半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備傳片腔室中雙層機(jī)械手臂上基板的有無及狀態(tài)的觀察，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積的應(yīng)用與制備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備的傳片腔室內(nèi)為提高產(chǎn)能采用了雙層機(jī)械手臂傳片，在機(jī)械手傳片的過程中，可能會發(fā)生滑片、撞片、碎片等現(xiàn)象，為了能夠觀察到雙層機(jī)械手臂的傳片狀態(tài)，一般采用了比較厚的大透明塑料板，此透明蓋板的材料成本及加工費(fèi)用極高，表面易受到刮傷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明以解決上述問題為目的，設(shè)計(jì)了一種半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了對雙層機(jī)械手臂傳片時(shí)基板有無及狀態(tài)的觀察，而且降低了成本。該結(jié)構(gòu)是將原大透明蓋板變換為多個(gè)小的透明蓋板分布在傳片腔室蓋板偏中間的位置，此位置的確定與基板大小和機(jī)械手臂間距有關(guān)系。通過此位置處的小透明蓋板可以觀察到機(jī)械手臂上基板的有無及狀態(tài)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案:半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)，主要包括升降機(jī)構(gòu)連接板(I)、傳片腔室蓋板(2)、圓形透明蓋板(4)及密封圈(6)。本發(fā)明是依據(jù)機(jī)械手左右手之間的間距及傳片通道位置，參考機(jī)械手上基板位置跡線(7)在X和Y方向的交點(diǎn)位置，選取內(nèi)側(cè)交叉點(diǎn)位置。
[0005]所述傳片腔室蓋板⑵上設(shè)有多個(gè)小的透明蓋板⑷；
[0006]所述圓形透明蓋板(4)所處觀察位置結(jié)構(gòu)對稱，機(jī)械手在X或Y任意方向傳取片時(shí)，都可觀察到晶圓的有無及狀態(tài)。
[0007]所述圓形透明蓋板⑷與腔室蓋板(2)之間由密封圈(6)密封并通過螺釘B (5)連接，升降機(jī)構(gòu)連接板(I)通過螺釘A(3)連接到傳片腔室蓋板(2)上，整個(gè)結(jié)構(gòu)為一體式，可通過升降機(jī)構(gòu)連接板(I)后端的氣缸進(jìn)行開關(guān)操作。
[0008]本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)在于:
[0009]1、本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了一種可觀察傳片腔室內(nèi)雙層機(jī)械手臂傳片的機(jī)構(gòu)，四處觀察位置結(jié)構(gòu)對稱，機(jī)械手在X或Y任意方向傳取片時(shí)，都可觀察到晶圓的有無及狀態(tài)；
[0010]2、依附于I的基礎(chǔ)上，多個(gè)小透明蓋板的分布替代了比較厚的大透明蓋板，大大的降低了設(shè)備的總成本并提高了設(shè)備的整體美觀性。
【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]實(shí)施例
[0013]參照圖1，一種半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)，包括:升降機(jī)構(gòu)連接板
1、傳片腔室蓋板2、螺釘A3、圓形透明蓋板4、螺釘B5及密封圈6。
[0014]本發(fā)明依據(jù)機(jī)械手左右手之間的間距及傳片通道位置，參考機(jī)械手上基板位置跡線7在X和Y方向的交點(diǎn)位置，選取內(nèi)側(cè)交叉點(diǎn)位置，設(shè)計(jì)了由多個(gè)小的透明蓋板4組成的傳片腔室蓋板2。機(jī)械手在X或Y任意方向傳取片時(shí)，都可觀察到晶圓的有無及狀態(tài)，圓形透明蓋板4與腔室蓋板2之間由密封圈6密封，并通過螺釘B5連接，升降機(jī)構(gòu)連接板I通過螺釘A3連接到傳片腔室蓋板2上，整個(gè)結(jié)構(gòu)為一體式，可通過升降機(jī)構(gòu)連接板I后端的氣缸進(jìn)行開關(guān)操作。
[0015]所述傳片腔室蓋板2上至少設(shè)有兩塊圓形透明蓋板4 ;
[0016]所述圓形透明蓋板4最佳選擇四塊；
[0017]所述圓形透明蓋板4處于觀察位置，其結(jié)構(gòu)對稱；
[0018]所述螺釘A3采用M8內(nèi)六角螺釘；
[0019]所述螺釘B5采用M6內(nèi)六角螺釘。
[0020]本發(fā)明可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積的應(yīng)用與制備技術(shù)領(lǐng)域。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)，其特征在于:它包括升降機(jī)構(gòu)連接板、傳片腔室蓋板、圓形透明蓋板及密封圈，所述傳片腔室蓋板上設(shè)有多個(gè)小的圓形透明蓋板，圓形透明蓋板與腔室蓋板之間通過密封圈密封并由螺釘B連接，升降機(jī)構(gòu)連接板通過螺釘A連接到傳片腔室蓋板上，整個(gè)結(jié)構(gòu)為一體式，可通過升降機(jī)構(gòu)連接板后端的氣缸進(jìn)行開關(guān)操作。2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述圓形透明蓋板所處觀察位置結(jié)構(gòu)對稱。3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述傳片腔室蓋板2上至少設(shè)有兩塊圓形透明蓋板4。
【專利摘要】半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室的透明蓋板結(jié)構(gòu)，包括升降機(jī)構(gòu)連接板、傳片腔室蓋板、圓形透明蓋板及密封圈。本發(fā)明是依據(jù)機(jī)械手左右手之間的間距及傳片通道位置，參考機(jī)械手上基板位置跡線在X和Y方向的交點(diǎn)位置，選取內(nèi)側(cè)交叉點(diǎn)位置。所述傳片腔室蓋板上設(shè)有多個(gè)小的透明蓋板；所述圓形透明蓋板所處觀察位置結(jié)構(gòu)對稱，機(jī)械手在X或Y任意方向傳取片時(shí)，都可觀察到晶圓的有無及狀態(tài)。所述圓形透明蓋板與腔室蓋板之間由密封圈密封并通過螺釘B連接，升降機(jī)構(gòu)連接板通過螺釘A連接到傳片腔室蓋板上，整個(gè)結(jié)構(gòu)為一體式，可通過升降機(jī)構(gòu)連接板后端的氣缸進(jìn)行開關(guān)操作。本發(fā)明由多個(gè)小透明蓋板的分布替代了比較厚的大透明蓋板，不但降低了設(shè)備的總成本并提高了設(shè)備的整體美觀性。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN104882396
【申請?zhí)枴緾N201510212398
【發(fā)明人】方仕彩, 吳鳳麗, 姜崴, 廉杰
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年9月2日
【申請日】2015年4月29日