晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶體硅太陽能電池片是目前光伏市場的主流產(chǎn)品。目前的晶體硅太陽電池所使用的襯底主要是摻硼的P型硅片，在拉晶過程中石英坩禍中的氧不可避免的會融入硅晶體，因此，在一般的硅片中都會存在較大含量的氧。在光照情況下，硅片中的氧會與硼結(jié)合形成B-0復(fù)合體，該B-O復(fù)合體具有較高的復(fù)合活性，導(dǎo)致硅片少子壽命下降，從而使電池片效率大幅下降，這種由于光照引起的太陽電池效率的衰減被稱之為光致衰減(LID)。在背面鈍化很好的PERC電池上，光致衰減的問題更加嚴(yán)重。光致衰減使太陽電池在使用過程中的發(fā)電量明顯下降，是太陽電池應(yīng)用遇到的主要問題之一；另外，在電池片的制作過程中，不可避免的會在電池片體內(nèi)引入雜質(zhì)與缺陷，具有復(fù)合活性的雜質(zhì)與缺陷會導(dǎo)致電池片體內(nèi)復(fù)合增加，從而降低電池效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其能對晶體硅太陽電池中的雜質(zhì)與缺陷進(jìn)行鈍化，使電池效率升高，同時，還能對BO復(fù)合體進(jìn)行鈍化，從而達(dá)到抗光衰的目的，使晶體硅太陽電池光衰減小。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，包括：用于疊放電池片的硅片籃，用于傳送硅片籃的傳送線，沿傳送線輸送方向依次設(shè)置的多個工藝腔，以及用于隔斷各工藝腔的多個升降門；
[0005]所述傳送線貫穿各工藝腔;所述傳送線包括：用于承載并水平傳送硅片籃的兩排滾軸，以及驅(qū)動各滾軸轉(zhuǎn)動的傳動機(jī)構(gòu)；
[0006]所述工藝腔包括:沿傳送線輸送方向依次設(shè)置的第一處理腔、第二處理腔和后處理腔；
[0007]所述第一處理腔、第二處理腔內(nèi)部分別設(shè)有一對上下設(shè)置的可升降平置電極板，該對電極板連接外部電源，并可在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下夾緊電池片，對電池片施加直流(正向或反向）或交流電壓；
[0008]上述一對電極板包括：用于抵靠硅片籃中最上層電池片頂面的上電極板，用于抵靠硅片籃中最下層電池片底面的下電極板；
[0009]上述驅(qū)動裝置包括:位于上電極板上方、驅(qū)動上電極板升降的上驅(qū)動裝置，位于下電極板下方、驅(qū)動下電極板升降的下驅(qū)動裝置；
[0010]所述后處理腔設(shè)有散熱裝置和溫度傳感器。
[0011]優(yōu)選的，所述上電極板配有用于檢測硅片籃中最上層電池片頂面壓力的上壓力傳感器;所述下電極板配有用于檢測硅片籃中最下層電池片底面壓力的下壓力傳感器。
[0012]優(yōu)選的，所述上驅(qū)動裝置配有下降緩沖機(jī)構(gòu);所述下驅(qū)動裝置配有上升緩沖機(jī)構(gòu)。
[0013]優(yōu)選的，所述上驅(qū)動裝置包括:連接并驅(qū)動上電極板升降的豎置上升降桿，以及連接并驅(qū)動上升降桿升降的上氣缸；
[0014]所述下驅(qū)動裝置包括:連接并驅(qū)動下電極板升降的豎置下升降桿，以及連接并驅(qū)動下升降桿升降的下氣缸。
[0015]優(yōu)選的，所述上升降桿配有下降緩沖機(jī)構(gòu);該下降緩沖機(jī)構(gòu)包括:與上升降桿固定的上擋板，以及設(shè)于該上擋板正下方的豎置上緩沖彈簧;該上緩沖彈簧的底端固定；
[0016]所述下升降桿配有上升緩沖機(jī)構(gòu)；該上升緩沖機(jī)構(gòu)包括:與下升降桿固定的下?lián)醢澹约霸O(shè)于該下?lián)醢逭戏降呢Q置下緩沖彈簧;該下緩沖彈簧的頂端固定。
[0017]優(yōu)選的，各工藝腔都設(shè)有用于檢測硅片籃位置的光電開關(guān)。
[0018]優(yōu)選的，所述上電極板、下電極板分別設(shè)有散熱片。
[0019]優(yōu)選的，所述第一處理腔、第二處理腔還分別設(shè)有：用于加速上電極板散熱片散熱的上散熱裝置，用于加速下電極板散熱片散熱的下散熱裝置。
[0020]優(yōu)選的，所述兩排滾軸對稱設(shè)置，兩排滾軸中任一單排滾軸都由位于同一水平面內(nèi)的多個相互平行的滾軸組成，且各滾軸都垂直于傳送線的輸送方向；所述傳動機(jī)構(gòu)包括與各滾軸--對應(yīng)連接的同步輪。
[0021]優(yōu)選的，所述工藝腔包括:沿傳送線輸送方向依次設(shè)置的預(yù)處理腔、第一處理腔、第二處理腔和后處理腔;所述預(yù)處理腔內(nèi)通入含氫氣氛。
[0022]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:提供一種晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，其能對晶體硅太陽電池中的雜質(zhì)與缺陷進(jìn)行鈍化，使電池效率升高，同時，還能對BO復(fù)合體進(jìn)行鈍化，從而達(dá)到抗光衰的目的，使晶體硅太陽電池光衰減小。
