反應(yīng)腔室和半導(dǎo)體設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種反應(yīng)腔室和包括該腔室的半導(dǎo)體設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]S0G(silicon on glass)指的是玻璃上的娃材料，它是充分利用玻璃良好的透光性、電絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性以及硅良好的電學(xué)性能制備的一種特殊的SOI (silicon oninsulator)材料。用玻璃作為襯底材料制備的SOG材料不僅具有良好的電學(xué)性能，而且具有特殊的光電性能，廣泛應(yīng)用在太陽能電池和平板液晶顯示器等光電設(shè)備中。
[0003]檢測(cè)有無片結(jié)構(gòu)廣泛用于半導(dǎo)體設(shè)備中，也是半導(dǎo)體設(shè)備中十分重要的結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體設(shè)備在運(yùn)行過程中時(shí)刻需要檢測(cè)晶片當(dāng)前位置，來確定下一步動(dòng)作。主要需要檢測(cè)位置有裝載腔與傳輸腔之間，傳輸腔與預(yù)熱腔之間，傳輸腔與工藝腔之間，通過這些點(diǎn)的檢測(cè)可以判定晶片的當(dāng)前所處位置，以進(jìn)行下一步操作。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中檢測(cè)有無片的方法主要是安裝傳感器和反射板，如圖1所示，在腔體10上對(duì)應(yīng)設(shè)置有傳感器20和反射板30,傳感器20的光發(fā)射件發(fā)射光線,在傳感器20與反射板30之間無基片的情況下，當(dāng)入射光線40經(jīng)過反射板30反射后被傳感器20的光接收件接收，且接收的反射光線50的光值大于傳感器20的預(yù)設(shè)值，從而可以判斷傳感器20與反射板30之間無基片。如圖2所示，在傳感器20與反射板30之間設(shè)置有基片(該基片為石圭片60)的情況下，當(dāng)傳感器20的光發(fā)射件發(fā)射的入射光線40被娃片60擋住時(shí),沒有反射光線50或反射光線50很少，此時(shí)傳感器20的光接收件接收到的光值小于預(yù)設(shè)值，從而可以判斷傳感器20與反射板30之間設(shè)置有基片。
[0005]但是，這種方法僅適用于基片為硅片的情況，如圖3所示，當(dāng)基片為SOG片70時(shí)，由于SOG材料的基本結(jié)構(gòu)主要由頂層硅、中間的S12絕緣層以及玻璃襯底組成，因此，傳感器20的所反射的入射光線40會(huì)射到SOG片70的玻璃襯底上，而SOG片70能夠很大程度的反射入射光線，導(dǎo)致傳感器20的光接收件接收到的反射光線50光值大于預(yù)設(shè)值，從而錯(cuò)誤地判斷傳感器與反射板之間無基片，進(jìn)而影響生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種反應(yīng)腔室和半導(dǎo)體設(shè)備，以準(zhǔn)確的判斷反應(yīng)腔室內(nèi)是否設(shè)置有基片。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種反應(yīng)腔室，該反應(yīng)腔室包括腔體和位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，該位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括傳感器和反射板，所述傳感器和所述反射板分別設(shè)置在所述腔體的底壁和頂壁上，所述傳感器包括光發(fā)射件和光接收件，所述光接收件的接收面與所述反射板的反射面平行，所述反射板用于反射所述光發(fā)射件所發(fā)射的光線，所述光接收件能夠接收所述反射板所反射的光線，所述反射板與所述腔體的頂壁之間、所述光接收件的接收面與所述腔體的底壁之間均形成有預(yù)設(shè)夾角。
[0008]優(yōu)選地，所述預(yù)設(shè)夾角在(0°，10° ]范圍內(nèi)。
[0009]優(yōu)選地，所述傳感器與所述腔體之間、以及所述反射板與所述腔體之間均設(shè)置有支撐組件，設(shè)置在所述傳感器與所述腔體之間的所述支撐組件使所述光接收件的接收面與所述腔體的底壁之間形成所述預(yù)設(shè)夾角，設(shè)置在所述反射板與所述腔體之間的所述支撐組件使所述反射板與所述腔體的頂壁之間形成所述預(yù)設(shè)夾角。
[0010]優(yōu)選地，所述支撐組件包括固定部和與該固定部相連的連接部，所述固定部設(shè)置在所述腔體上，所述傳感器設(shè)置在該傳感器與所述腔體之間的支撐組件的連接部上，所述反射板設(shè)置在該反射板與所述腔體之間的支撐組件的連接部上，所述固定部和所述連接部之間形成有所述預(yù)設(shè)夾角。
[0011]優(yōu)選地，所述固定部與所述連接部鉸接。
[0012]優(yōu)選地，所述支撐組件還包括調(diào)節(jié)部，所述調(diào)節(jié)部與所述固定部的一端相連，所述固定部的另一端與所述連接部的一端鉸接，所述連接部的另一端能夠沿所述調(diào)節(jié)部移動(dòng)。
[0013]優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)部上設(shè)置有刻度標(biāo)記。
[0014]優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)部與所述固定部鉸接，所述調(diào)節(jié)部與所述連接部之間設(shè)置有可拆卸的固定件。
