本技術(shù)屬于半導(dǎo)體封裝設(shè)備，具體涉及一種用于晶圓上下料的分體式治具。

背景技術(shù)：

1、在目前的半導(dǎo)體封裝設(shè)備中，所使用的用于晶圓上下料的治具為一體式結(jié)構(gòu)，在上下料時，治具上的四個定位pin會先與上模接觸，并且由于治具是一體的，整個治具都無法繼續(xù)上升；還會導(dǎo)致晶圓不能貼緊上模，使得晶圓與上模之間存在間隙，從而對產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生影響。此外，現(xiàn)有的一體式的治具中的八個夾爪無法被同時控制，會對晶圓的封裝精度產(chǎn)生影響。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實用新型的目的是提供一種用于晶圓上下料的分體式治具，能夠保證晶圓貼緊上模，有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量；同時還可同時控制治具中的多個夾爪，保證產(chǎn)品的封裝精度。

2、為了達(dá)到上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

3、一種用于晶圓上下料的分體式治具，包括底板和載物機(jī)構(gòu)，所述載物機(jī)構(gòu)包括第一基板、第二基板和抬升組件，所述抬升組件的一端與所述第二基板固定連接，所述抬升組件用于向上抬起所述第一基板和第二基板，使所述第一基板和第二基板遠(yuǎn)離所述底板；所述第一基板上固定設(shè)置有定位桿和多個夾爪組件，每個所述夾爪組件均包括夾爪、轉(zhuǎn)軸和齒輪，所述轉(zhuǎn)軸的一端與所述夾爪固定連接，所述轉(zhuǎn)軸的另一端與所述齒輪固定連接，多個所述夾爪組件中的夾爪之間設(shè)置有鏈條；所述第二基板用于放置晶圓；

4、所述載物機(jī)構(gòu)具有第一狀態(tài)、第二狀態(tài)和第三狀態(tài)，當(dāng)所述載物機(jī)構(gòu)處于所述第一狀態(tài)時，所述第一基板的頂面與所述第二基板的頂面貼合，所述第一基板到所述底板的距離為第一距離；當(dāng)所述載物機(jī)構(gòu)處于所述第二狀態(tài)時，所述第一基板的頂面與所述第二基板的頂面貼合，所述定位桿與半導(dǎo)體封裝設(shè)備的上模抵接，所述第一基板到所述底板的距離為第二距離，所述第二距離大于所述第一距離；當(dāng)所述載物機(jī)構(gòu)處于所述第三狀態(tài)時，所述第一基板與第二基板分離且所述第二基板位于所述第一基板的上方，所述定位桿與半導(dǎo)體封裝設(shè)備的上模抵接，所述第一基板到所述底板的距離為第三距離，所述第三距離等于所述第二距離。

5、通過設(shè)置抬升組件以及抬升組件與第一基板和第二基板之間的相互配合，在抬升組件的作用下，既能同時將第一基板和第二基板同時向上抬起，還能在第一基板上的定位桿與半導(dǎo)體封裝設(shè)備的上模抵接時，保持第一基板不動而繼續(xù)向上抬起第二基板，使得放在第二基板上的晶圓能夠繼續(xù)向上移動直至與上模貼緊，避免產(chǎn)生間隙而影響產(chǎn)品質(zhì)量。此外，通過設(shè)置鏈條使多個夾爪傳動連接，在人工手動轉(zhuǎn)動其中任意一個夾爪時，剩余夾爪能夠在鏈條的傳動作用下隨之同步轉(zhuǎn)動。

6、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，所述抬升組件包括支架、第一把手、橫桿及支撐桿，所述支架的底面與所述底板的頂面固定連接，所述第一把手與所述支架轉(zhuǎn)動連接，所述第一把手包括第一端和第二端，所述第一端位于所述第一基板和第二基板的外部，所述第二端位于所述第一基板與底板之間，所述第一端到所述支架的距離大于所述第二端到所述支架的距離；以所述第一把手與所述支架的連接處所在的水平面為基準(zhǔn)面，所述第一端由基準(zhǔn)面向上傾斜設(shè)置，所述第二端由基準(zhǔn)面向下傾斜設(shè)置；所述橫桿與所述第二端固定連接。

