太陽能電池硅片的拋光方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及拋光方法,更特別涉及一種太陽能電池硅片的拋光方法。
【背景技術(shù)】
[0002]拋光和鈍化技術(shù)作為高效電池技術(shù)的一種,在降低背表面復(fù)合速率,提高太陽能電池的長波響應(yīng),修復(fù)表面態(tài)方面有著很大的優(yōu)勢。采用背拋光背鈍化的電池主要是將電池的背面拋光然后增加一個(gè)鈍化層,這樣形成背場鈍化層,再進(jìn)行正常的印刷,有的需要激光開槽然后印刷。這樣的電池在開路電壓和短路電流上都會(huì)有一定的提高,并最終提高轉(zhuǎn)換效率。
[0003]拋光是鈍化的基礎(chǔ),一般進(jìn)行鈍化之前都會(huì)先將電池進(jìn)行拋光,近幾年拋光鈍化技術(shù)的發(fā)展,單獨(dú)的拋光技術(shù)也是有些傳統(tǒng)產(chǎn)線引進(jìn)的新技術(shù),也有不少拋光液配備相應(yīng)的拋光設(shè)備,但是與原產(chǎn)線相匹配的改造造價(jià)都比較高,且現(xiàn)有的拋光方法時(shí)間較長,拋光的效果也不理想。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]為克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題,本發(fā)明提供了一種太陽能電池硅片的拋光方法,該方法成本低,操作簡單,可與傳統(tǒng)生產(chǎn)線良好地匹配。
[0005]本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種太陽能電池硅片的拋光方法,包括以下步驟:
(a)對未拋光的太陽能電池硅片進(jìn)行預(yù)清洗,并配制拋光溶液,該拋光溶液為添加有表面活性劑的堿溶液;
(b)將步驟(a)中所配制的拋光溶液加熱到80?100°C,并將預(yù)清洗過的太陽能電池石圭片浸入該加熱后的拋光溶液中進(jìn)行拋光處理,拋光處理的時(shí)間為90?200秒。在反應(yīng)的過程中有氣泡產(chǎn)生,可以配備較好的鼓吹氣泡裝置。關(guān)于拋光的時(shí)間,可用秒表來計(jì)時(shí),在達(dá)到所需拋光效果的同時(shí)控制硅片的減薄量。
[0006](c)對步驟(b)中得到的拋光后的太陽能電池硅片進(jìn)行酸洗、水洗和干燥。
[0007]進(jìn)一步地,在步驟(a)中,預(yù)清洗使用的清洗劑為氨水和雙氧水的混合溶液。清洗過程中,優(yōu)選額外使用超聲波輔助清洗,這樣清洗的效果更好。
[0008]優(yōu)選地,在步驟(a)中,表面活性劑為烷基酚型表面活性劑,可以使拋光反應(yīng)更均勻。
[0009]優(yōu)選地,在步驟(a)中,表面活性劑為Ε0Ρ0Ε0型嵌段共聚物,可以使拋光反應(yīng)更均勻更優(yōu)選地,在步驟(a)中,表面活性劑占?jí)A溶液總體積(即,拋光溶液的總體積)的0.05%?0.
[0010]優(yōu)選地,在步驟(a)中,堿溶液為氫氧化鈉或氫氧化鉀溶液。
[0011]優(yōu)選地,在步驟(a)中,堿溶液為四甲基氫氧化銨溶液。
[0012]更優(yōu)選地,在步驟(a)中,堿溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10 %?20 %。
[0013]再優(yōu)選地,在步驟(C)中,酸洗所使用的酸液為氫氟酸和鹽酸的混合溶液。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有下列優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明的拋光方法使用堿和表面活性劑進(jìn)行拋光處理,所使用的拋光溶液在一定的溫度下進(jìn)行,拋光前原硅片的反射率為18%左右,拋光后在300nm至IlOOnm的可見光范圍內(nèi),反射率達(dá)到50%,拋光效果顯著。
[0015]本發(fā)明的拋光方法在現(xiàn)有工藝基礎(chǔ)上進(jìn)行了改進(jìn),是根據(jù)強(qiáng)堿對硅片具有良好拋光效果而設(shè)計(jì)的技術(shù)方案。本發(fā)明的該方法不僅成本低,簡單易操作,而且對于傳統(tǒng)生產(chǎn)線的生產(chǎn)工藝來說,不需要很大的整改就可以直接加入此環(huán)節(jié)進(jìn)行匹配,相對于買專門拋光的機(jī)器另加一個(gè)工序來匹配傳統(tǒng)工藝生產(chǎn)而言,節(jié)省了引進(jìn)新技術(shù)整體的成本,而且拋光效果良好。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)闡述,以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解,從而對本發(fā)明的保護(hù)范圍作出更為清除明確的界定。
[0017]實(shí)施例1
本發(fā)明的太陽能電池硅片的拋光方法,具體步驟如下:
(a)對太陽能電池硅片進(jìn)行拋光前的預(yù)清洗,用氨水和雙氧水的混合溶液(氨水、雙氧水和水的體積比為1:1:5,其中氨水質(zhì)量分?jǐn)?shù)為25%,雙氧水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為35% )作為清洗劑,超聲波輔助清洗15分鐘;
配制質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10 %的氫氧化鈉溶液,加入烷基酚型表面活性劑制得拋光溶液,烷基酚型表面活性劑占該拋光溶液總體積的0.05% ;
(b)將配制的拋光溶液加熱到80°C,并開鼓泡,將太陽能電池硅片樣品放入小花籃中,小花籃放入所配制的氫氧化鈉拋光溶液中,進(jìn)行拋光,并計(jì)時(shí)200S ;
(c)用氫氟酸、鹽酸和水的混合溶液(體積比為1.5:1:5,其中氫氟酸和鹽酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)均為38% )對拋光后的硅片進(jìn)行酸洗,然后清洗、甩干,得到成品。
[0018]測試成品的反射率和減薄量,拋光表面干凈、光滑、平整,反射率51%,減薄量
0.45g0
[0019]實(shí)施例2
