一種硅片推片裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅片推片裝置，屬于太陽能光伏設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]21世紀(jì)以來，全球能源消費(fèi)急劇攀升，傳統(tǒng)化石能源日益枯竭，能源問題和環(huán)境問題逐漸成為全球關(guān)注的兩大重點(diǎn)問題。迫于可持續(xù)發(fā)展的壓力，各主要國家紛紛將太陽能光伏產(chǎn)業(yè)列入可再生能源開發(fā)利用的重點(diǎn)。伴隨著我國成為世界第二經(jīng)濟(jì)體，2013年10月，中國10月石油進(jìn)口量達(dá)到每日630萬桶，超過美國的每日624萬桶，首次取代美國成為全球最大石油凈進(jìn)口國。2013年，中國石油和天然氣的對外依存度分別達(dá)到58.1%和31.6%，中國已成為全球第三大天然氣消費(fèi)國。傳統(tǒng)化石能源已越來越難以滿足我國國民經(jīng)濟(jì)的旺盛需求。在過去的20年中全球大約有75%左右的人為二氧化碳排放量來源于化石燃料燃燒。因此，不管是從低碳環(huán)保的能源發(fā)展角度，還是順應(yīng)我國產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級與轉(zhuǎn)型壓力，我國必須加快發(fā)展新能源產(chǎn)業(yè)。
[0003]太陽能屬于清潔可再生能源。根據(jù)歐盟委員會(huì)提出的“歐洲可再生能源技術(shù)戰(zhàn)略計(jì)劃”，到2020年，太陽能將占?xì)W盟電力需求的15%。2010年，美國能源部制定規(guī)劃，計(jì)劃到2030年，太陽能占總能源消費(fèi)量的10%?15%。從世界范圍內(nèi)的太陽能和潮汐能合計(jì)凈發(fā)電量看，中國為30億千瓦時(shí)，德國為190億干瓦時(shí)，意大利為107億干瓦時(shí)，西班牙為91億千瓦時(shí)，日本為38億千瓦時(shí)。未來我國水電增長空間有限，核能存在不安全因素?；茉词芄?jié)能減排約束成本將上升，太陽能光伏發(fā)電的市場前景廣闊。
[0004]在晶體硅片加工過程中，需要用硅片承載盤進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)。硅片承載盤包括一截面為矩形的殼體，殼體的一對側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)娃片插槽，娃片在轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)即插設(shè)在娃片插槽內(nèi)，當(dāng)硅片轉(zhuǎn)運(yùn)到目的地使用時(shí)，需要將硅片從硅片承載盤取出。因此，有必要設(shè)計(jì)一種硅片推片
目.ο

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型提供供一種硅片推片裝置。
[0006]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種硅片推片裝置，包括推送機(jī)構(gòu)和承載盒輸送機(jī)構(gòu)；所述推送機(jī)構(gòu)包括一推送機(jī)構(gòu)支架、推桿和推桿固定部；所述推送機(jī)構(gòu)支架的頂部設(shè)有一主動(dòng)皮帶輪和一從動(dòng)皮帶輪，所述主動(dòng)皮帶輪和從動(dòng)皮帶輪上套設(shè)有閉環(huán)的皮帶，所述主動(dòng)皮帶輪的轉(zhuǎn)軸與一驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出軸驅(qū)動(dòng)連接；所述推桿一端固定在推桿固定部上，另一端為自由端，所述推桿固定部與皮帶固接；所述推送機(jī)構(gòu)支架的頂部沿主動(dòng)皮帶輪和從動(dòng)皮帶輪連線的方向設(shè)有推桿固定部導(dǎo)軌，所述推桿固定部滑動(dòng)支撐于所述推桿固定部導(dǎo)軌上；所述承載盒輸送機(jī)構(gòu)包括水平設(shè)置的負(fù)載承載盒輸送帶、水平設(shè)置的硅片輸送帶和升降平臺(tái)；所述負(fù)載承載盒輸送帶和硅片輸送帶成夾角設(shè)置，所述升降平臺(tái)位于所述負(fù)載承載盒輸送帶和硅片輸送帶的夾角處；所述升降平臺(tái)作用有豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。
