地，所述預設夾角在(0°，10° ]范圍內。
[0033]作為本發(fā)明的一種【具體實施方式】，如圖4和圖5所示，傳感器20與腔體10之間、以及反射板30與腔體10之間均設置有支撐組件80，設置在傳感器20與腔體10之間的支撐組件80使所述光接收件的接收面與腔體10的底壁之間形成所述預設夾角，設置在反射板30與腔體10之間的支撐組件80使反射板30與腔體10的頂壁之間形成所述預設夾角。
[0034]更進一步地，如圖6所示，支撐組件80可以包括固定部81和與該固定部81相連的連接部82，固定部81設置在腔體10上，傳感器20設置在該傳感器20與腔體10之間的支撐組件80的連接部82上，反射板30設置在該反射板30與腔體10之間的支撐組件80的連接部82上，固定部81和連接部82之間形成有預設夾角，從而使得所述光接收件的接收面與腔室10的底壁之間形成所述預設夾角，反射板30與腔室10的頂壁之間形成所述預設夾角。
[0035]本發(fā)明對固定部81和連接部82之間的連接方式不作具體限定，為了便于對固定部81和連接部82之間的角度進行調節(jié)，優(yōu)選地，如圖6所示，固定部81與連接部82鉸接。
[0036]更進一步地，如圖6所示，支撐組件80還可以包括調節(jié)部83，調節(jié)部83與固定部81的一端相連，固定部81的另一端與連接部82的一端鉸接，連接部82的另一端能夠沿調節(jié)部83移動，從而根據連接部82的另一端在調節(jié)部83上的位置確定連接部82與固定部81之間的角度，以形成所述預設夾角。
[0037]更進一步地,如圖6所7JK，調節(jié)部83上設置有刻度標記，該刻度標記與連接部82和固定部81之間的角度相對應，從而準確地對連接部82和固定部81之間的角度進行調節(jié)。
[0038]更進一步地，調節(jié)部83與固定部81鉸接，調節(jié)部83與連接部82之間設置有可拆卸的固定件84 (如，螺釘螺母)。在實際操作中，將連接部82的另一端沿調節(jié)部83移動，同時，傳感器20的光發(fā)射件朝向設置在傳感器20與反射板30之間的基片發(fā)射入射光線40,當傳感器20的光接收件接收反射光線50時，通過固定件81將連接部82與調節(jié)部83固定。應當理解的是，兩個支撐組件80 (設置在傳感器20與腔體10之間的支撐組件80和設置在反射板30與腔體10之間的支撐組件80)的連接部82與固定部81之間的角度相同，從而使得當傳感器20與反射板30之間無基片時，傳感器30的光發(fā)射件所發(fā)射的光線經過反射板30的反射后，可以被所述光接收件接收。
[0039]傳感器20通常設置在腔體10的外壁，以便于安裝，即，將支撐組件80的固定部81設置在腔體10的外壁上，為了防止支撐組件80對光線的遮擋，更進一步地，如圖7所示，固定部81包括第一固定臂811、第二固定臂812和第三固定臂813，連接部82包括第一連接臂821、第二連接臂822、第三連接臂823和第四連接臂824，第三固定臂813連接在第一固定臂811的一端和第二固定臂812的一端之間，第三連接臂823連接在第一連接臂821的一端與第二連接臂822的一端之間，第四連接臂824連接在第一連接臂821的另一端和第二連接臂822的另一端之間，且第四連接臂824通過連接銷85鉸接在第一固定臂811的另一端和第二固定臂812的另一端之間，調節(jié)部83固定在第三固定臂813上，第三連接臂823上設置有安裝孔，調節(jié)部83穿過所述安裝孔。傳感器20設置在傳感器20與腔體10之間的支撐組件80的第一連接臂821和第二連接臂822上，反射板30設置在反射板30與腔體10之間的支撐組件80的第一連接臂821和第二連接臂822上。固定部81和連接部82均形成為環(huán)形結構，從而便于光線在傳感器20和反射板30之間進行傳播，提高檢測的準確性。
[0040]可以理解的是，第四連接臂824連接在第一連接臂821的另一端和第二連接臂822的另一端之間，以形成為連接部82的一端；第三連接臂823連接在第一連接臂821的一端與第二連接臂822的一端之間，以形成為連接部82的另一端；第三連接臂823連接在第一連接臂821的一端與第二連接臂822的一端之間，以形成為固定部81的一端；第一固定臂811的另一端和第二固定臂812的另一端共同形成固定部81的另一端。
