混合型透明電極的制造方法及混合型透明電極的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及一種混合型透明電極的制造方法及混合型透明電極，更為詳細地，設(shè) 及一種在金屬微細電極圖案上形成有導(dǎo)電層的混合型透明電極的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 最近，隨著電子產(chǎn)品的輕薄短小化的趨勢，顯示器及晶體管等的電子元件 共同要求W高密度及高集成的形式制作，因此對于形成能夠使用在電極或者布線 (metallization)上的金屬圖案的技術(shù)備受關(guān)注。
[0003] 特別在觸摸面板中必需的透明電極的制作技術(shù)中，在基底上形成微細圖案，并且 填充導(dǎo)電金屬油墨而形成的金屬圖案在電阻特性上非常有用。此外，還開發(fā)一種在基底膜 上涂覆金屬納米線或者各種形式的金屬結(jié)構(gòu)，從而提高光學(xué)特性和電特性的金屬基透明電 極燈C巧。
[0004] 但是，由運些材料形成的電極表面不適合W要求數(shù)十納米級表面平整度的 OL邸為主的其他顯示器的工藝中，并且因與在電極上形成的有機物質(zhì)的功函數(shù)（Work function)的差異可能會提高能障（energybarrier)。
[0005] 目前，在觸摸面板及顯示器用透明電極上商業(yè)使用W氧化銅錫（IndiumTin 化ide，ITO)為主的氧化物透明電極，但是儲量有限，并且在氧化物的特性上缺乏柔軟性，在 電阻特性上沒有金屬優(yōu)異，因此不適合作為大面積的柔性顯示器來使用。
[0006] 最近對大面積柔性顯示器的需求增加的運個時候，迫切需要開發(fā)一種電阻特性優(yōu) 異、柔軟、與有機物質(zhì)的適應(yīng)性出色的同時表面平整度優(yōu)異的電極材料。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 技術(shù)問題
[0008] 因此，本發(fā)明的目的是為了解決所述的W往問題而提出的，其目的在于提供一種 混合型透明電極的制造方法，該方法將具有機械特性及電特性的導(dǎo)電金屬油墨組合物和表 面特性優(yōu)異的氧化物電極混合而形成雙層的混合型透明電極。
[0009] 此外，其目的在于提供一種混合型透明電極的制造方法，該方法將金屬絡(luò)合物或 者金屬前體作為導(dǎo)電金屬油墨組合物使用，從而制造能夠降低電阻的同時能夠保持優(yōu)異的 電特性的混合型透明電極。
[0010] 此外，其目的在于提供一種混合型透明電極的制造方法，該方法去除在利用導(dǎo)電 金屬油墨組合物印刷微細電極圖案時有可能在非微細電極圖案區(qū)域的區(qū)域上產(chǎn)生的導(dǎo)電 金屬油墨組合物的殘留物，從而制造能夠形成通過W往的技術(shù)難W實現(xiàn)的低電阻的微細圖 案，并且透射率優(yōu)異的混合型透明電極。
[0011] 此外，其目的在于提供一種混合型透明電極的制造方法，該方法可通過調(diào)節(jié)導(dǎo)電 層的厚度來改善機械特性，并且可通過最大限度地進行導(dǎo)電油墨組合物向金屬電極圖案內(nèi) 的填充，并在氧化物電極之間導(dǎo)入聚合物層，W提高表面特性和機械特性。
[001引解決問題的方案
[0013] 為了實現(xiàn)所述課題，本發(fā)明的混合型透明電極的一實施例的制造方法的特征在 于，包括：油墨組合物的填充步驟，用于在具有槽的基底的所述槽中填充導(dǎo)電油墨組合物； 殘留油墨組合物的填充步驟，用于將在所述槽中填充所述導(dǎo)電金屬油墨組合物時殘留在所 述基底表面上的殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物填滿到所述槽中來形成電極圖案；及導(dǎo)電層的形 成步驟，用于在所述電極圖案上形成包含導(dǎo)電物質(zhì)的導(dǎo)電層。
[0014] 所述導(dǎo)電金屬油墨組合物可包括金屬絡(luò)合物、金屬前體、球形金屬粒子、金屬薄 片、納米粒子或者納米線中的至少一種。
