陣列基板、其制造方法以及有機發(fā)光二極管顯示裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明的實施例涉及一種陣列基板、其制造方法以及有機發(fā)光二極管顯示裝置。
【背景技術】
[0002]有機電致發(fā)光顯示器(OLED)具有主動發(fā)光、對比度高、響應速度快、輕薄等諸多優(yōu)點，成為主要的新一代顯示器之一。其工作原理是通過向陽極和陰極施加適當的電壓，而使得位于陽極和陰極之間的有機發(fā)光層發(fā)光，從而顯示圖像。
[0003]太陽能電池是將太陽光能直接轉換成電能的半導體器件。例如，太陽能電池可以主要分為基于硅的薄膜太陽能電池、基于化合物的薄膜太陽能電池和基于有機物的太陽能電池，其中基于硅的太陽能電池可主要分為單晶硅太陽能電池、多晶硅太陽能電池和非晶硅太陽能電池。示例性地，圖1示出了多晶硅太陽能電池的截面圖，如圖1所示，由N型半導體2和P型半導體3形成的PN結被光照后，被束縛的高能級狀態(tài)下的電子被激發(fā)而成為自由電子，自由電子在晶體內向各方向移動，當通過第一電極I和第二電極4連接到外部閉合環(huán)路，電流便產生。
[0004]隨著顯示技術的不斷發(fā)展如何將有機電致發(fā)光顯示器和太陽能電池整合在一起，成為當下高技術的主要研宄方向。

【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明的實施例提供一種陣列基板、其制造方法以及有機發(fā)光二極管顯示裝置，將太陽能電池單元制作在陣列基板中，由此能夠降低制作成本、提高良率且使得產品易于實現。
[0006]一方面，本發(fā)明的實施例提供一種陣列基板，包括襯底基板，該襯底基板包括顯示區(qū)域，包括:彼此交叉的多條數據線和多條柵線，多個像素區(qū)域，形成為矩陣且由形成在所述襯底基板上的彼此交叉的多條數據線和多條柵線限定，其中所述多個像素區(qū)域的每個中形成有薄膜晶體管；周邊區(qū)域，圍繞所述顯示區(qū)域，進一步地，該陣列基板還包括至少一個太陽能電池單元，與所述薄膜晶體管位于所述襯底基板的同一側且形成在所述多個像素區(qū)域和所述周邊區(qū)域至少之一中。
[0007]另一方面，本發(fā)明的實施例還提供一種上述陣列基板的制造方法，包括:準備襯底基板，該襯底基板包括:顯示區(qū)域以及圍繞顯示區(qū)域的周邊區(qū)域；在襯底基板的同一側形成多條柵線、多條數據線、由多條柵線和數據線限定的多個像素區(qū)域、每個像素區(qū)域中的薄膜晶體管以及位于多個像素區(qū)域和周邊區(qū)域至少之一中的至少一個太陽能電池單元。
[0008]再一方面，本發(fā)明的實施例還提供一種有機發(fā)光二極管顯示裝置，包括:如上所述的陣列基板以及與陣列基板對置的相對基板。
【附圖說明】
[0009]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例的技術方案，下面將對實施例的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅涉及本發(fā)明的一些實施例，而非對本發(fā)明的限制。
[0010]圖1是太陽能電池的示意性工作原理圖；
[0011]圖2是根據本發(fā)明實施例的襯底基板的平面圖；
[0012]圖3是根據本發(fā)明實施例的像素區(qū)域設置有太陽能電池單元的陣列基板的示例性平面圖；
[0013]圖4是根據本發(fā)明實施例的太陽能電池單元的第一摻雜半導體層和薄膜晶體管的第二摻雜半導體層在同一層中的陣列基板的示意性截面圖；
[0014]圖5是根據本發(fā)明實施例的包括底柵型薄膜晶體管的陣列基板的示意性截面圖；
[0015]圖6是根據本發(fā)明實施例的PIN結構的太陽能電池單元的示意性截面圖；
[0016]圖7(a)_7(j)示出了根據本發(fā)明實施例的陣列基板的示例性制造方法的各步驟的截面圖。
【具體實施方式】
