電池硅片自動(dòng)除塵裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種電池硅片自動(dòng)除塵裝置,包括電池硅片輸送裝置、電池硅片吸附移動(dòng)裝置和電池硅片緩存裝置;電池硅片吸附移動(dòng)裝置包括移動(dòng)導(dǎo)軌、移動(dòng)吸盤(pán)和除塵裝置,移動(dòng)吸盤(pán)滑動(dòng)連接于水平放置的移動(dòng)導(dǎo)軌,除塵裝置固定連接在移動(dòng)吸盤(pán)上;除塵裝置包括三通閥、空氣出氣調(diào)節(jié)閥以及和三通閥連通的進(jìn)氣管、出氣管一和出氣管二,出氣管一的一端和移動(dòng)吸盤(pán)連通,在移動(dòng)吸盤(pán)處于左限位時(shí),出氣管二的出氣口位于電池硅片緩存裝置的左上方,用作除塵。本發(fā)明的電池硅片自動(dòng)除塵裝置,在吸盤(pán)吸附電池硅片的同時(shí),通過(guò)出氣管二的出口對(duì)電池硅片緩存裝置中的表層硅片進(jìn)行吹掃除塵,裝置簡(jiǎn)單,并且具有良好的除塵效果,避免人為再次清理對(duì)硅片造成的污染。
【專(zhuān)利說(shuō)明】電池硅片自動(dòng)除塵裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電池硅片除塵【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其是涉及一種電池硅片自動(dòng)除塵裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電池硅片是太陽(yáng)能電池片的核心器件,它可以通過(guò)光伏特效應(yīng)將太陽(yáng)能直接轉(zhuǎn)化為電能進(jìn)行儲(chǔ)存和應(yīng)用。
[0003]在實(shí)際的應(yīng)用中,由于本道工序設(shè)備特點(diǎn),電池硅片在設(shè)備中完成PEV⑶工序加工后,原先進(jìn)入設(shè)備的電池硅片下表面會(huì)形成一層減反射膜。電池硅片被自動(dòng)運(yùn)載至設(shè)備出口處收集。電池硅片在設(shè)備內(nèi)運(yùn)載過(guò)程中,設(shè)備運(yùn)輸通道內(nèi)的灰塵、氮化硅顆粒等可能會(huì)散落在電池硅片上表面。若不清理干凈,電池硅片在落入緩存裝置后,下面一張硅片上表面的灰塵、氮化硅顆粒物會(huì)劃傷、磨損上一張硅片下表面的減反射膜。在后續(xù)的工序加工過(guò)程中,灰塵、氮化硅顆粒物等會(huì)造成電池片隱裂、破片,降低產(chǎn)品成品率;同時(shí)劃傷、磨損后的減反射膜會(huì)大大影響電池片的吸光率、降低了電池的轉(zhuǎn)換效率,因此必須在最后一道工序加工前對(duì)電池硅片表面的灰塵進(jìn)行及時(shí)的清除。
[0004]目前,由于通過(guò)本工序加工后的硅片直接用于電池片最后一道工序的生產(chǎn),行業(yè)內(nèi)部沒(méi)有相關(guān)的清理方式,在本工序完成后直接進(jìn)入最后工序的生產(chǎn)。但表面的灰塵、氮化硅顆粒物等在電池片印刷過(guò)程中容易造成電池片隱裂、破片,同時(shí)受損的減反射膜影響了電池片的吸光率、降低了電池片的轉(zhuǎn)換效率。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是:為了達(dá)到電池硅片表面清理,同時(shí)克服清理操作對(duì)電池硅片造成的污染問(wèn)題,提供一種電池硅片自動(dòng)除塵裝置。
[0006]本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種電池硅片自動(dòng)除塵裝置,包括電池硅片輸送裝置、電池硅片吸附移動(dòng)裝置和電池硅片緩存裝置;所述電池硅片吸附移動(dòng)裝置包括移動(dòng)導(dǎo)軌、移動(dòng)吸盤(pán)和除塵裝置,所述移動(dòng)吸盤(pán)滑動(dòng)連接于水平放置的移動(dòng)導(dǎo)軌,所述除塵裝置固定連接在移動(dòng)吸盤(pán)上;所述除塵裝置包括三通閥、進(jìn)氣管、出氣管一和出氣管二,所述進(jìn)氣管一端和三通閥固定連通,另一端和壓縮空氣連通,所述出氣管一的一端和三通閥固定連通,另一端和移動(dòng)吸盤(pán)連通,所述出氣管二的一端與三通閥固定連通,在移動(dòng)吸盤(pán)處于左限位位置時(shí),所述出氣管二的另一端出氣口位于電池硅片緩存裝置的左上方,所述出氣管二近出氣口處向下彎曲;所述電池硅片輸送裝置設(shè)置在移動(dòng)吸盤(pán)左限位位置的正下方,所述電池硅片緩存裝置設(shè)置在移動(dòng)吸盤(pán)右限位位置的正下方。
