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硅片熱處理夾具和硅片熱處理方法

文檔序號(hào):6843599閱讀:484來源:國(guó)知局
專利名稱:硅片熱處理夾具和硅片熱處理方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及硅片熱處理夾具和硅片處理方法,尤其是涉及用于RTA等的合適的技術(shù)。
本申請(qǐng)要求2003年3月31日申請(qǐng)的特愿2003-097365號(hào)的優(yōu)先權(quán),將其內(nèi)容引用到這里。
背景技術(shù)
以往,作為將硅片快速加熱之后再快速冷卻的熱處理裝置,周知的有以碘鎢燈作為熱源的快速加熱裝置(RTA)。為了在快速加熱裝置的爐內(nèi)將熱處理中的硅片的姿勢(shì)保持在水平狀態(tài),例如,如專利文獻(xiàn)1的圖3(a)中所示那樣搭載有環(huán)狀的晶片夾100。
又,如專利文獻(xiàn)2所示,由數(shù)個(gè)點(diǎn)支持的類型的晶片夾也是公知的。
但是,在將晶片支承在水平狀態(tài)進(jìn)行熱處理時(shí),會(huì)產(chǎn)生滑動(dòng)重排,存在著成品率降低的問題。產(chǎn)生滑動(dòng)重排的原因是,在支承晶片的部分附加有晶片本身的重量,因此,因熱處理時(shí)所引起的晶片的彎曲現(xiàn)象和因熱膨脹的差異而在晶片與突起之間產(chǎn)生滑動(dòng)摩擦,或在晶片的自重集中的部分產(chǎn)生應(yīng)變,所以,認(rèn)為在由各支承突起所支承的部分產(chǎn)生滑動(dòng)重排。
現(xiàn)有的晶片夾都是為了減少滑動(dòng)的產(chǎn)生,但是,在專利文獻(xiàn)2中,是以減少因取向平面的存在而引起的滑動(dòng)位移為目的。
另外,無取向平面的晶片中,如非專利文獻(xiàn)1所示,作為與數(shù)個(gè)點(diǎn)支承的晶片夾的晶片支承位置相關(guān)的內(nèi)容,文獻(xiàn)中這樣記載使支承點(diǎn)位于晶片半徑方向80~85%的位置,這樣,對(duì)減少滑動(dòng)是比較理想的。
專利文獻(xiàn)1特開2002-134593號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2002-170865號(hào)公報(bào)非專利文獻(xiàn)1Takeda,R.et.al J.Electrochem.Soc.,Vol.144,NO.10,October(1997)pp.L280-L282
但是,即使是無取向平面的晶片,將這種硅片載置在快速加熱裝置的晶片夾上,用1000℃以上的爐內(nèi)溫度進(jìn)行快速加熱時(shí),晶片會(huì)產(chǎn)生滑動(dòng)現(xiàn)象,仍然要求進(jìn)一步減少滑動(dòng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況開發(fā)成的,其目的是提供一種晶片熱處理夾具和熱處理方法,使從銷跡點(diǎn)進(jìn)入的重排的自由深度比器件形成區(qū)間深,并且,使這種在晶片表面上沒有滑動(dòng)的無滑動(dòng)區(qū)域擴(kuò)大到最大。
本發(fā)明的硅片熱處理方法是在熱處理爐內(nèi)對(duì)硅片進(jìn)行熱處理時(shí)的硅片熱處理方法,通過位于該硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi)的3個(gè)支承位置對(duì)硅片進(jìn)行支承,由此而解決了上述課題。
本發(fā)明的硅片熱處理方法是具有相互隔開間隔地從支承框向中心點(diǎn)突出的3個(gè)支承臂部,而且,還具有向各支承臂部的上側(cè)突出的支承突起,將硅片載置在上述支承突起上、并在熱處理爐內(nèi)進(jìn)行熱處理時(shí)、利用硅片熱處理用3點(diǎn)支承件的硅片熱處理方法,上述支承突起全部位于硅片的同一圓周上時(shí),上述支承突起全部位于硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi),上述各支承臂部分別配置成相對(duì)于中心點(diǎn)構(gòu)成120°的角度,由此而解決了上述課題。
