研究根據(jù)陷波諧振器3a和4中的交叉寬度的平衡性，舉具體例子進(jìn)行說明。表3示出上述彈性表面波裝置中的設(shè)計(jì)參數(shù)。設(shè)陷波諧振器3a和4中的交叉寬度分別為A1、A2。
表3


圖9和圖10示出在簡單的模擬試驗(yàn)中，改變了與不平衡信號(hào)用端子側(cè)連接的陷波諧振器中的諧振器的交叉寬度時(shí)的平衡性的變化，圖9示出關(guān)于彈性表面波裝置的振幅平衡度的變化，圖10示出關(guān)于彈性表面波裝置的相位平衡度的變化。在此，示出使A2/A1＝1.0、0.79、0.62時(shí)的平衡性的變化(特性)。從圖9和圖10可知，與改變電極指的根數(shù)時(shí)一樣，能通過改變與不平衡信號(hào)用端子側(cè)連接的陷波諧振器中的諧振器的交叉寬度，在通頻帶內(nèi)的高頻側(cè)調(diào)節(jié)平衡性。
象這樣，能通過使與不平衡信號(hào)用端子側(cè)連接的陷波諧振器的設(shè)計(jì)參數(shù)各自不同來調(diào)節(jié)平衡性。
此外，不僅電極指的根數(shù)、占空比和交叉寬度，而且也能應(yīng)用對(duì)諧振器與諧振器的節(jié)距、電極指的寬度、或電極指的加權(quán)方法等。
(第三實(shí)施方式)基于圖14至圖21對(duì)本發(fā)明的其他實(shí)施方式的說明如下。
本實(shí)施方式涉及的具有不平衡型—平衡性變換功能的彈性表面波裝置(SAW裝置)如圖14所示，在由40±5°YcutX傳播LiTaO3構(gòu)成的壓電基板(無圖示)上設(shè)置由A1電極形成的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器(彈性表面波元件)501和502，具有不平衡信號(hào)端的阻抗為50Ω、平衡信號(hào)端的阻抗為150Ω的平衡—不平衡信號(hào)變換功能。此外，在不平衡信號(hào)端515與縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502各自之間串聯(lián)地連接彈性表面波諧振器(諧振器)503和504。
上述縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501的結(jié)構(gòu)是夾IDT506形成IDT505和507，在其兩側(cè)形成反射體508和509。如圖14所示，使IDT505與IDT506之間和IDT506與IDT507之間的幾根電極指的節(jié)距小于IDT的其他部分的電極指的節(jié)距(窄節(jié)距電極指部518和519)。
縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器502的結(jié)構(gòu)是夾IDT511形成IDT510和512，在其兩側(cè)形成反射體513和514。此外，與縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501一樣，在IDT510與IDT511之間和IDT511與IDT512之間設(shè)置窄節(jié)距電極指部520和521。此外，使縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器502的IDT510和IDT512的指向?qū)τ诳v耦合諧振器型彈性表面波濾波器501的IDT505和IDT507的指向在交叉寬度方向上反轉(zhuǎn)。這樣，縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器502中的與輸入信號(hào)相對(duì)的輸出信號(hào)的相位對(duì)于縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501反轉(zhuǎn)大約180°。
此外，本實(shí)施方式中，縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502的IDT506和511分別與平衡信號(hào)端516和517連接。另外，縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502的IDT505和507及IDT510和512各自通過彈性表面波諧振器503和504與不平衡信號(hào)端515連接。
上述彈性表面波諧振器503和504同時(shí)是相同的結(jié)構(gòu)，分別夾IDT523和526，形成反射體522和525及反射體524和527。
其次，圖15示出本實(shí)施方式中的容納在包裝中的彈性表面波裝置的剖面圖。上述彈性表面波裝置是由倒裝工藝制作的，其構(gòu)造是利用補(bǔ)片接合206得到包裝與形成彈性表面波濾波器的壓電基板205的導(dǎo)通。
上述包裝為2層結(jié)構(gòu)，包括底板部201、側(cè)壁部202、模片固定(ダイアタツチ)面203和間隙204。該底板部201例如是長方形，從該底板部201的四邊分別立設(shè)側(cè)壁部202。間隙部204覆蓋堵住由該各側(cè)壁部202形成的開口。在該底板部201的上面(內(nèi)表面)形成能得到與壓電基板205導(dǎo)通的模片固定部203。壓電基板205與模片固定部203由補(bǔ)片206接合。