[0041]以上為對本發(fā)明所提供的反應腔室的描述，可以看出，反射板與腔體的頂壁之間、光接收件的接收面和腔體的底壁之間均形成有預設夾角，當傳感器與反射板之間無基片時，傳感器的光接收件可以接收到反射光線，從而判斷傳感器與反射板之間無基片；當傳感器與反射板之間設置有基片時，傳感器的光接收件接收不到反射光線，從而判斷傳感器與反射板之間有基片。本發(fā)明對基片的檢測時與基片的材料無關，不僅適用于對硅片的檢測，也適用于對SOG片的檢測，與現有技術相比，提高了基片檢測的精確度，增大了適用范圍。
[0042]作為本發(fā)明的另一方面，提供一種半導體設備，包括本發(fā)明所提供的上述反應腔室，具體地，所述反應腔室可以為裝載腔、預熱腔或工藝腔等等，通過檢測反應腔室中基片的檢測確定基片的位置。
[0043]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。
【主權項】
1.一種反應腔室，該反應腔室包括腔體和位置檢測機構，該位置檢測機構包括傳感器和反射板，所述傳感器和所述反射板分別設置在所述腔體的底壁和頂壁上，所述傳感器包括光發(fā)射件和光接收件，所述光接收件的接收面與所述反射板的反射面平行，所述反射板用于反射所述光發(fā)射件所發(fā)射的光線，所述光接收件能夠接收所述反射板所反射的光線，其特征在于，所述反射板與所述腔體的頂壁之間、所述光接收件的接收面與所述腔體的底壁之間均形成有預設夾角。2.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述預設夾角在(0°，10°]范圍內。3.根據權利要求1所述的反應腔室，其特征在于，所述傳感器與所述腔體之間、以及所述反射板與所述腔體之間均設置有支撐組件，設置在所述傳感器與所述腔體之間的所述支撐組件使所述光接收件的接收面與所述腔體的底壁之間形成所述預設夾角，設置在所述反射板與所述腔體之間的所述支撐組件使所述反射板與所述腔體的頂壁之間形成所述預設夾角。4.根據權利要求3所述的反應腔室，其特征在于，所述支撐組件包括固定部和與該固定部相連的連接部，所述固定部設置在所述腔體上，所述傳感器設置在該傳感器與所述腔體之間的支撐組件的連接部上，所述反射板設置在該反射板與所述腔體之間的支撐組件的連接部上，所述固定部和所述連接部之間形成有所述預設夾角。5.根據權利要求4所述的反應腔室，其特征在于，所述固定部與所述連接部鉸接。6.根據權利要求4所述的反應腔室，其特征在于，所述支撐組件還包括調節(jié)部，所述調節(jié)部與所述固定部的一端相連，所述固定部的另一端與所述連接部的一端鉸接，所述連接部的另一端能夠沿所述調節(jié)部移動。7.根據權利要求6所述的反應腔室，其特征在于，所述調節(jié)部上設置有刻度標記。8.根據權利要求6所述的反應腔室，其特征在于，所述調節(jié)部與所述固定部鉸接，所述調節(jié)部與所述連接部之間設置有可拆卸的固定件。9.根據權利要求6所述的反應腔室，其特征在于，所述固定部包括第一固定臂、第二固定臂和第三固定臂，所述連接部包括第一連接臂、第二連接臂、第三連接臂和第四連接臂，所述第三固定臂連接在所述第一固定臂的一端和所述第二固定臂的一端之間，所述第三連接臂連接在所述第一連接臂的一端與所述第二連接臂的一端之間，所述第四連接臂連接在所述第一連接臂的另一端和所述第二連接臂的另一端之間，且所述第四連接臂通過連接銷鉸接在所述第一固定臂的另一端和所述第二固定臂的另一端之間，所述調節(jié)部固定在所述第三固定臂上，所述第三連接臂上設置有安裝孔，所述調節(jié)部穿過所述安裝孔。10.一種半導體設備，包括反應腔室，其特征在于，所述反應腔室為權利要求1至9中任意一項所述的反應腔室。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種反應腔室，該反應腔室包括腔體和位置檢測機構，該位置檢測機構包括傳感器和反射板，所述傳感器和所述反射板分別設置在所述腔體的底壁和頂壁上，所述傳感器包括光發(fā)射件和光接收件，所述光接收件的接收面與所述反射板的反射面平行，所述反射板用于反射所述光發(fā)射件所發(fā)射的光線，所述光接收件能夠接收所述反射板所反射的光線，所述反射板與所述腔體的頂壁之間、所述光接收件的接收面與所述腔體的底壁之間均形成有預設夾角。相應地，本發(fā)明還提供一種半導體設備。與現有技術相比，本發(fā)明檢測反應腔室內有無基片時的準確性有所提高。
【IPC分類】H01L21/67, H01L21/68, H01L21/66
【公開號】CN105206550
【申請?zhí)枴緾N201410279294
【發(fā)明人】李雪菲
【申請人】北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2014年6月20日