7、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，所述橫桿的兩端均固定設(shè)置有所述支撐桿，所述支撐桿遠(yuǎn)離所述橫桿的一端貫穿所述第一基板的厚度方向且與所述第二基板固定連接，所述支撐桿靠近所述第一基板的端部的外周套設(shè)有固定塊和固定柱，所述支撐桿與所述固定塊及固定柱滑動連接。

8、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，所述固定塊的一端與所述第一基板固定連接，所述固定塊的另一端與所述固定柱的一端固定連接；所述固定柱的外周套設(shè)有第一彈性件，所述第一彈性件的一端與所述固定塊靠近所述固定柱的一端抵接，所述第一彈性件的另一端與所述橫桿靠近所述第一基板的一端抵接。

9、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，當(dāng)所述載物機(jī)構(gòu)處于所述第一狀態(tài)、第二狀態(tài)和第三狀態(tài)時，所述第一彈性件均處于壓縮狀態(tài)。

10、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，所述抬升組件還包括設(shè)置在所述底板與第一基板之間的限位板，所述限位板包括板本體和垂直于所述板本體的延伸板，所述延伸板與所述板本體遠(yuǎn)離所述底板的一端固定連接，所述板本體遠(yuǎn)離所述第一基板的一端與所述底板固定連接。

11、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，所述延伸板遠(yuǎn)離所述板本體的一端由所述板本體靠近所述橫桿的一側(cè)向靠近所述橫桿的方向延伸，當(dāng)所述載物機(jī)構(gòu)處于所述第一狀態(tài)時，所述延伸板與第一基板之間具有間隙，所述橫桿位于所述延伸板的下方，所述延伸板遠(yuǎn)離所述板本體的一端到所述板本體的距離大于所述橫桿到所述板本體的距離。

12、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，所述夾爪組件還包括固定模組，所述轉(zhuǎn)軸與所述固定模組轉(zhuǎn)動連接，所述第一基板與所述固定模組固定連接。本實用新型的一些實施例中，固定模組包括旋轉(zhuǎn)軸承、固定套和固定框，旋轉(zhuǎn)軸承位于固定套的內(nèi)部且旋轉(zhuǎn)軸承的外壁與固定套的內(nèi)壁固定連接，固定框固定套設(shè)在固定套的外周，固定框與第一基板固定連接。

13、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，所述定位桿的底面與所述第一基板的頂面貼合，所述定位桿的長度大于所述第一基板和第二基板的厚度之和。

14、根據(jù)本實用新型的一些優(yōu)選實施方面，還包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)位于所述底板和第一基板之間，所述升降機(jī)構(gòu)包括套筒和連接軸，所述連接軸的一端與所述套筒滑動連接，所述連接軸的另一端與所述第一基板固定連接，所述套筒遠(yuǎn)離所述第一基板的一端與所述底板固定連接。

15、由于采用了以上的技術(shù)方案，相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的一種用于晶圓上下料的分體式治具，在抬升組件的作用下，既能同時將第一基板和第二基板同時向上抬起，還能在第一基板上的定位桿與半導(dǎo)體封裝設(shè)備的上模抵接時，保持第一基板不動而繼續(xù)向上抬起第二基板，使得放在第二基板上的晶圓能夠繼續(xù)向上移動直至與上模貼緊，避免產(chǎn)生間隙而影響產(chǎn)品質(zhì)量。此外，通過設(shè)置鏈條使多個夾爪傳動連接，在人工手動轉(zhuǎn)動其中任意一個夾爪時，剩余夾爪能夠在鏈條的傳動作用下隨之同步轉(zhuǎn)動，能夠同時控制治具中的多個夾爪，有利于保證產(chǎn)品的封裝精度。