本發(fā)明的硅片熱處理夾具設(shè)有支承框、相互隔開間隔地從該支承框向中心點(diǎn)突出的3個(gè)支承臂部、和向各支承臂部的上側(cè)突出的支承突起,上述各支承臂部分別配置成相對(duì)于中心點(diǎn)構(gòu)成120°的角度,上述支承突起全部位于離開上述中心點(diǎn)的同一圓周上,而且,可設(shè)定成位于硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi),由此而解決了上述課題。
本發(fā)明中,上述支承突起最好是可設(shè)定固定位置地固定在上述支承臂部上。
本發(fā)明的晶片可用上述晶片熱處理方法進(jìn)行熱處理。
本發(fā)明的硅片熱處理方法,硅片支承位置全部配置成分別相對(duì)于中心點(diǎn)構(gòu)成120°的角度,而且,設(shè)定在硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi),因此,因支承突起碰觸而引起的從晶片里面開始的滑動(dòng)位移的長(zhǎng)度,可以只成長(zhǎng)至對(duì)晶片表面的器件形成區(qū)間不產(chǎn)生影響的程度地設(shè)定得非常短。
這樣,可減少器件形成區(qū)間的滑動(dòng)位移的產(chǎn)生、可防止晶片的成品率降低。
這里,在使支承突起的位置位于比硅片半徑的外側(cè)方向85%更內(nèi)側(cè)的情況下,在器件廠家為了制作基板而使用的晶片內(nèi)側(cè),形成了與數(shù)個(gè)支承突起接觸的接觸傷痕,使成品率下降,而且,在具有相互隔有間隔地從支承框向中心點(diǎn)突出的3個(gè)支承臂部的類型的情況下,臂變長(zhǎng),不能保持水平狀態(tài)。另外,隨著長(zhǎng)時(shí)間的使用,支承臂部的變形增大,更保持不了水平狀態(tài)。因此,面內(nèi)載荷的平衡被破壞,因特定的支承突起而引起的滑動(dòng)增大,所以不理想;在使支承突起的位置位于比硅片半徑的外側(cè)方向99.5%更靠外側(cè)的情況下,在載置有晶片時(shí),由于沒有余量所以往往不能很好地載置。另外,在邊緣部分進(jìn)行了指示的情況下,由于滑動(dòng)進(jìn)入邊緣使晶片容易產(chǎn)生裂紋,因此,不理想。
在相對(duì)于全部支承突起存在的、硅片的同一圓周上的支承突起的位置的中心角被設(shè)定在120°以外的情況下,由于晶片支承位置不是間隔120°,因此,各支承位置上的載荷平衡被破壞,特定的指示位置上的載荷增大,在該點(diǎn)上滑動(dòng)位移長(zhǎng)度變長(zhǎng),滑動(dòng)位移往往穿通到表面。另外,在因面內(nèi)的載荷平衡較差而使晶片支承間隔大于120°的情況下,晶片支承間隔較寬則晶片有可能傾斜或掉落,所以不理想。
本發(fā)明的硅片熱處理夾具在以相互構(gòu)成120°角度的方式隔開間隔地從支承框向中央點(diǎn)突出的3個(gè)第1、第2和第3支承臂部的上側(cè)設(shè)有支承突起,各支承突起位于離開上述中心點(diǎn)的同一圓周上。并且,可設(shè)定在位于硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi),因此,可使所有的硅片支承位置分別相對(duì)于中心點(diǎn)構(gòu)成120°角度、且位于硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi),所以,可將因支承突起碰觸而引起的滑動(dòng)位移的長(zhǎng)度設(shè)定得非常短、成為對(duì)晶片表面的器件形成區(qū)域不產(chǎn)生影響的程度。
本發(fā)明中,以可設(shè)定固定位置的方式將上述支承突起固定在上述支承臂部上,這樣,便可根據(jù)晶片的直徑尺寸、厚度尺寸、硬度·應(yīng)力特性、熱特性等,設(shè)定晶片支承位置,可將因支承突起碰觸而引起的滑動(dòng)位移的長(zhǎng)度設(shè)定得非常矩、成為對(duì)晶片表面的器件形成區(qū)域不產(chǎn)生影響的程度。