[0007]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述負(fù)載承載盒輸送帶設(shè)置在一安裝架上，該安裝架水平滑動(dòng)設(shè)置在安裝架導(dǎo)軌上，所述安裝架作用有安裝架水平移動(dòng)驅(qū)動(dòng)缸，所述安裝架導(dǎo)軌朝向所述升降平臺(tái)方向設(shè)置。
[0008]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述安裝架在位于負(fù)載承載盒輸送帶的下方設(shè)有空載承載盒輸送帶。
[0009]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述推送機(jī)構(gòu)支架的頂部設(shè)有導(dǎo)板，該導(dǎo)板開設(shè)有導(dǎo)孔，所述推桿插設(shè)在所述導(dǎo)孔內(nèi)。
[0010]優(yōu)選的技術(shù)方案為:所述推桿的自由端的端部設(shè)有推片凹部。
[0011]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0012]本實(shí)用新型的推送機(jī)構(gòu)和承載盒輸送機(jī)構(gòu)聯(lián)合，實(shí)現(xiàn)在承載盒內(nèi)取出硅片，具有操作方便的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0013]附圖1為硅片推片裝置用承載盒輸送機(jī)構(gòu)示意圖。
[0014]附圖2為硅片推片裝置用承載盒輸送機(jī)構(gòu)側(cè)視示意圖。
[0015]附圖3為硅片推片裝置用承載盒輸送機(jī)構(gòu)立體示意圖一。
[0016]附圖4為硅片推片裝置用承載盒輸送機(jī)構(gòu)立體示意圖二。
[0017]附圖5為硅片推片裝置用推送機(jī)構(gòu)示意圖。
[0018]附圖6為硅片推片裝置用推送機(jī)構(gòu)立體示意圖。
[0019]以上附圖中，1、推送機(jī)構(gòu)支架；2、推桿；3、推桿固定部；4、主動(dòng)皮帶輪；5、從動(dòng)皮帶輪；6、皮帶；7、驅(qū)動(dòng)馬達(dá)；8、推桿固定部導(dǎo)軌；9、導(dǎo)板；10、推片凹部；11、負(fù)載承載盒輸送帶；12、硅片輸送帶；13、升降平臺(tái)；14、承載盒；15、安裝架；16、安裝架導(dǎo)軌；17、安裝架水平移動(dòng)驅(qū)動(dòng)缸；18、空載承載盒輸送帶；19、豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置；20、推送機(jī)構(gòu)。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0021]須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。
[0022]實(shí)施例:一種硅片推片裝置
[0023]參見附圖1?附圖6所示，一種硅片推片裝置，包括推送機(jī)構(gòu)20和承載盒輸送機(jī)構(gòu)。
[0024]參見附圖5?附圖6所示，所述推送機(jī)構(gòu)20包括一推送機(jī)構(gòu)支架1、推桿2和推桿固定部3 ;所述推送機(jī)構(gòu)支架I的頂部設(shè)有一主動(dòng)皮帶輪4和一從動(dòng)皮帶輪5，所述主動(dòng)皮帶輪4和從動(dòng)皮帶輪5上套設(shè)有閉環(huán)的皮帶6，所述主動(dòng)皮帶輪4的轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)7的輸出軸驅(qū)動(dòng)連接；所述推桿2 —端固定在推桿固定部3上，另一端為自由端，所述推桿固定部3與皮帶6固接；所述推送機(jī)構(gòu)支架I的頂部沿主動(dòng)皮帶輪4和從動(dòng)皮帶輪5連線的方向設(shè)有推桿固定部導(dǎo)軌8，所述推桿固定部3滑動(dòng)支撐于所述推桿固定部導(dǎo)軌8上。所述推送機(jī)構(gòu)支架I的頂部設(shè)有導(dǎo)板9，該導(dǎo)板9開設(shè)有導(dǎo)孔，所述推桿2插設(shè)在所述導(dǎo)孔內(nèi)。所述推桿2的自由端的端部設(shè)有推片凹部10。