[0007]具體地,所述出氣管二管路上設(shè)有空氣出氣調(diào)節(jié)閥,可以通過(guò)調(diào)節(jié)空氣出氣調(diào)節(jié)閥來(lái)控制出氣管一和出氣管二的氣體流速,當(dāng)除塵出氣口氣流較小無(wú)法清除干凈時(shí),在不影響吸附裝置成功吸附電池硅片的條件下,可以通過(guò)調(diào)節(jié)空氣出氣調(diào)節(jié)閥來(lái)適當(dāng)增加出氣管二的氣體流量。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的一種電池硅片自動(dòng)除塵裝置,在吸附裝置吸附運(yùn)輸電池硅片的同時(shí),通過(guò)出氣管二的出口對(duì)電池硅片緩存裝置中電池硅片的上表面進(jìn)行吹掃除塵,吸附過(guò)程和吹掃除塵過(guò)程同步進(jìn)行,裝置簡(jiǎn)單,并且具有良好的除塵效果,同時(shí)避免人為再次操作清理對(duì)電池硅片造成的污染,提高后道工序電池片的成品率及轉(zhuǎn)換效率。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0009]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。
[0010]圖1是本發(fā)明的一種電池硅片自動(dòng)除塵裝置的示意圖。
[0011]圖中:1.電池硅片輸送裝置,2.電池硅片吸附移動(dòng)裝置,3.電池硅片緩存裝置,
4.移動(dòng)導(dǎo)軌,5.移動(dòng)吸盤(pán),6.除塵裝置,7.空氣出氣調(diào)節(jié)閥,61三通閥,62.進(jìn)氣管,63出氣
管一,64.出氣管二。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步對(duì)本發(fā)明進(jìn)行闡述,應(yīng)理解,引用實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明,而不用于限制本發(fā)明的范圍。
[0013]一種電池硅片自動(dòng)除塵裝置,包括電池硅片輸送裝置1、電池硅片吸附移動(dòng)裝置2和電池硅片緩存裝置3 ;電池硅片吸附移動(dòng)裝置2包括移動(dòng)導(dǎo)軌4、移動(dòng)吸盤(pán)5和除塵裝置6,移動(dòng)吸盤(pán)5滑動(dòng)連接于水平放置的移動(dòng)導(dǎo)軌4,除塵裝置6固定連接在移動(dòng)吸盤(pán)5上;除塵裝置6包括三通閥61、進(jìn)氣管62、出氣管一 63和出氣管二 64,進(jìn)氣管62 —端和三通閥61固定連通,另一端和壓縮空氣連通,出氣管一 63的一端和三通閥61固定連通,另一端和移動(dòng)吸盤(pán)5連通,出氣管二 64的一端通過(guò)空氣出氣調(diào)節(jié)閥7與三通閥61固定連通,在移動(dòng)吸盤(pán)5處于左限位位置時(shí),出氣管二 64的另一端出氣口位于電池硅片緩存裝置3的左上方,出氣管二 64近出氣口處向下彎曲;電池硅片輸送裝置I設(shè)置在移動(dòng)吸盤(pán)5左限位位置的正下方,電池硅片緩存裝置3設(shè)置在移動(dòng)吸盤(pán)5右限位位置的正下方。