此外，本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500中，Xλ與Yλ不同，其中Xλ是彈性表面波諧振器503中的反射體522和524各自與IDT523相互相鄰的電極指的中心間距離，Yλ是彈性表面波諧振器504中的反射體525和527各自與IDT526相互相鄰的電極指的中心間距離。即，各彈性表面波諧振器503和504中，IDT與反射體的最外電極指中心間距離不同。上述λ是由彈性表面波濾波器的IDT中的電極指節(jié)距決定的波長。例如，在彈性表面波諧振器503中，Xλ＝0.57λ，在彈性表面波諧振器504中，Yλ＝0.43λ。
關(guān)于本實(shí)施方式涉及的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502的詳細(xì)設(shè)計(jì)的一例如下。
設(shè)由不使電極指的節(jié)距窄的電極指的節(jié)距決定的波長為λI，交叉寬度41.8λIIDT根數(shù)(IDT505、IDT506、IDT507的順序)18(3)/(3)33(3)/(3)18根(カツコ內(nèi)使節(jié)距窄的電極指的根數(shù))反射體根數(shù)60根(反射體508、509)、90根(反射體513、514)duty(占空比)0.72(IDT)、0.57(反射體)電極層厚0.092λI此外，關(guān)于上述彈性表面波諧振器503和504的詳細(xì)設(shè)計(jì)的一例如下。
交叉寬度16.5λIIDT根數(shù)180根反射體根數(shù)15根duty0.60電極層厚0.093λI此外，作為對(duì)于本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500的比較，圖18示出第一比較例的彈性表面波裝置1500的結(jié)構(gòu)。該彈性表面波裝置1500對(duì)于上述彈性表面波裝置500，設(shè)彈性表面波諧振器503中的反射體522和524各自與IDT523相互相鄰的電極指的中心間距離(最外電極指中心間距離)Xλ為0.50λ，彈性表面波諧振器504中的反射體525和527各自與IDT526相互相鄰的電極指的中心間距離(最外電極指中心間距離)Yλ為0.50λ。其他設(shè)計(jì)參數(shù)與上述彈性表面波裝置500相同。
圖16和圖17示出本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500中的頻率—插入損耗特性和頻率—共態(tài)衰減量特性。此外，也示出第一比較例中的頻率—插入損耗特性和頻率—共態(tài)衰減量特性。
從圖17可知，在本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500中，1880～1900MHZ附近的共態(tài)衰減量約為22dB，與此相對(duì)，在第一比較例中的彈性表面波裝置1500中約為20dB。即，可知該共態(tài)衰減量有約2dB的改善。這時(shí)，看不到共態(tài)衰減量等的大的惡化。此外，從圖16可知，也看不到通頻帶內(nèi)的插入損耗的惡化。該情況下，由于Xλ與Yλ不同，其中Xλ是彈性表面波諧振器503中的反射體522和524各自與IDT523相互相鄰的電極指的中心間距離，Yλ是彈性表面波諧振器504中的反射體525和527分別與IDT526相互相鄰的電極指的中心間距離，因此彈性表面波諧振器503和彈性表面波諧振器504中的振幅和相位特性不同，這是補(bǔ)償縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502中的通頻帶高頻一側(cè)的平衡度的偏移所起的作用。
下面，研究改善共態(tài)衰減量的范圍。研究方法是使彈性表面波諧振器503中的反射體522和524分別與IDT523相互相鄰的電極指的中心間距離Xλ和彈性表面波諧振器504中的反射體525和527分別與IDT526相互相鄰的電極指的中心間距離Yλ變化，利用調(diào)查對(duì)其差的1880～1900MHz中的共態(tài)衰減量進(jìn)行研究。圖19示出其結(jié)果。根據(jù)該圖19可知，Xλ與Yλ的差到0.18λ為止，能比不使Xλ與Yλ不同(使之相同)的情況得到大的共態(tài)衰減量。即可知，在上述彈性表面波裝置500中，最好是(0+0.5n)λ＜|X-Y|λ≤(0.18+0.5n)λ(n＝0，1，2…)。
如以上說明所述，在第三實(shí)施方式中，在使用串聯(lián)連接彈性表面波諧振器的2個(gè)縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502，具有平衡—不平衡功能的彈性表面波濾波器中，在縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502與平衡信號(hào)端515之間分別串聯(lián)地連接彈性表面波諧振器503和504，利用使各彈性表面波諧振器503和504中的IDT與反射體的最外電極指中心間距離不同，就能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