[0017]為使本發(fā)明實施例的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合本發(fā)明實施例的附圖，對本發(fā)明實施例的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于所描述的本發(fā)明的實施例，本領域普通技術人員在無需創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0018]除非另外定義，此處使用的技術術語或者科學術語應當為本發(fā)明所屬領域內具有一般技能的人士所理解的通常意義。本公開中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數量或者重要性，而只是用來區(qū)分不同的組成部分。同樣，“一個”、“一”或者“該”等類似詞語也不表示數量限制，而是表示存在至少一個。“包括”或者“包含”等類似的詞語意指出現該詞前面的元件或者物件涵蓋出現在該詞后面列舉的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“連接”或者“相連”等類似的詞語并非限定于物理的或者機械的連接，而是可以包括電性的連接，不管是直接的還是間接的。“上”、“下”、“左”、“右”等僅用于表示相對位置關系，當被描述對象的絕對位置改變后，則該相對位置關系也可能相應地改變。
[0019]本發(fā)明的實施例提供一種陣列基板、其制造方法以及有機發(fā)光二極管顯示裝置。
[0020]根據本發(fā)明實施例的陣列基板包括襯底基板，該襯底基板包括顯示區(qū)域和圍繞該顯示區(qū)域的周邊區(qū)域，其中該顯示區(qū)域包括由彼此交叉的多條數據線和多條柵線限定的成矩陣分布的多個像素區(qū)域，且每個像素區(qū)域中形成有薄膜晶體管。進一步地，該陣列基板還包括至少一個太陽能電池單元，該至少一個太陽能電池單元與所述薄膜晶體管位于所述襯底基板的同一側且形成在所述多個像素區(qū)域和所述周邊區(qū)域至少之一中。由于太陽能電池設置在陣列基板中，所以太陽能電池單元可以采用光刻工藝形成，進一步地，太陽能電池與薄膜晶體管形成在襯底基板的同一側，這樣，其可以與薄膜晶體管采用相同的工藝形成，從而可以在不增加工藝流程和制作材料的前提下，通過利用光刻工藝精細化的特點，將太陽能電池單元制作在薄膜晶體管陣列基板中，由此能夠降低制作成本、提高良率且使得產品易于實現。
[0021]進一步地，當陣列基板采用柔性襯底基板時，該陣列基板可以用于柔性顯示裝置，從而可以實現厚度薄、重量輕、可彎折甚至可卷曲的柔性顯示，使其能夠應用于手表、服裝、背包等穿戴產品中。尤其是，當該陣列基板應用于有機電致發(fā)光顯示裝置時，能夠獲得集成有太陽能電池的有機電致發(fā)光顯示裝置。
[0022]以下將結合附圖對本發(fā)明實施例提供的陣列基板、其制造方法以及有機發(fā)光二極管顯示裝置進行詳細說明，以使得本發(fā)明的技術方案更加清楚。
[0023]第一實施例
[0024]如圖2所示，陣列基板10包括襯底基板100，襯底基板100包括顯示區(qū)域102和圍繞顯示區(qū)域102的周邊區(qū)域101，其中如圖3所示，顯示區(qū)域102包括彼此交叉的多條數據線12和多條柵線11，將顯示區(qū)域102劃分為多個像素區(qū)域21，在每個像素區(qū)域21中設置有薄膜晶體管32。進一步地，襯底基板100上還形成有至少一個太陽能電池單元，該至少一個太陽能電池單元與薄膜晶體管32位于襯底基板100的同一側，且形成在多個像素區(qū)域21和周邊區(qū)域101至少之一中。
[0025]在本實施例中，至少一個太陽能電池單元可以設置在像素區(qū)域21中或者周邊區(qū)域101中，或者可以設置在像素區(qū)域21和周邊區(qū)域101 二者中。例如，如果有一個太陽能電池單元，則其可以設置在一個像素區(qū)域21或周邊區(qū)域101中；如果陣列基板10包括兩個或兩個以上的太陽能電池單元，則太陽能電池單元可以全部設置在像素區(qū)域21中或者全部設置在周邊區(qū)域101中，或者一部分設置在像素區(qū)域中而剩余部分設置在周邊區(qū)域101中。
[0026]進一步地，每個像素區(qū)域中可以僅設置有一個太陽能電池單元，也可以設置兩個或更多太陽能電池單元，本領域的技術人員可以在兼顧開口率等其他產品特征的前提下適當選擇，本發(fā)明的實施例不做具體限定。
[0027]圖3示出了根據本發(fā)明實施例的像素區(qū)域設置有太陽能電池單元的陣列基板的示例性平面圖，其中僅示出了三個像素區(qū)域，每個像素區(qū)域中設置有一個太陽能電池單元31，為了圖示方便，太陽能電池單元31和薄膜晶體管32由帶陰影的方框表示，但是這并非是指二者就是方框形狀的，方框僅表示的是二者的設置區(qū)域。由圖可見，太陽電池單元31和薄膜晶體管32設置在不同的區(qū)域，示例性地，為了不減小有效顯示區(qū)域，太陽能電