[0014]移動(dòng)吸盤(pán)5位于左限位位置,當(dāng)電池硅片輸送裝置I輸送電池硅片至輸送裝置右端時(shí),電池硅片下方的光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)感應(yīng)到硅片到位,輸送裝置停止運(yùn)行,此時(shí)電池硅片位于移動(dòng)吸盤(pán)5正下方。壓縮空氣開(kāi)始供氣,通過(guò)出氣管一 63開(kāi)始向移動(dòng)吸盤(pán)5吹氣,使移動(dòng)吸盤(pán)5的中心空盤(pán)位置產(chǎn)生負(fù)壓,將電池硅片吸起;同時(shí),出氣管二 64也吹氣,對(duì)電池硅片緩存裝置3頂層硅片的上表面進(jìn)行吹掃除塵。移動(dòng)吸盤(pán)5上的光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)感應(yīng)到硅片吸附到位,移動(dòng)吸盤(pán)5開(kāi)始沿移動(dòng)導(dǎo)軌4向右移動(dòng),由于移動(dòng)吸盤(pán)5移動(dòng)過(guò)程中壓縮空氣供氣不停止,除塵口對(duì)電池硅片上表面有從左往右掃過(guò)的除塵效果。移動(dòng)吸盤(pán)5沿移動(dòng)導(dǎo)軌4移動(dòng)到右限位位置時(shí)停止,電池硅片位于緩存裝置3的正上方。此時(shí)壓縮空氣停止供氣,移動(dòng)吸盤(pán)5因切斷吹氣而失去吸附力,硅片落入電池硅片緩存裝置3,同時(shí)除塵吹氣也停止。移動(dòng)吸盤(pán)5上的光電感應(yīng)開(kāi)關(guān)感應(yīng)到硅片落下后,移動(dòng)吸盤(pán)5沿移動(dòng)導(dǎo)軌4向左移動(dòng)至左限位位置復(fù)位,如此往復(fù)操作。吸附裝置向左、向右移動(dòng)的最終位置通過(guò)光電感應(yīng)限位開(kāi)關(guān)控制。
[0015]以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示,通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容,相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi),進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書(shū)上的內(nèi)容,必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種電池硅片自動(dòng)除塵裝置,其特征在于包括:電池硅片輸送裝置(I)、電池硅片吸附移動(dòng)裝置(2)和電池硅片緩存裝置(3); 所述電池硅片吸附移動(dòng)裝置(2)包括移動(dòng)導(dǎo)軌(4)、移動(dòng)吸盤(pán)(5)和除塵裝置(6),所述移動(dòng)吸盤(pán)(5)滑動(dòng)連接于水平放置的移動(dòng)導(dǎo)軌(4),所述除塵裝置(6)固定連接在移動(dòng)吸盤(pán)(5)上; 所述除塵裝置(6)包括三通閥(61)、進(jìn)氣管(62)、出氣管一(63)和出氣管二(64),所述進(jìn)氣管(62)—端和三通閥(61)固定連通,另一端和壓縮空氣連通,所述出氣管一(63)的一端和三通閥(61)固定連通,另一端和移動(dòng)吸盤(pán)(5)連通,所述出氣管二(64)的一端與三通閥(61)固定連通,在移動(dòng)吸盤(pán)(5)處于左限位位置時(shí),所述出氣管二(64)的另一端出氣口位于電池硅片緩存裝置(3)的左上方,所述出氣管二(64)近出氣口處向下彎曲; 所述電池硅片輸送裝置(I)設(shè)置在移動(dòng)吸盤(pán)(5)左限位位置的正下方,所述電池硅片緩存裝置(3 )設(shè)置在移動(dòng)吸盤(pán)(5 )右限位位置的正下方。
2.如權(quán)利要求1所述的電池硅片自動(dòng)除塵裝置,其特征在于:所述出氣管二(64)的一端通過(guò)空氣出氣調(diào)節(jié)閥(7)與三通閥(61)固定連通。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK103441092SQ201310393753
【公開(kāi)日】2013年12月11日 申請(qǐng)日期:2013年9月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月2日
【發(fā)明者】王少華 申請(qǐng)人:常州億晶光電科技有限公司