[0025]參見附圖1?4所示，承載盒輸送機(jī)構(gòu)包括水平設(shè)置的負(fù)載承載盒輸送帶11、水平設(shè)置的硅片輸送帶12和升降平臺(tái)13 ;所述負(fù)載承載盒輸送帶11和硅片輸送帶12成夾角設(shè)置，所述升降平臺(tái)13位于所述負(fù)載承載盒輸送帶11和硅片輸送帶12的夾角處。所述升降平臺(tái)作用有豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置19。本實(shí)施例中，豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置19采用的是伺服電機(jī)，在其它實(shí)施方式中也可采用齒輪齒條機(jī)構(gòu)或者驅(qū)動(dòng)缸。
[0026]所述負(fù)載承載盒輸送帶11設(shè)置在安裝架15上，該安裝架15水平滑動(dòng)設(shè)置在安裝架導(dǎo)軌16上，所述安裝架15作用有安裝架水平移動(dòng)驅(qū)動(dòng)缸17，所述安裝架導(dǎo)軌16朝向所述升降平臺(tái)13方向設(shè)置。本實(shí)施例中的安裝架水平移動(dòng)驅(qū)動(dòng)缸17可以采用液壓油缸，安裝架水平移動(dòng)驅(qū)動(dòng)缸17的缸體固定設(shè)置，活塞桿與安裝架15固定連接，所述安裝架導(dǎo)軌16朝向所述升降平臺(tái)13方向設(shè)置的目的是，安裝架15帶動(dòng)負(fù)載承載盒輸送帶11在安裝架水平移動(dòng)驅(qū)動(dòng)缸17的驅(qū)動(dòng)下向升降平臺(tái)13移動(dòng)，或者背離升降平臺(tái)13移動(dòng)。所述安裝架15在位于負(fù)載承載盒輸送帶11的下方設(shè)有空載承載盒輸送帶18。
[0027]操作方法:負(fù)載承載盒輸送帶11將負(fù)載有硅片的承載盒14向升降平臺(tái)13移動(dòng)，豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置19動(dòng)作，使升降平臺(tái)13與負(fù)載承載盒輸送帶11保持水平，承載盒14會(huì)被送至升降平臺(tái)13上，然后推送機(jī)構(gòu)20將承載盒14的硅片推出至硅片輸送帶12上，豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置19動(dòng)作，使升降平臺(tái)13帶動(dòng)承載盒14往上移動(dòng)一定距離，使推送機(jī)構(gòu)20的推桿推出承載盒14的硅片，循環(huán)往復(fù)以將承載盒14內(nèi)的硅片清空。當(dāng)承載盒14內(nèi)的硅片被清空后，豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置19動(dòng)作動(dòng)作，使升降平臺(tái)13帶動(dòng)空載的承載盒14下移，承載盒14移至空載承載盒輸送帶18，被空載承載盒輸送帶18送出。安裝架水平移動(dòng)驅(qū)動(dòng)缸17的作用是相對調(diào)整安裝架15與升降平臺(tái)13之間的距離。推送機(jī)構(gòu)20的操作方法具體為:驅(qū)動(dòng)馬達(dá)7正轉(zhuǎn)時(shí)，驅(qū)動(dòng)主動(dòng)皮帶輪4轉(zhuǎn)動(dòng)，主動(dòng)皮帶輪4的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶6轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶6的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)固定在皮帶6上的推桿固定部3沿著推桿固定部導(dǎo)軌8移動(dòng)，從而帶動(dòng)推桿2在導(dǎo)板9的導(dǎo)孔的限位下移動(dòng)，當(dāng)推桿2的自由端的端部的推片凹部10接觸晶體硅片的端部時(shí)，將晶體硅片從硅片承載盤推出。驅(qū)動(dòng)馬達(dá)7反轉(zhuǎn)時(shí)，推桿2歸位以進(jìn)行下一次推片操作。