具體地說,可以是將支承突起嵌合在設(shè)于支承臂部的規(guī)定位置上的固定孔內(nèi)進(jìn)行固定的結(jié)構(gòu)等。


圖1是表示本發(fā)明的硅片熱處理夾具的一實(shí)施方式的俯視圖。
圖2是表示圖1的支承臂部的放大側(cè)視圖。
圖3是表示本發(fā)明的硅片熱處理方法和熱處理夾具的一實(shí)施方式的模式俯視圖。
圖4是熱處理爐的剖面圖。
圖5是表示本發(fā)明實(shí)施方式的支承突起位置(銷位置)與滑動(dòng)全長(zhǎng)的關(guān)系的曲線圖。
圖6是表示本發(fā)明實(shí)施例的支承位置70%處的晶片表面的狀態(tài)的圖像。
圖7是表示本發(fā)明實(shí)施例的支承裝置97%處的晶片表面的狀態(tài)的圖像。
具體實(shí)施例方式
以下,根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的硅片熱處理夾具和硅片熱處理方法的一實(shí)施方式作說明。
圖1是表示本實(shí)施方式的硅片熱處理夾具的俯視圖,圖2是表示本實(shí)施方式的支承臂部的側(cè)視圖,圖3是表示本實(shí)施方式的支承突起與硅片的位置關(guān)系的模式俯視圖。
圖中,標(biāo)記1是硅片熱處理夾具,標(biāo)記10是支承框。
首先,本實(shí)施方式可適合直徑為150~400mm、較理想的為200~300mm的沒有取向平面的硅片。
本實(shí)施方式的硅片熱處理夾具1如圖1、圖2所示,設(shè)有具有相互大致垂直的邊的、俯視時(shí)呈コ字狀的支承框10、和第1支承臂部31、該第1支承臂部設(shè)在與該支承框10的開口部分對(duì)置的邊的中央,在支承框10上的除此之外的邊上,設(shè)有第2、第3支承臂部32、33。
第1、第2、第3支承臂部31、32、33,均與支承框10一體形成,支承框10和支承臂部31、32、33用石英或SiC形成,或用聚硅包覆SiC的表面而形成。其中,由于石英具有耐熱性、并不易成為污染源,所以是優(yōu)選的。
支承臂部31、32、33位于包含支承框10的同一平面上,均以朝著支承框10的大致中心位置、即中心點(diǎn)C的方式、從支承框10向內(nèi)側(cè)突出,支承臂部31、32、33以相對(duì)于該中心點(diǎn)C相互成120°角的方式,隔有間隔地設(shè)置。即,第2、第3支承臂部32、33被設(shè)成其基端與支承框10的邊構(gòu)成120°(60°)角。
在支承臂部31、32、33的上側(cè)分別設(shè)有支承突起41、42、43,各支承突起41、42、43位于離中心點(diǎn)C的同一圓周C1上。并且,可設(shè)定成位于硅片W的半徑R的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi)。
這里,支承突起41、42、43的位置(銷位置)在硅片W的半徑R的外側(cè)方向85~99.5%的范圍如圖3所示,是指把位于圓周C1上時(shí)的位置稱作r/R×100(%)的位置,所述圓周C1是相對(duì)于硅片W的半徑R來說、離開中心C的距離為半徑r的圓周,為使該r/R×100的值在上述范圍內(nèi),支承突起位于從r0~r1的范圍。
具體地說,支承突起41、42、43如圖2所示,通過分別與設(shè)在各支承臂部31、32、33的延伸方向上的數(shù)個(gè)固定孔51、52、53嵌合,便可設(shè)定固定位置。
在支承臂部31上,數(shù)個(gè)固定孔51、51之間的間隔k被設(shè)成相等的,支承臂部32上的固定孔52、52和支承臂部33上的固定孔53、53也同樣構(gòu)成。
支承突起41、42、43用石英或SiC形成,或用聚硅包覆SiC的表面而形成。其中,石英具有耐熱性、且不容易成為污染源,因此,作為材質(zhì)來說是比較理想的。
這些支承突起41、42、43設(shè)定成相對(duì)于中心點(diǎn)C來說位于同一圓周C1上,并且,如圖3所示,在載置有硅片W時(shí),設(shè)定成該圓周C1的半徑r位于硅片W的半徑R的85~99.5%的范圍內(nèi)。這時(shí),硅片W被載置成使其中心與中心點(diǎn)C一致。
