中最上層電池片頂面壓力的上壓力傳感器111;所述下電極板52配有用于檢測硅片籃I中最下層電池片底面壓力的下壓力傳感器112。
[0040]所述上驅(qū)動裝置包括:連接并驅(qū)動上電極板51升降的豎置上升降桿61，以及連接并驅(qū)動上升降桿61升降的上氣缸71;
[0041]所述下驅(qū)動裝置包括:連接并驅(qū)動下電極板52升降的豎置下升降桿62，以及連接并驅(qū)動下升降桿62升降的下氣缸72。
[0042]所述上升降桿61配有下降緩沖機構(gòu);該下降緩沖機構(gòu)包括:與上升降桿61固定的上擋板81，以及設(shè)于該上擋板81正下方的豎置上緩沖彈簧91;該上緩沖彈簧91的底端固定；
[0043]所述下升降桿62配有上升緩沖機構(gòu)；該上升緩沖機構(gòu)包括：與下升降桿62固定的下?lián)醢?2，以及設(shè)于該下?lián)醢?2正上方的豎置下緩沖彈簧92;該下緩沖彈簧92的頂端固定。
[0044]各工藝腔都設(shè)有用于檢測硅片籃I位置(是否到位)的光電開關(guān)10。
[0045]所述上電極板51、下電極板52分別設(shè)有散熱片。
[0046]所述第一處理腔42、第二處理腔43還分別設(shè)有：用于加速上電極板51散熱片散熱的上散熱裝置101，用于加速下電極板52散熱片散熱的下散熱裝置102。
[0047]所述兩排滾軸對稱設(shè)置，兩排滾軸中任一單排滾軸都由位于同一水平面內(nèi)的多個相互平行的滾軸組成，且各滾軸都垂直于傳送線2的輸送方向。
[0048]所述傳動機構(gòu)包括與各滾軸--對應(yīng)連接的同步輪。
[0049]所述硅片籃I頂部敞口，所述硅片籃I底部設(shè)有用于讓下電極板52通過的通孔。
[0050]所述第一處理腔42、第二處理腔43內(nèi)部，傳送線2的兩排滾軸的間距能夠讓下電極板52通過。
[0051]本實用新型晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置的工作過程如下：將電池片（硅片)平置疊放于硅片籃I中，使硅片籃I中各電池片的正面電極朝向一致，再將硅片籃I置于傳送線2上。傳送線2可將硅片籃I輸送至第一處理腔(第一通電腔)42;第一處理腔42的光電開關(guān)10檢測到硅片籃I到位后，傳送線2停止，第一處理腔42兩側(cè)的升降門3關(guān)閉，第一處理腔42內(nèi)的一對電極板(上電極板51、下電極板52)在驅(qū)動裝置(上驅(qū)動裝置、下驅(qū)動裝置）的驅(qū)動下夾緊硅片籃I中的電池片，該對電極板連接外部電源，對電池片施加直流(正向或反向）或交流電壓，進行一次通電處理，在通電處理過程中，第一處理腔42的上散熱裝置101、下散熱裝置102工作，輔助散熱降溫（電池片在通電過程中會發(fā)熱）；一次通電處理完成后，上電極板51、下電極板52復(fù)位，第一處理腔42兩側(cè)的升降門3打開，傳送線2再將硅片籃I輸送至第二處理腔(第二通電腔)43;同理，在第二處理腔43內(nèi)完成二次通電處理，傳送線2再將硅片籃I輸送至后處理腔(冷卻腔)44;后處理腔44的光電開關(guān)10檢測到硅片籃I到位后，傳送線2停止，后處理腔44兩側(cè)的升降門3關(guān)閉，散熱裝置441工作，后處理腔44的溫度傳感器442監(jiān)測溫度，電池片在后處理腔44內(nèi)冷卻至一定溫度，冷卻完成后，后處理腔44兩側(cè)的升降門3打開，傳送線2再將硅片籃I輸送至下一工位。
[0052]電池片在通電腔(第一處理腔42、第二處理腔43)內(nèi)接受(直流或交流電壓)通電處理，能起到降低光衰的效果，直流電壓可以是正向電壓或反向電壓。
[0053]可將多個硅片籃I間隔一定距離先后置于傳送線2上，兩個通電腔(第一處理腔42、第二處理腔43)的設(shè)置，可以將單個硅片籃I的通電處理分兩次(一次通電處理、二次通電處理)進行，增加整個晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置的工作效率，提高產(chǎn)能。
[0054]實施例2
[0055]如圖2所示，在實施例I的基礎(chǔ)上，本實用新型中的預(yù)處理腔(氣氛腔)41作為一個可增選的工藝腔，可以設(shè)置于第一處理腔42前道，所述預(yù)處理腔41內(nèi)通入含氫氣氛；當(dāng)電池片置于預(yù)處理腔41的含氫氣氛中，可以使更多的氫進入到電池片體內(nèi)，這些進入電池片體內(nèi)的氫，經(jīng)過第一處理腔42和第二處理腔43的載流子注入處理后，會有效的對電池片體內(nèi)的雜質(zhì)和缺陷進行鈍化。需要聲明的是，雖然預(yù)處理腔41的設(shè)置可提高整個缺陷鈍化處理裝置的工作效率，但去除預(yù)處理腔41，本實用新型晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置也能正常工作。即硅片籃I中的電池片不經(jīng)過預(yù)處理腔41的預(yù)處理，也可直接進入通電腔(第一處理腔42、第二處理腔43)進行處理。