[0028]上述實(shí)施例只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片推片裝置，其特征在于:包括推送機(jī)構(gòu)和承載盒輸送機(jī)構(gòu)；所述推送機(jī)構(gòu)包括一推送機(jī)構(gòu)支架、推桿和推桿固定部；所述推送機(jī)構(gòu)支架的頂部設(shè)有一主動(dòng)皮帶輪和一從動(dòng)皮帶輪，所述主動(dòng)皮帶輪和從動(dòng)皮帶輪上套設(shè)有閉環(huán)的皮帶，所述主動(dòng)皮帶輪的轉(zhuǎn)軸與一驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的輸出軸驅(qū)動(dòng)連接；所述推桿一端固定在推桿固定部上，另一端為自由端，所述推桿固定部與皮帶固接；所述推送機(jī)構(gòu)支架的頂部沿主動(dòng)皮帶輪和從動(dòng)皮帶輪連線的方向設(shè)有推桿固定部導(dǎo)軌，所述推桿固定部滑動(dòng)支撐于所述推桿固定部導(dǎo)軌上；所述承載盒輸送機(jī)構(gòu)包括水平設(shè)置的負(fù)載承載盒輸送帶、水平設(shè)置的硅片輸送帶和升降平臺(tái)；所述負(fù)載承載盒輸送帶和硅片輸送帶成夾角設(shè)置，所述升降平臺(tái)位于所述負(fù)載承載盒輸送帶和硅片輸送帶的夾角處；所述升降平臺(tái)作用有豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片推片裝置，其特征在于:所述負(fù)載承載盒輸送帶設(shè)置在一安裝架上，該安裝架水平滑動(dòng)設(shè)置在安裝架導(dǎo)軌上，所述安裝架作用有安裝架水平移動(dòng)驅(qū)動(dòng)缸，所述安裝架導(dǎo)軌朝向所述升降平臺(tái)方向設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片推片裝置，其特征在于:所述安裝架在位于負(fù)載承載盒輸送帶的下方設(shè)有空載承載盒輸送帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片推片裝置，其特征在于:所述推送機(jī)構(gòu)支架的頂部設(shè)有導(dǎo)板，該導(dǎo)板開設(shè)有導(dǎo)孔，所述推桿插設(shè)在所述導(dǎo)孔內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片推片裝置，其特征在于:所述推桿的自由端的端部設(shè)有推片凹部。
【專利摘要】一種硅片推片裝置，包括推送機(jī)構(gòu)和承載盒輸送機(jī)構(gòu)；所述推送機(jī)構(gòu)包括一推送機(jī)構(gòu)支架、推桿和推桿固定部；所述承載盒輸送機(jī)構(gòu)包括水平設(shè)置的負(fù)載承載盒輸送帶、水平設(shè)置的硅片輸送帶和升降平臺(tái)；所述負(fù)載承載盒輸送帶和硅片輸送帶成夾角設(shè)置，所述升降平臺(tái)位于所述負(fù)載承載盒輸送帶和硅片輸送帶的夾角處；所述升降平臺(tái)作用有豎向移動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。本實(shí)用新型的推送機(jī)構(gòu)和承載盒輸送機(jī)構(gòu)聯(lián)合，實(shí)現(xiàn)在承載盒內(nèi)取出硅片，具有操作方便的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】H01L21-677, H01L31-18
【公開號】CN204289414
【申請?zhí)枴緾N201420868874
【發(fā)明人】邱文良
【申請人】蘇州格林電子設(shè)備有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年12月31日