同時(shí),固定孔51、52、53的各間隔k被設(shè)定為r/R的5%左右的值。另外,圖中雖記載為在比85%更靠?jī)?nèi)側(cè)也設(shè)有固定孔51,但是,在能適應(yīng)于應(yīng)對(duì)尺寸不同的硅片W等的情況下,也可不設(shè)。
這里,在使支承突起的位置位于比硅片半徑的外側(cè)方向85%更靠?jī)?nèi)側(cè)的情況下,由于器件廠家為制作基板而在所使用的硅片內(nèi)側(cè)形成有與數(shù)個(gè)支承突起接觸的傷痕。因此,成品率降低,而且,在具有相互隔有間隔地從支承框向中心點(diǎn)突出的3個(gè)支承臂部的類型的情況下,臂部變長(zhǎng)而不能保持水平狀態(tài)。另外,隨著長(zhǎng)時(shí)間的使用,支承臂部的變形增大,更不能保持水平狀態(tài)。因此,面內(nèi)載荷的平衡被破壞,特定的支承突起上的滑動(dòng)增大,所以不理想。在使支承突起的位置位于比硅片半徑的外側(cè)方向99.5%更靠外側(cè)的情況下,載置有硅片時(shí),由于沒有余量,因此,往往不能很好的載置。另外,在邊緣部分進(jìn)行了指示的情況下,滑動(dòng)進(jìn)入邊緣,硅片易產(chǎn)生裂紋,因此不理想。
本實(shí)施方式的硅片熱處理夾具1如圖3所示,是以支承突起41、42、43分別位于相對(duì)于晶片中心點(diǎn)C來說的同一圓周C1上的方式,將晶片W載置在支承突起41、42、43上而使晶片W水平地支承在夾具1上之后,再將該支承臂部1搬送到圖4所示的處理爐20內(nèi)對(duì)晶片進(jìn)行熱處理。這樣將硅片配置在3個(gè)硅片熱處理夾具1上時(shí),即使進(jìn)行熱處理也可減少發(fā)生在表面上的滑動(dòng)位移。圖4中的標(biāo)記21表示加熱燈、標(biāo)記22表示高溫計(jì)。
本實(shí)施方式中熱處理爐是用單片式熱處理爐,但是,也可用于能處理數(shù)片的立式熱處理爐的テダ一ボ一ト等配置方法。
另外,支承臂部上的支承突起之間的間隔也可不是上述的r/R的5%的刻紋、而設(shè)成其他的值,而且,也可設(shè)定為非等間隔的值。
實(shí)施例下面,對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作說明。
<實(shí)施例>
準(zhǔn)備了直徑φ200mm、厚度0.725mm的沒有取向平面的[凹口(notch)型的]硅片。
另外,圖1、圖3所示的支承突起41、42、43均位于具有和上述晶片W的中心同樣的中心C、且半徑為r的同一圓周C1上,而且,相對(duì)于上述晶片W的半徑R來說r/R的值,按每5%調(diào)整成位于65~90%的范圍及97%。載置在這樣配置的各硅片熱處理夾具1的支承突起上,將晶片W支承為水平狀態(tài)。將載有該晶片的硅片熱處理夾具1裝入圖4所示的處理爐20內(nèi),按爐內(nèi)溫度1250℃、10秒的條件對(duì)晶片W進(jìn)行了熱處理。
<比較評(píng)價(jià)>
這樣在用里側(cè)支承的狀態(tài)下進(jìn)行RTA處理后,在表面?zhèn)冗M(jìn)行了Secco腐蝕的硅片上,觀察到在器件形成區(qū)域、即表面上產(chǎn)生的滑動(dòng)位移。若位移未到達(dá)晶片表面,則用Secco腐蝕當(dāng)然看不到位移坑。其結(jié)果中,r/R的值為70%的示于圖6,為97%的示于圖7。
這里,在支承突起位置(銷位置)為70%的圖6中,在圖像上拉的線是相對(duì)于表示位移位置的點(diǎn)、對(duì)各自的滑動(dòng)進(jìn)行了拉伸的線,以使它們的間隔變得最長(zhǎng),將該直線的長(zhǎng)度作為滑動(dòng)長(zhǎng)度進(jìn)行了測(cè)定。
接著,按每個(gè)晶片求出了圖6所示的滑動(dòng)長(zhǎng)度的累計(jì)長(zhǎng)度(和)。其結(jié)果示于圖5。該值是對(duì)同一支承突起位置(銷位置)取數(shù)個(gè)晶片的結(jié)果的平均值。