與實(shí)施例1不同的是,在本實(shí)施例中,拋光溶液為有機(jī)堿溶液,具體步驟如下:
(a)對太陽能電池硅片進(jìn)行拋光前的預(yù)清洗,用氨水和雙氧水的混合溶液(氨水、雙氧水和水的體積比為1:1:5,其中氨水質(zhì)量分?jǐn)?shù)為25%,雙氧水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為35% )作為清洗劑,超聲波輔助清洗15分鐘;
配制質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20%的四甲基氫氧化銨溶液,加入體積分?jǐn)?shù)占總堿溶液體積為0.5%的Ε0Ρ0Ε0型嵌段共聚物表面活性劑,制得拋光溶液;
(b)將配制的拋光溶液加熱到100C,并開鼓泡,將太陽能電池硅片樣品放入小花籃中,小花籃放入所配制的四甲基氫氧化銨拋光溶液中,進(jìn)行拋光,并計(jì)時(shí)100S ;
(c)用氫氟酸和鹽酸的混合溶液(體積比為1.5:1:5,其中氫氟酸和鹽酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)均為38% )拋光后的硅片進(jìn)行酸洗,然后清洗、甩干,得到成品。
[0020]測試反射率和減薄量,拋光表面干凈、光滑、平整,反射率50%,減薄量0.33g。
[0021]實(shí)施例3
采用與實(shí)施例1類似的方法,本實(shí)施例的太陽能電池硅片的拋光方法的具體步驟如下:
(a)對太陽能電池硅片進(jìn)行拋光前的預(yù)清洗,用氨水和雙氧水的混合溶液(氨水、雙氧水和水的體積比為1:1:5,其中氨水質(zhì)量分?jǐn)?shù)為25%,雙氧水的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為35% )作為清洗劑,超聲波輔助清洗15分鐘;
配制質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10%氫氧化鈉溶液,加入體積分?jǐn)?shù)占總?cè)芤后w積為0.25%的烷基酚型表面活性劑,制得拋光溶液;
(b)將配制的拋光溶液加熱到90°C,并開鼓泡,將太陽能電池硅片樣品放入小花籃中,小花籃放入所配制的氫氧化鈉拋光溶液中,進(jìn)行拋光,并計(jì)時(shí)150S ;
(c)用氫氟酸和鹽酸的混合溶液(體積比為1.5:1:5,其中氫氟酸和鹽酸的質(zhì)量分?jǐn)?shù)均為38% )對拋光后的硅片進(jìn)行酸洗,然后清洗、甩干,得到成品。
[0022]測試成品的反射率和減薄量,拋光表面干凈、光滑、平整,反射率50.8%,減薄量
0.38g0
[0023]以上對本發(fā)明的特定實(shí)施例進(jìn)行了說明,但本發(fā)明的保護(hù)內(nèi)容不僅僅限定于以上實(shí)施例,在本發(fā)明的所屬技術(shù)領(lǐng)域中,只要掌握通常知識(shí),就可以在其技術(shù)要旨范圍內(nèi)進(jìn)行多種多樣的變更。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于,包括以下步驟: (a)對未拋光的太陽能電池硅片進(jìn)行預(yù)清洗,并配制拋光溶液,所述拋光溶液為添加有表面活性劑的堿溶液; (b)將步驟(a)中所配制的拋光溶液加熱到80?100°C,并將預(yù)清洗過的太陽能電池石圭片浸入該加熱后的拋光溶液中進(jìn)行拋光處理,所述拋光處理的時(shí)間為90?200秒; (c)對步驟(b)中得到的拋光后的太陽能電池硅片進(jìn)行酸洗、水洗和干燥。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于:在步驟(a)中,所述預(yù)清洗使用的清洗劑為氨水和雙氧水的混合溶液。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于:在步驟(a)中,所述表面活性劑為烷基酚型表面活性劑。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于:在步驟(a)中,所述表面活性劑為Ε0Ρ0Ε0型嵌段共聚物。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于:在步驟(a)中,所述表面活性劑占拋光溶液總體積的0.05%?0.5%。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于:在步驟(a)中,所述堿溶液為氣氧化鈉或氣氧化鉀溶液。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于:在步驟(a)中,所述堿溶液為四甲基氫氧化銨溶液。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于:在步驟(a)中,所述堿溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10%?20%。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片的拋光方法,其特征在于:在步驟(c)中,所述酸洗所使用的酸液為氫氟酸和鹽酸的混合溶液。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種太陽能電池硅片的拋光方法,包括以下步驟:(a)對未拋光的太陽能電池硅片進(jìn)行預(yù)清洗,并配制拋光溶液,拋光溶液為添加有表面活性劑的堿溶液;(b)將所配制的拋光溶液加熱到80~100℃,并將預(yù)清洗過的太陽能電池硅片浸入該加熱后的拋光溶液中進(jìn)行拋光處理,拋光處理的時(shí)間為90~200秒;(c)對拋光后的太陽能電池硅片進(jìn)行酸洗、水洗和干燥。本發(fā)明的太陽能電池硅片的拋光方法操作簡單,拋光效果好,且可以與傳統(tǒng)的生產(chǎn)線很好地匹配整合,具有非常好的應(yīng)用前景。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號(hào)】CN105514213
【申請?zhí)枴緾N201410555701
【發(fā)明人】不公告發(fā)明人
【申請人】卡姆丹克太陽能(江蘇)有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2014年10月17日