技術編號：9454492
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。S0G(silicon on glass)指的是玻璃上的娃材料，它是充分利用玻璃良好的透光性、電絕緣性和化學穩(wěn)定性以及硅良好的電學性能制備的一種特殊的SOI (silicon oninsulator)材料。用玻璃作為襯底材料制備的SOG材料不僅具有良好的電學性能，而且具有特殊的光電性能，廣泛應用在太陽能電池和平板液晶顯示器等光電設備中。檢測有無片結構廣泛用于半導體設備中，也是半導體設備中十分重要的結構。半導體設備在運行過程中時刻需要檢測晶片當前位置，來確定...
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