在本實(shí)施方式中，示出使用2個(gè)具有3個(gè)IDT的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器的例子，但也可以使用2個(gè)具有5個(gè)IDT的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器來構(gòu)成。此外，即使在使用1個(gè)縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器構(gòu)成具有平衡—不平衡變換功能的彈性表面波裝置的情況下，通過使彈性表面波諧振器的IDT與反射體的最外電極中心間距離不同，也能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
此外，在本實(shí)施方式中，如圖15所示，由使用補(bǔ)片接合法的表面向下工藝得到包裝200與壓電基板205上的各電極襯墊導(dǎo)通的方法進(jìn)行制作彈性表面波裝置，但其也可以用引線接合工藝。
此外，作為用表面向下工藝制作的結(jié)構(gòu)，不限于圖15的結(jié)構(gòu)，也可以是例如圖20所示，在集合基板301上用倒裝工藝接合壓電基板302，在其上覆蓋樹脂303密封，由切割切斷成1個(gè)包裝單位而構(gòu)成，也可以與如圖21所示的一樣，在集合基板401上用倒裝工藝接合壓電基板402，在其上覆蓋片狀樹脂材料403密封，由切割切斷成1個(gè)包裝單位而構(gòu)成，制作彈性表面波裝置。
另外，在本實(shí)施方式中，使用由40±5°YcutX傳播LiTaO3構(gòu)成的壓電基板，但從得到效果的原理可知，本發(fā)明不限于該壓電基板，即使是例如64°～72°YcutX傳播LiNbO3和41°YcutX傳播LiNbO3等的壓電基板也能得到同樣的效果。
(第四實(shí)施方式)基于圖22至圖25，對(duì)本發(fā)明的其他實(shí)施方式的說明如下。再者，在方便說明的基礎(chǔ)上，在與由上述第三實(shí)施方式示出的各部件具有相同功能的部件上作相同的標(biāo)記，省略其說明。
本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500a的結(jié)構(gòu)是在第三實(shí)施方式的彈性表面波裝置500中，用彈性表面波諧振器503a和504a代替彈性表面波諧振器503和504。上述彈性表面波諧振器503a和504a的結(jié)構(gòu)是分別夾IDT523a和526a形成反射體522a和525a及反射體524a和527a。在該彈性表面波諧振器503a和504a中，成為a與b不同的結(jié)構(gòu)，其中彈性表面波諧振器503a中的IDT523a與反射體522a和524a的節(jié)距比為a，彈性表面波諧振器504a中的IDT526a與反射體525a和527a的節(jié)距比為b。再者，上述節(jié)距比用“IDT節(jié)距/反射體節(jié)距”表示。上述彈性表面波諧振器503a和504a中的IDT與反射體的節(jié)距比被設(shè)定為a＝0.994、b＝1.006。彈性表面波裝置500a中的其他設(shè)計(jì)參數(shù)與上述第一比較例的彈性表面波裝置1500相同。
圖23和圖24示出本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500a中的頻率—插入損耗特性和頻率—共態(tài)衰減量特性。此外，也示出第一比較例中的頻率—插入損耗特性和頻率—共態(tài)衰減量特性。
從圖24可知，在本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500a中，1880～1900MHz附近的共態(tài)衰減量約為22dB，與此相對(duì)，在第一比較例中的彈性表面波裝置1500中約為20dB。即，可知該共態(tài)衰減量有約2dB的改善。這時(shí)，看不到共態(tài)衰減量等的大的惡化。此外，從圖23可知，也看不到通頻帶內(nèi)的插入損耗的惡化。該情況下，由于彈性表面波諧振器503a和彈性表面波諧振器504a中，使IDT與反射體的節(jié)距比不同，因此彈性表面波諧振器503a和彈性表面波諧振器504a中的振幅和相位特性不同，這是補(bǔ)償縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502中的通頻帶高頻一側(cè)的平衡度的偏移所起的作用。
下面，研究改善共態(tài)衰減量的范圍。研究方法是使彈性表面波諧振器503a中的IDT523a與反射體522a和524a的節(jié)距比(a)和彈性表面波諧振器504a中的IDT526a與反射體524a和527a的節(jié)距比(b)變化，利用調(diào)查對(duì)于其節(jié)距比的比(彈性表面波裝置503a的節(jié)距比/彈性表面波諧振器504a的節(jié)距比(a/b))的1880～1900MHz中的共態(tài)衰減量進(jìn)行研究。圖25示出其結(jié)果。如圖25所示可知，上述節(jié)距比的比大約到0.984為止，能比不使上述節(jié)距比不同的情況得到大的共態(tài)衰減量。即可知，在上述彈性表面波裝置500中，最好節(jié)距比的比為0.984≤a/b＜1的范圍。