[0023]本實(shí)用新型晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置的工作過程如下：將電池片（硅片)平置疊放于硅片籃中，使硅片籃中各電池片的正面電極朝向一致，再將硅片籃置于傳送線上。傳送線可將硅片籃輸送至第一處理腔(第一通電腔）；第一處理腔的光電開關(guān)檢測到硅片籃到位后，傳送線停止，第一處理腔兩側(cè)的升降門關(guān)閉，第一處理腔內(nèi)的一對電極板(上電極板、下電極板)在驅(qū)動裝置(上驅(qū)動裝置、下驅(qū)動裝置）的驅(qū)動下夾緊硅片籃中的電池片，該對電極板連接外部電源，對電池片施加直流(正向或反向）或交流電壓，進(jìn)行一次通電處理，在通電處理過程中，第一處理腔的上散熱裝置、下散熱裝置工作，輔助散熱降溫（電池片在通電過程中會發(fā)熱）；一次通電處理完成后，上電極板、下電極板復(fù)位，第一處理腔兩側(cè)的升降門打開，傳送線再將硅片籃輸送至第二處理腔(第二通電腔）；同理，在第二處理腔內(nèi)完成二次通電處理，傳送線再將硅片籃輸送至后處理腔(冷卻腔）；后處理腔的光電開關(guān)檢測到硅片籃到位后，傳送線停止，后處理腔兩側(cè)的升降門關(guān)閉，散熱裝置工作，后處理腔的溫度傳感器監(jiān)測溫度，電池片在后處理腔內(nèi)冷卻至一定溫度，冷卻完成后，后處理腔兩側(cè)的升降門打開，傳送線再將硅片籃輸送至下一工位。
[0024]電池片在通電腔(第一處理腔、第二處理腔）內(nèi)接受(直流或交流電壓)通電處理，能起到降低光衰的效果，直流電壓可以是正向電壓或反向電壓。
[0025]可將多個硅片籃間隔一定距離先后置于傳送線上，兩個通電腔(第一處理腔、第二處理腔）的設(shè)置，可以將單個硅片籃的通電處理分兩次（一次通電處理、二次通電處理）進(jìn)行，增加整個晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置的工作效率。
[0026]本實(shí)用新型中的預(yù)處理腔(氣氛腔)作為一個可增選的工藝腔，可以設(shè)置于第一處理腔前道，當(dāng)電池片置于預(yù)處理腔的含氫氣氛中，可以使更多的氫進(jìn)入到電池片體內(nèi)，這些進(jìn)入電池片體內(nèi)的氫，經(jīng)過第一處理腔和第二處理腔的載流子注入處理后，會有效的對電池片體內(nèi)的雜質(zhì)和缺陷進(jìn)行鈍化。需要聲明的是，雖然預(yù)處理腔的設(shè)置可提高整個缺陷鈍化處理裝置的工作效率，但去除預(yù)處理腔，本實(shí)用新型晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置也能正常工作。即硅片籃中的電池片不經(jīng)過預(yù)處理腔的預(yù)處理，也可直接進(jìn)入通電腔(第一處理腔、第二處理腔)進(jìn)行處理。
【附圖說明】
[0027]圖I是本實(shí)用新型實(shí)施例I的不意圖；
[0028]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例2的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0030]本實(shí)用新型具體實(shí)施的技術(shù)方案是：
[0031]實(shí)施例I
[0032]如圖I所示，一種晶體硅太陽電池的缺陷鈍化處理裝置，包括：用于疊放電池片的硅片籃I，用于傳送硅片籃I的傳送線2，沿傳送線2輸送方向依次設(shè)置的多個工藝腔，以及用于隔斷(封閉）各工藝腔的多個升降門3;
[0033]所述傳送線2貫穿各工藝腔;所述傳送線2包括：用于承載并水平傳送硅片籃I的兩排滾軸，以及驅(qū)動各滾軸轉(zhuǎn)動的傳動機(jī)構(gòu)；
[0034]所述工藝腔包括:沿傳送線2輸送方向依次設(shè)置第一處理腔42、第二處理腔43和后處理腔44;
[0035]所述第一處理腔42、第二處理腔43內(nèi)部分別設(shè)有一對上下設(shè)置的可升降平置電極板，該對電極板連接外部電源，并可在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下夾緊電池片，對電池片施加直流(正向或反向）或交流電壓；
[0036]上述一對電極板包括：用于抵靠硅片籃I中最上層電池片頂面的上電極板51，用于抵靠硅片籃I中最下層電池片底面的下電極板52;
[0037]上述驅(qū)動裝置包括:位于上電極板51上方、驅(qū)動上電極板51升降的上驅(qū)動裝置，位于下電極板52下方、驅(qū)動下電極板52升降的下驅(qū)動裝置；
[0038]所述后處理腔44設(shè)有散熱裝置(散熱風(fēng)扇)441和溫度傳感器442。
[0039]所述上電極板51配有用于檢測硅片籃I