[0056]以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，包括：用于疊放電池片的硅片籃，用于傳送硅片籃的傳送線，沿傳送線輸送方向依次設(shè)置的多個工藝腔，以及用于隔斷各工藝腔的多個升降門； 所述傳送線貫穿各工藝腔;所述傳送線包括:用于承載并水平傳送硅片籃的兩排滾軸，以及驅(qū)動各滾軸轉(zhuǎn)動的傳動機構(gòu)； 所述工藝腔包括:沿傳送線輸送方向依次設(shè)置的第一處理腔、第二處理腔和后處理腔； 所述第一處理腔、第二處理腔內(nèi)部分別設(shè)有一對上下設(shè)置的可升降平置電極板，該對電極板連接外部電源，并可在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下夾緊電池片，對電池片施加直流或交流電壓； 上述一對電極板包括：用于抵靠硅片籃中最上層電池片頂面的上電極板，用于抵靠硅片籃中最下層電池片底面的下電極板； 上述驅(qū)動裝置包括:位于上電極板上方、驅(qū)動上電極板升降的上驅(qū)動裝置，位于下電極板下方、驅(qū)動下電極板升降的下驅(qū)動裝置； 所述后處理腔設(shè)有散熱裝置和溫度傳感器。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，所述上電極板配有用于檢測硅片籃中最上層電池片頂面壓力的上壓力傳感器;所述下電極板配有用于檢測硅片籃中最下層電池片底面壓力的下壓力傳感器。3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，所述上驅(qū)動裝置配有下降緩沖機構(gòu);所述下驅(qū)動裝置配有上升緩沖機構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，所述上驅(qū)動裝置包括:連接并驅(qū)動上電極板升降的豎置上升降桿，以及連接并驅(qū)動上升降桿升降的上氣缸;所述下驅(qū)動裝置包括:連接并驅(qū)動下電極板升降的豎置下升降桿，以及連接并驅(qū)動下升降桿升降的下氣缸。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，所述上升降桿配有下降緩沖機構(gòu);該下降緩沖機構(gòu)包括:與上升降桿固定的上擋板，以及設(shè)于該上擋板正下方的豎置上緩沖彈簧;該上緩沖彈簧的底端固定； 所述下升降桿配有上升緩沖機構(gòu);該上升緩沖機構(gòu)包括:與下升降桿固定的下?lián)醢澹约霸O(shè)于該下?lián)醢逭戏降呢Q置下緩沖彈簧;該下緩沖彈簧的頂端固定。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，各工藝腔都設(shè)有用于檢測硅片籃位置的光電開關(guān)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，所述上電極板、下電極板分別設(shè)有散熱片。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，所述第一處理腔、第二處理腔還分別設(shè)有：用于加速上電極板散熱片散熱的上散熱裝置，用于加速下電極板散熱片散熱的下散熱裝置。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，所述兩排滾軸對稱設(shè)置，兩排滾軸中任一單排滾軸都由位于同一水平面內(nèi)的多個相互平行的滾軸組成，且各滾軸都垂直于傳送線的輸送方向；所述傳動機構(gòu)包括與各滾軸 對應(yīng)連接的同步輪。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其特征在于，所述工藝腔包括:沿傳送線輸送方向依次設(shè)置的預(yù)處理腔、第一處理腔、第二處理腔和后處理腔；所述預(yù)處理腔內(nèi)通入含氫氣氛。
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，包括：用于疊放電池片的硅片籃，用于傳送硅片籃的傳送線，沿傳送線輸送方向依次設(shè)置的多個工藝腔，以及用于隔斷各工藝腔的多個升降門。本實用新型缺陷鈍化處理裝置，能對硅片中的雜質(zhì)與缺陷進行鈍化，減小硅片體內(nèi)的復(fù)合，提高電池的效率；同時，還能對晶體硅太陽電池進行抗光衰處理，使晶體硅太陽電池的光衰減小。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號】CN205159348
【申請?zhí)枴緾N201520992271
【發(fā)明人】任常瑞, 陳培良, 孫余軍, 符黎明
【申請人】常州時創(chuàng)能源科技有限公司
【公開日】2016年4月13日
【申請日】2015年12月4日