如以上說明所述，在第四實(shí)施方式中，在使用串聯(lián)連接彈性表面波諧振器的2個(gè)縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502，具有平衡—不平衡功能的彈性表面波濾波器中，在縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502與平衡信號(hào)端515之間分別串聯(lián)地連接彈性表面波諧振器503a和504a，利用使各彈性表面波諧振器503a和504a中的IDT與反射體的節(jié)距比不同，就能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
在本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500a中，示出使用2個(gè)具有3個(gè)IDT的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器的例子，但也可以使用2個(gè)具有5個(gè)IDT的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器來構(gòu)成。此外，也可以使用1個(gè)縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器構(gòu)成具有平衡—不平衡變換功能的彈性表面波裝置。另外，也可以使用在彈性表面波傳播方向或交叉寬度方向上分割了至少1個(gè)IDT的彈性表面波濾波器，構(gòu)成具有平衡—不平衡變換功能的彈性表面波裝置。然后，上述結(jié)構(gòu)中，利用使各彈性表面波諧振器中的IDT與反射體的節(jié)距比不同，也能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
(第五實(shí)施方式)基于圖26至圖29，對(duì)本發(fā)明的其他實(shí)施方式的說明如下。再者，在方便說明的基礎(chǔ)上，在與由上述第三和第四實(shí)施方式示出的各部件具有相同功能的部件上作相同的標(biāo)記，省略其說明。
本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500b的結(jié)構(gòu)是在第三實(shí)施方式的彈性表面波裝置500中，用彈性表面波諧振器503b和504b代替彈性表面波諧振器503和504。上述彈性表面波諧振器503b和504b的結(jié)構(gòu)是分別夾IDT523b和526b形成反射體522b和525b及反射體524b和527b。在該彈性表面波諧振器503b和504b中，成為彈性表面波諧振器503b中的IDT523b及反射體522b和524b的duty與彈性表面波諧振器504b中的IDT526b及反射體525b和527b的duty不同的結(jié)構(gòu)。上述彈性表面波諧振器503b和504b中的duty分別被設(shè)定為0.620和0.580。彈性表面波裝置500b中的其他設(shè)計(jì)參數(shù)與上述第一比較例的彈性表面波裝置1500相同。
圖27和圖28示出本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500b中的頻率—插入損耗特性和頻率—共態(tài)衰減量特性。此外，也示出第一比較例中的頻率—插入損耗特性和頻率—共態(tài)衰減量特性。
從圖28可知，在本實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置500b中，1880～1900MHz附近的共態(tài)衰減量約為22dB，與此相對(duì)，在第一比較例中的彈性表面波裝置1500中約為20dB。即，可知該共態(tài)衰減量有約2dB的改善。這時(shí)，看不到共態(tài)衰減量等的大的惡化。此外，從圖27可知，也看不到通頻帶內(nèi)的插入損耗的惡化。該情況下，由于彈性表面波諧振器503b和彈性表面波諧振器504b中，使IDT和反射體的duty不同，因此彈性表面波諧振器503b和彈性表面波諧振器504b中的振幅和相位特性不同，這是補(bǔ)償縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502中的通頻帶高頻一側(cè)的平衡度的偏移所起的作用。
下面，研究改善共態(tài)衰減量的范圍。研究方法是使彈性表面波諧振器503b中的IDT523b及反射體522b和524b的duty(x)和彈性表面波諧振器504b中的IDT526b及反射體524b和527b的duty(y)變化，利用調(diào)查對(duì)于這些duty的差(x-y)的1880～1900MHZ中的共態(tài)衰減量進(jìn)行研究。圖29示出其結(jié)果。如圖29所示可知，上述duty的差大約到0.05為止，能比不使上述duty不同的情況得到大的共態(tài)衰減量。即可知，在上述彈性表面波裝置500b中，最好duty的比為0＜|x-y|≤0.05的范圍。