<結(jié)果>
從圖5所示的結(jié)果可知,支承突起位置(銷位置)大于晶片半徑的85%時(shí),滑動(dòng)全長(zhǎng)約為7mm以下,實(shí)際上可將晶片的成品率提高到不影響器件形成特性的程度。
尤其是在95%以上、更理想的是在97%左右,如圖7所示那樣表面上沒有滑動(dòng)位移,可制造特性極好的晶片。
工業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明的硅片熱處理方法和熱處理夾具,硅片支承位置全部配置成各自相對(duì)于中心點(diǎn)構(gòu)成120°的角度,且設(shè)定在硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi),這樣,因支承突起碰觸而引起的滑動(dòng)位移的長(zhǎng)度可以只成長(zhǎng)到不影響晶片表面的器件形成區(qū)間的程度設(shè)定得非常短,因此,可減少器件形成區(qū)域的滑動(dòng)位移的發(fā)生,可取得能防止晶片成品率下降的效果。
權(quán)利要求
1.一種硅片熱處理方法,是在熱處理爐內(nèi)對(duì)硅片進(jìn)行熱處理時(shí)的硅片熱處理方法,其特征在于,通過位于該硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi)的3個(gè)支承位置對(duì)硅片進(jìn)行支承。
2.一種硅片熱處理方法,是具有相互隔開間隔地從支承框向中心點(diǎn)突出的3個(gè)支承臂部,而且,還具有向各支承臂部的上側(cè)突出的支承突起,將硅片載置在上述支承突起上、并在熱處理爐內(nèi)進(jìn)行熱處理時(shí)、利用硅片熱處理用3點(diǎn)支承件的硅片熱處理方法,其特征在于,上述支承突起全部位于硅片的同一圓周上時(shí),上述支承突起全部位于硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi),上述各支承臂部分別配置成相對(duì)于中心點(diǎn)構(gòu)成120°的角度。
3.一種硅片熱處理夾具,其特征在于,設(shè)有支承框,相互隔開間隔地從該支承框向中心點(diǎn)突出的3個(gè)支承臂部,和向各支承臂部的上側(cè)突出的支承突起;上述各支承臂部分別配置成相對(duì)于中心點(diǎn)構(gòu)成120°的角度;上述支承突起全部位于離開上述中心點(diǎn)的同一圓周上,而且,可設(shè)定成位于硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片熱處理夾具,其特征在于,上述支承突起固定在上述支承臂部上,可對(duì)固定位置進(jìn)行設(shè)定。
5.一種晶片,其特征在于,用權(quán)利要求1或權(quán)利要求2記載的晶片熱處理方法進(jìn)行了熱處理。
全文摘要
本發(fā)明提供一種硅片熱處理夾具和熱處理方法,在相互隔開間隔地從支承框向中心點(diǎn)突出的3個(gè)支承臂部的上側(cè)設(shè)有支承突起,在將硅片載置在上述支承突起上、在熱處理爐內(nèi)進(jìn)行熱處理時(shí),支承突起全部在硅片的同一圓周上、且位于硅片半徑的外側(cè)方向85~99.5%的范圍內(nèi),各支承臂部分別配置成相對(duì)于中心點(diǎn)構(gòu)成120°的角度,由此,使從銷跡點(diǎn)進(jìn)入的位移的自由深度比器件形成區(qū)域深,而且,使這樣的晶片表面上沒有滑動(dòng)的無滑動(dòng)區(qū)域擴(kuò)大到最大。
文檔編號(hào)H01L21/324GK1768421SQ200480008600
公開日2006年5月3日 申請(qǐng)日期2004年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月31日
發(fā)明者中田嘉信, 白木弘幸, 長(zhǎng)谷川健 申請(qǐng)人:株式會(huì)社上睦可
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