[0015] 在所述油墨組合物的填充步驟中，優(yōu)選通過噴墨法、平板絲網(wǎng)法、旋涂法、棒涂法、 漉涂法、流涂法、刀片刮涂法、點膠法、凹版印刷法或者柔版印刷法來填充所述導(dǎo)電金屬油 墨組合物。
[0016] 在所述殘留油墨組合物的填充步驟中，可通過蝕刻液溶解在所述油墨組合物的填 充步驟中在所述槽中填充所述導(dǎo)電油墨組合物時殘留在所述表面上的所述殘留導(dǎo)電金屬 油墨組合物，并在所述槽中填充已溶解的所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物。
[0017] 本發(fā)明的特征在于，所述蝕刻液通過涂覆在所述基底的表面來溶解所述殘留導(dǎo)電 金屬油墨組合物。
[001引所述蝕刻液可通過平板絲網(wǎng)法、旋涂法、漉涂法、流涂法、刀片刮涂法、凹版印刷法 或者柔版印刷法來進行涂覆。
[0019] 所述蝕刻液可包括氨基甲酸錠系、碳酸錠系、碳酸氨錠系、簇酸系、內(nèi)醋系、內(nèi)酷胺 系、環(huán)狀酸酢系、酸-堿鹽復(fù)合物、酸-堿-醇系復(fù)合物或者琉基系化合物中的至少一種及 氧化劑。
[0020] 本發(fā)明的特征在于，將通過蝕刻液溶解的所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物推入所述 槽中來在所述槽中填充所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物。
[0021] 對于通過所述蝕刻液溶解的所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物，優(yōu)選利用刀片或者刷 子推入所述槽中。
[0022] 所述導(dǎo)電物質(zhì)可為金屬氧化物、CNT、石墨締或者導(dǎo)電性高分子。
[0023] 本發(fā)明的特征在于，所述導(dǎo)電層通過沉積或者印刷所述導(dǎo)電物質(zhì)而形成。
[0024] 所述導(dǎo)電層的厚度優(yōu)選為所述槽的高度的0. 5~2. 0倍，并且并不局限于此。
[00巧]本發(fā)明的混合型透明電極的另一實施例的制造方法的特征在于，包括：基底表面 的處理步驟，用于準備在表面上形成有槽的基底，并且進行等離子體處理W使所述基底的 表面成為疏水性；油墨組合物的填充步驟，用于將導(dǎo)電金屬油墨組合物填滿到所述槽中； 殘留油墨組合物的填充步驟，用于將填充所述槽時殘留在所述表面上的殘留導(dǎo)電金屬油墨 組合物填滿到所述槽中，W形成電極圖案；及導(dǎo)電層的形成步驟，用于在所述電極圖案上形 成包含導(dǎo)電物質(zhì)的導(dǎo)電層。
[0026] 所述導(dǎo)電金屬油墨組合物可包括金屬絡(luò)合物、金屬前體、球形金屬粒子、金屬薄 片、納米粒子或者納米線中的至少一種。
[0027] 本發(fā)明的特征在于，在所述殘留油墨組合物的填充步驟中，通過蝕刻液溶解在所 述油墨組合物的填充步驟中填充所述槽時殘留在所述表面上的所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組 合物，并將所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物填滿到所述槽中。
[0028]可將通過所述蝕刻液溶解的所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物利用刀片或者刷子來 推入所述槽中，從而在所述槽中填充所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物。
[0029] 本發(fā)明的特征在于，所述導(dǎo)電層通過沉積或者印刷金屬氧化物、CNT、石墨締或者 導(dǎo)電性高分子而形成。