如以上說明所述，在本第五實(shí)施方式中，在使用串聯(lián)連接彈性表面波諧振器的2個(gè)縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502，具有平衡—不平衡功能的彈性表面波濾波器中，在縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器501和502與平衡信號(hào)端515之間分別串聯(lián)地連接彈性表面波諧振器503b和504b，利用使各彈性表面波諧振器503b和504b中的IDT和反射體的duty不同，就能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
此外，彈性表面波裝置500b中，所謂使彈性表面波諧振器503b中的IDT523b及反射體522b和524b的duty與彈性表面波諧振器504b中的IDT526b及反射體525b和527b的duty不同，也可以僅是彈性表面波諧振器的IDT，或者彈性表面波諧振器的反射體，這些結(jié)構(gòu)也能得到同樣的效果。
在第五實(shí)施方式的彈性表面波裝置500b中，示出使用2個(gè)具有3個(gè)IDT的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器的例子，但也可以使用2個(gè)具有5個(gè)IDT的縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器來構(gòu)成。此外，也可以使用1個(gè)縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器構(gòu)成具有平衡—不平衡變換功能的彈性表面波裝置。另外，也可以使用在彈性表面波傳播方向或交叉寬度方向上分割了至少1個(gè)IDT的彈性表面波濾波器構(gòu)成具有平衡—不平衡變換功能的彈性表面波裝置。然后，上述結(jié)構(gòu)中，利用使各彈性表面波諧振器中的IDT和反射體的duty不同，也能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
此外，例如，第一比較例的各彈性表面波諧振器503和504中，即使利用使反射體和IDT的最外電極指中心間距離、反射體與IDT的節(jié)距比、及反射體和IDT的duty中的至少2個(gè)不同，也能得到通頻帶高頻一側(cè)的共態(tài)衰減量大的彈性表面波裝置。
下面，基于圖11對(duì)使用了上述實(shí)施方式中所述的彈性表面波裝置(SAW裝置)的通信裝置進(jìn)行說明。上述通信裝置600的作為進(jìn)行信號(hào)接收的接收機(jī)側(cè)(Rx側(cè))的結(jié)構(gòu)包括天線601；天線共用部/RFTop濾波器602；放大器603；Rx區(qū)間濾波器604；音量調(diào)節(jié)裝置605；lstIF濾波器606；音量調(diào)節(jié)裝置607；2nd IF濾波器608；lst+2nd本機(jī)頻率合成器611；TCXO(temperature compensated crystal oscillator即，溫度補(bǔ)償型晶體振蕩器)612；分壓器613；本機(jī)濾波器614。
為了確保平衡性，如圖11中的雙劃線所示，最好以各平衡信號(hào)從Rx區(qū)間濾波器604向音量調(diào)節(jié)裝置605進(jìn)行信號(hào)發(fā)送。
此外，上述通信裝置600的結(jié)構(gòu)中，作為進(jìn)行信號(hào)發(fā)送的無線電收發(fā)報(bào)機(jī)側(cè)(Tx側(cè))的結(jié)構(gòu)，在共用上述天線601和上述天線共用部/RFTop濾波器602的同時(shí)，包括TxIF濾波器621；音量調(diào)節(jié)裝置622；Tx區(qū)間濾波器623；放大器624；分接器625；絕緣體626；APC(automatic power control即，自動(dòng)輸出功率控制)627。
然后，在上述的Rx區(qū)間濾波器604、lstIF濾波器606、TxIF濾波器621、Tx區(qū)間濾波器623上，上述本實(shí)施方式所述的SAW裝置能合適地利用。
本發(fā)明涉及的SAW裝置能在具有濾波器功能的同時(shí)具有不平衡型—平衡型變換功能，加之具有所謂各平衡信號(hào)間的振幅特性更接近于理想的優(yōu)良特性。因此，具有上述SAW裝置的本發(fā)明的通信裝置能提高傳輸特性。
本發(fā)明不限定于上述的各實(shí)施方式，可以在權(quán)利要求所述的范圍內(nèi)作各種各樣的變形，即使在不同的實(shí)施方式中分別組合應(yīng)用本公開的技術(shù)所得到的實(shí)施方式，也包括在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。