[0015]優(yōu)選地，所述固定部包括第一固定臂、第二固定臂和第三固定臂，所述連接部包括第一連接臂、第二連接臂、第三連接臂和第四連接臂，所述第三固定臂連接在所述第一固定臂的一端和所述第二固定臂的一端之間，所述第三連接臂連接在所述第一連接臂的一端與所述第二連接臂的一端之間，所述第四連接臂連接在所述第一連接臂的另一端和所述第二連接臂的另一端之間，且所述第四連接臂通過連接銷鉸接在所述第一固定臂的另一端和所述第二固定臂的另一端之間，所述調(diào)節(jié)部固定在所述第三固定臂上，所述第三連接臂上設(shè)置有安裝孔，所述調(diào)節(jié)部穿過所述安裝孔。
[0016]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括反應(yīng)腔室，其中，所述反應(yīng)腔室為本發(fā)明所提供的上述半導(dǎo)體設(shè)備。
[0017]在本發(fā)明中，所述反射板與腔體的頂壁之間、所述傳感器的光接收件的接收面和腔體的底壁之間均形成有預(yù)設(shè)夾角，當(dāng)所述傳感器與所述反射板之間無基片時(shí)，所述傳感器的光接收件可以接收到反射光線，從而判斷所述傳感器與所述反射板之間無基片；當(dāng)所述傳感器與所述反射板之間設(shè)置有基片時(shí)，所述傳感器的光接收件接收不到反射光線，從而判斷所述傳感器與所述反射板之間有基片。本發(fā)明對(duì)基片的檢測(cè)時(shí)不限于基片的材料，不僅適用于對(duì)硅片的檢測(cè)，也適用于對(duì)SOG片的檢測(cè)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，提高了基片檢測(cè)的精確度，增大了適用范圍。
【附圖說明】
[0018]附圖是用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0019]圖1所示的是現(xiàn)有技術(shù)中腔室內(nèi)無基片時(shí)的檢測(cè)示意圖；
[0020]圖2所示的是現(xiàn)有技術(shù)中腔室內(nèi)設(shè)置硅片時(shí)的檢測(cè)示意圖；
[0021]圖3所示的是現(xiàn)有技術(shù)中腔室內(nèi)設(shè)置SOG片時(shí)的檢測(cè)示意圖；
[0022]圖4所示的是本發(fā)明所提供的實(shí)施方式中腔室內(nèi)無基片時(shí)的檢測(cè)示意圖；
[0023]圖5所示的是本發(fā)明所提供的實(shí)施方式中腔室內(nèi)設(shè)置有基片時(shí)的檢測(cè)示意圖；
[0024]圖6所示的是本發(fā)明所提供的支撐組件的側(cè)試圖；
[0025]圖7所示的是本發(fā)明所提供的支撐組件的俯視圖。
[0026]附圖標(biāo)記說明
[0027]10、腔體；20:傳感器；30:反射板；40:入射光線；50:反射光線；60:硅片；70 =SOG
片；80:支撐組件；81:固定部；82:連接部；83:調(diào)節(jié)部；84:可拆卸的固定件；85:連接銷；811:第一固定臂；812:第二固定臂；813:第三固定臂；821:第一連接臂:822:第二連接臂；823:第三連接臂；824:第四連接臂；90:基片。
【具體實(shí)施方式】
[0028]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0029]作為本發(fā)明的一方面，提供一種反應(yīng)腔室，該反應(yīng)腔室包括腔體10和位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)，如圖3和圖4所7K,該位置檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括傳感器20和反射板30,傳感器20和反射板30分別設(shè)置在腔體10的底壁和頂壁上，傳感器20包括光發(fā)射件和光接收件，所述光接收件的接收面與反射板30的反射面平行，反射板30用于反射所述光發(fā)射件所發(fā)射的入射光線40，所述光接收件可以接收反射板30所反射的光線，反射板30與腔體10的頂壁之間、所述光接收件的接收面與腔體10的底壁之間均形成有預(yù)設(shè)夾角。
[0030]在本發(fā)明中，反射板30和腔體10的頂壁之間、所述光接收件的接收面和腔體10的底壁之間均形成有預(yù)設(shè)夾角，如圖4所示，當(dāng)傳感器20與反射板30之間無基片時(shí)，傳感器20的光發(fā)射件所發(fā)射的入射光線40經(jīng)過反射板30的反射，反射光線50可以被所述光接收件接收，從而判斷傳感器20與反射板30之間無基片；如圖5所示，當(dāng)傳感器20與反射板30之間設(shè)置有基片90時(shí)(該基片90可以為硅片，也可以為SOG片)，傳感器20的光發(fā)射件所發(fā)射的入射光線40與反射板30之間存在一定的角度,使得反射光線50與入射光線40之間存在一定的角度，因而偏離于所述光接收件的位置，導(dǎo)致所述光接收件接收不到反射光線50，從而判斷傳感器20與反射板30之間無基片。與現(xiàn)有技術(shù)相比，提高了基片檢測(cè)的精確度，不僅適用于對(duì)硅片的檢測(cè)，也適用于對(duì)SOG片的檢測(cè)。
[0031]傳感器20的光發(fā)射件和光接收件可以設(shè)置在同一個(gè)檢測(cè)探頭內(nèi)，可以理解的是，所述光發(fā)射件的發(fā)射方向可以垂直于反射板30，所述光接收件的接收面可以平行于反射板30，從而使得光發(fā)射件所發(fā)射的入射光線40經(jīng)過反射板30的反射后，反射光線50可以被所述光接收件接收到。
[0032]在本發(fā)明中，可以根據(jù)試驗(yàn)確定所述“預(yù)設(shè)角度”，只要使得所述光接收件可以在設(shè)置基片90的情況下接收不到反射光線50，在無基片90的情況下接收到反射光線50即可。優(yōu)選