[0030] 本發(fā)明的混合型透明電極的另一實施例的制造方法的特征在于，包括：第一油墨 組合物的填充步驟，用于準備在表面上形成有槽的基底，并且在所述槽中填滿導(dǎo)電金屬油 墨組合物；第一殘留油墨組合物的填充步驟，用于將填充所述槽時殘留在所述表面上的殘 留導(dǎo)電金屬油墨組合物填滿到所述槽中，W形成電極圖案；第二油墨組合物的填充步驟， 用于將導(dǎo)電金屬油墨組合物填滿到所述槽中；第二殘留油墨組合物的填充步驟，用于將填 充所述槽時殘留在所述表面上的殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物填滿到所述槽中，W形成電極圖 案；及導(dǎo)電層的形成步驟，用于在所述電極圖案上形成包含導(dǎo)電物質(zhì)的導(dǎo)電層。
[0031] 所述導(dǎo)電金屬油墨組合物可包括金屬絡(luò)合物、金屬前體、球形金屬粒子、金屬薄 片、納米粒子或者納米線中的至少一種。
[0032]所述金屬前體優(yōu)選為MnX,其中，M為Ag、Au、Cu、Ni、Co、Pd、Ti、V、Mn、Fe、Cr、Zr、 Nb、Mo、W、Ru、Cd、化、1?6、Os、Ir、Al、Ga、Ge、In、Sn、Sb、Pb或者Bi中的一種，n為！~10 的整數(shù)，X為氧、硫橫、面素、氯基、氯酸鹽、碳酸鹽、硝酸鹽（Nitrate)、硝酸鹽（Nitrate)、硫 酸鹽、憐酸鹽、硫氯酸鹽、氯酸鹽、高氯酸鹽、四氣棚酸鹽（tetrafIuoroborate)、乙酷丙酬化 物、琉基、酷胺、醇鹽及簇酸鹽中的一種。
[0033] 所述導(dǎo)電層可通過沉積或者印刷所述導(dǎo)電物質(zhì)而形成。
[0034] 本發(fā)明的特征在于，所述導(dǎo)電層形成為10~500皿的厚度。
[0035] 本發(fā)明的混合型透明電極的另一實施例的制造方法的特征在于，包括：油墨組合 物的填充步驟，用于準備在表面上形成有槽的基底，并且在所述槽中填充導(dǎo)電金屬油墨組 合物；殘留油墨組合物的填充步驟，用于將填充所述槽時殘留在所述表面上的殘留導(dǎo)電金 屬油墨組合物填滿到所述槽中，W形成電極圖案；燒成步驟，用于將所述電極圖案在50~ 200°C的氣氛中燒成；及導(dǎo)電層的形成步驟，用于在所述電極圖案上形成包含導(dǎo)電物質(zhì)的導(dǎo) 電層。
[0036]可將所述殘留油墨組合物的填充步驟重復(fù)兩次W上實施。
[0037] 優(yōu)選在所述殘留油墨組合物的填充步驟中，通過蝕刻液溶解在所述油墨組合物的 填充步驟中填充所述槽時殘留在所述表面上的所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物，并將已溶解 的所述殘留導(dǎo)電金屬油墨組合物填滿到所述槽中。
[003引所述蝕刻液可通過平板絲網(wǎng)法、旋涂法、漉涂法、流涂法、刀片刮涂法、凹版印刷法 或者柔版印刷法來對所述基底表面的全面上進行涂覆，從而溶解殘留導(dǎo)電金屬油墨組合 物。
[0039]為了實現(xiàn)所述課題，本發(fā)明的混合型透明電極的特征在于，包括：基底部，形成有 網(wǎng)格狀的槽；金屬網(wǎng)格電極，在所述槽中填充導(dǎo)電金屬油墨組合物而形成；金屬氧化物層， 形成在所述金屬網(wǎng)格電極上。
[0040] 所述導(dǎo)電金屬油墨組合物可包括金屬絡(luò)合物、金屬前體、球形金屬粒子、金屬薄 片、納米粒子或者納米線中的至少一種。
[0041] 所述金屬氧化物層優(yōu)選包括氧化錫、氧化銅錫、氧化錬錫、氧化銅嫁、氧化銅鋒或 者氧化鋒。
[004引發(fā)明效果
[0043] 本發(fā)明通過由導(dǎo)電金屬油墨組合物形成電極圖案，并且在電極圖案上形成由導(dǎo)電 物質(zhì)構(gòu)成的導(dǎo)電層來制造混合型透明電極，從而能夠提供導(dǎo)電度和透射率優(yōu)異，因此對透 明電極最適合的透明電極。
[0044] 尤其是，兩個電極之間的界面特性優(yōu)異，因此能夠應(yīng)用在要求高導(dǎo)電度和高可靠 性的領(lǐng)域。
[0045] 不僅如此，與W往的混合型透明電極相比提高了柔軟性，因此易于在柔性顯示器 中應(yīng)用。
[0046] 作為構(gòu)成微細電極