發(fā)明的效果本發(fā)明的彈性表面波裝置如上所述，包括具有沿彈性表面波的傳播方向形成的多個(gè)梳型電極部的第1彈性表面波元件和第2彈性表面波元件，上述第2彈性表面波元件與上述第1彈性表面波元件相位反轉(zhuǎn)180°，具有不平衡型—平衡型變換功能的彈性表面波裝置中，包括在上述第1彈性表面波元件的不平衡側(cè)串聯(lián)連接的第1諧振器；在上述第2彈性表面波元件的不平衡側(cè)串聯(lián)連接的第2諧振器，上述第1諧振器和第2諧振器是用相互不同的設(shè)計(jì)參數(shù)形成的結(jié)構(gòu)。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，因?yàn)榈?諧振器和第2諧振器分別是按照第1彈性表面波元件和第2彈性表面波元件的特性設(shè)計(jì)的，所以，利用調(diào)節(jié)各自的設(shè)計(jì)參數(shù)，起到所說的能改善彈性表面波裝置的不平衡型—平衡型變換中的平衡性的效果。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2是示出使上述彈性表面波裝置的陷波諧振器的諧振器中的電極指的根數(shù)變化時(shí)的振幅平衡度的曲線圖。
圖3是示出使上述彈性表面波裝置的陷波諧振器的諧振器中的電極指的根數(shù)變化時(shí)的相位平衡度的曲線圖。
圖4是示出使上述彈性表面波裝置的陷波諧振器的諧振器中的電極指的根數(shù)變化，模擬試驗(yàn)得到的振幅平衡度的曲線圖。
圖5是示出使上述彈性表面波裝置的陷波諧振器的諧振器中的電極指的根數(shù)變化，模擬試驗(yàn)得到的相位平衡度的曲線圖。
圖6是示出使上述彈性表面波裝置的陷波諧振器的諧振器中的占空比變化時(shí)的振幅變化度的曲線圖。
圖7是示出使上述彈性表面波裝置的陷波諧振器的諧振器中的占空比變化時(shí)的相位變化度的曲線圖。
圖8是本發(fā)明的其他實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖9是示出使上述彈性表面波裝置的陷波諧振器的諧振器中的交叉寬度變化，模擬試驗(yàn)時(shí)的振幅平衡度的曲線圖。
圖10是示出使上述彈性表面波裝置的陷波諧振器的諧振器中的交叉寬度變化，模擬試驗(yàn)時(shí)的相位平衡度的曲線圖。
圖11是使用了上述彈性表面波裝置的通信裝置的主要部分的框圖。
圖12是現(xiàn)有的彈性表面波裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖13是現(xiàn)有的其他彈性表面波裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖14是本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖15是容納在包裝中的上述實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的主要部分的剖面圖。
圖16是示出第三實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置和第一比較例的彈性表面波裝置中的彈性頻率—插入損耗特性的曲線圖。
圖17是示出第三實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置和第一比較例的彈性表面波裝置中的頻率—共態(tài)衰減量特性的曲線圖。
圖18是第一比較例的彈性表面波裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖19是調(diào)查了能得到第三實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的效果的范圍的曲線圖。
圖20是示出上述實(shí)施方式的彈性表面波裝置的一個(gè)制造過程的剖面圖。
圖21是示出上述實(shí)施方式的彈性表面波裝置的其他制造過程的剖面圖。
圖22是本發(fā)明的第四實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖23是示出第四實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置和第一比較例的彈性表面波裝置中的彈性頻率—插入損耗特性的曲線圖。
圖24是示出第四實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置和第一比較例的彈性表面波裝置中的頻率—共態(tài)衰減量特性的曲線圖。
圖25是調(diào)查了能得到第四實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的效果的范圍的曲線圖。
圖26是本發(fā)明的第五實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖27是示出第五實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置和第一比較例中的彈性表面波裝置的彈性頻率—插入損耗特性的曲線圖。
圖28是示出第五實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置和第一比較例的彈性表面波裝置中的頻率—共態(tài)衰減量特性的曲線圖。
圖29是調(diào)查了能得到第五實(shí)施方式涉及的彈性表面波裝置的效果的范圍的曲線圖。
附圖標(biāo)記的說明1 諧振器型濾波器(SAW濾波器)2 諧振器型濾波器(SAW濾波器)3 陷波諧振器4 陷波諧振器5 陷波諧振器6 陷波諧振器7 不平衡信號(hào)用端子8 平衡信號(hào)用端子9 平衡信號(hào)用端子11 IDT(梳型電極)12 IDT(梳型電極)13 IDT(梳型電極)21 IDT(梳型電極)22 IDT(梳型電極)23 IDT(梳型電極)31 諧振器41 諧振器500 彈性表面波裝置501、502 縱耦合諧振器型彈性表面波濾波器(彈性表面波元件)503、504 彈性表面波諧振器(諧振器)515 不平衡信號(hào)用端子516、517 平衡信號(hào)用端子
權(quán)利要求
1.一種彈性表面波裝置，其特征在于，包括具有沿彈性表面波的傳播方向形成的多個(gè)梳型電極部的第1彈性表面波元件和第2彈性表面波元件，上述第2彈性表面波元件與上述第1彈性表面波元件相位反轉(zhuǎn)180°，具有不平衡型—平衡型變換功能，包括在上述第1彈性表面波元件的不平衡側(cè)串聯(lián)連接的第1諧振器；在上述第2彈性表面波元件的不平衡側(cè)串聯(lián)連接的第2諧振器，上述第1諧振器和第2諧振器用相互不同的設(shè)計(jì)參數(shù)形成。
2.如權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，上述第1諧振器和第2諧振器最好是由至少1個(gè)的梳型電極部和夾梳型電極部而配置的反射體構(gòu)成的彈性表面波諧振器。
3.如權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和上述第2諧振器中的電極指的根數(shù)。
4.如權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和第2諧振器中的交叉寬度。
5.如權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和第2諧振器中的反射體和/或梳型電極部的占空比。
6.如權(quán)利要求5所述的彈性表面波裝置，其特征在于，上述第1諧振器和第2諧振器中的反射體和/或梳型電極部的占空比分別為x和y的情況下，滿足關(guān)系式0＜|x-y|≤0.05。
7.如權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和第2諧振器中的反射體與梳型電極部的最外電極指中心間距離。
8.如權(quán)利要求7所述的彈性表面波裝置，其特征在于，設(shè)由上述彈性表面波元件的梳型電極部的結(jié)構(gòu)決定的波長為λ，第1諧振器和2諧振器中的反射體與梳型電極部的最外電極指中心間距離分別為Xλ和Yλ的情況下，滿足關(guān)系式(0+0.5n)λ＜|X-Y|λ≤(0.18+0.5n)λ(n＝0，1，2…)。
9.如權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，上述設(shè)計(jì)參數(shù)是上述第1諧振器和第2諧振器中的反射體與梳型電極部的節(jié)距比。
10.如權(quán)利要求9所述的彈性表面波裝置，其特征在于，設(shè)第1諧振器和第2諧振器中的反射體與梳型電極部的節(jié)距比(梳型電極部的節(jié)距/反射體的節(jié)距)分別為a和b的情況下，滿足關(guān)系式0.984≤a/b＜1。
11.如權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，用表面向下工藝容納在包裝內(nèi)。
12.一種通信裝置，其特征在于，具有權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置。
全文摘要
提供一種能改善平衡性的具有不平衡型—平衡型變換功能的彈性表面波裝置。包括具有沿彈性表面波的傳播方向形成的多個(gè)梳型電極部的諧振器型濾波器1和諧振器型濾波器2，諧振器型濾波器2與諧振器型濾波器1相位反轉(zhuǎn)180°，具有不平衡型—平衡型變換功能。此外，包括與諧振器型濾波器1的不平衡信號(hào)用端子7一側(cè)串聯(lián)連接的諧振器31；與諧振器型濾波器2的不平衡信號(hào)用端子7一側(cè)串聯(lián)連接的諧振器41。諧振器31和諧振器41用相互不同的設(shè)計(jì)參數(shù)形成。
文檔編號(hào)H03H9/25GK1434568SQ0310648
公開日2003年8月6日 申請(qǐng)日期2003年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月22日
發(fā)明者柴田治, 高峰裕一 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所