技術(shù)特征：

1.一種用于晶圓上下料的分體式治具，其特征在于，包括底板和載物機(jī)構(gòu)，所述載物機(jī)構(gòu)包括第一基板、第二基板和抬升組件，所述抬升組件的一端與所述第二基板固定連接，所述抬升組件用于向上抬起所述第一基板和第二基板，使所述第一基板和第二基板遠(yuǎn)離所述底板；所述第一基板上固定設(shè)置有定位桿和多個夾爪組件，每個所述夾爪組件均包括夾爪、轉(zhuǎn)軸和齒輪，所述轉(zhuǎn)軸的一端與所述夾爪固定連接，所述轉(zhuǎn)軸的另一端與所述齒輪固定連接，多個所述夾爪組件中的齒輪之間設(shè)置有鏈條；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式治具，其特征在于，所述抬升組件包括支架、第一把手、橫桿及支撐桿，所述支架的底面與所述底板的頂面固定連接，所述第一把手與所述支架轉(zhuǎn)動連接，所述第一把手包括第一端和第二端，所述第一端位于所述第一基板和第二基板的外部，所述第二端位于所述第一基板與底板之間，所述第一端到所述支架的距離大于所述第二端到所述支架的距離；以所述第一把手與所述支架的連接處所在的水平面為基準(zhǔn)面，所述第一端由基準(zhǔn)面向上傾斜設(shè)置，所述第二端由基準(zhǔn)面向下傾斜設(shè)置；所述橫桿與所述第二端固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分體式治具，其特征在于，所述橫桿的兩端均固定設(shè)置有所述支撐桿，所述支撐桿遠(yuǎn)離所述橫桿的一端貫穿所述第一基板的厚度方向且與所述第二基板固定連接，所述支撐桿靠近所述第一基板的端部的外周套設(shè)有固定塊和固定柱，所述支撐桿與所述固定塊及固定柱滑動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分體式治具，其特征在于，所述固定塊的一端與所述第一基板固定連接，所述固定塊的另一端與所述固定柱的一端固定連接；所述固定柱的外周套設(shè)有第一彈性件，所述第一彈性件的一端與所述固定塊靠近所述固定柱的一端抵接，所述第一彈性件的另一端與所述橫桿靠近所述第一基板的一端抵接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分體式治具，其特征在于，當(dāng)所述載物機(jī)構(gòu)處于所述第一狀態(tài)、第二狀態(tài)和第三狀態(tài)時，所述第一彈性件均處于壓縮狀態(tài)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分體式治具，其特征在于，所述抬升組件還包括設(shè)置在所述底板與第一基板之間的限位板，所述限位板包括板本體和垂直于所述板本體的延伸板，所述延伸板與所述板本體遠(yuǎn)離所述底板的一端固定連接，所述板本體遠(yuǎn)離所述第一基板的一端與所述底板固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分體式治具，其特征在于，所述延伸板遠(yuǎn)離所述板本體的一端由所述板本體靠近所述橫桿的一側(cè)向靠近所述橫桿的方向延伸，當(dāng)所述載物機(jī)構(gòu)處于所述第一狀態(tài)時，所述延伸板與第一基板之間具有間隙，所述橫桿位于所述延伸板的下方，所述延伸板遠(yuǎn)離所述板本體的一端到所述板本體的距離大于所述橫桿到所述板本體的距離。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式治具，其特征在于，所述夾爪組件還包括固定模組，所述轉(zhuǎn)軸與所述固定模組轉(zhuǎn)動連接，所述第一基板與所述固定模組固定連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式治具，其特征在于，所述定位桿的底面與所述第一基板的頂面貼合，所述定位桿的長度大于所述第一基板和第二基板的厚度之和。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式治具，其特征在于，還包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)位于所述底板和第一基板之間，所述升降機(jī)構(gòu)包括套筒和連接軸，所述連接軸的一端與所述套筒滑動連接，所述連接軸的另一端與所述第一基板固定連接，所述套筒遠(yuǎn)離所述第一基板的一端與所述底板固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于晶圓上下料的分體式治具，包括底板和載物機(jī)構(gòu)，載物機(jī)構(gòu)包括第一基板、第二基板和抬升組件，抬升組件的一端與第二基板固定連接，抬升組件用于向上抬起第一基板和第二基板；第一基板上固定設(shè)置有定位桿和多個夾爪組件，每個夾爪組件均包括夾爪、轉(zhuǎn)軸和齒輪，轉(zhuǎn)軸的一端與夾爪固定連接，轉(zhuǎn)軸的另一端與齒輪固定連接，多個夾爪組件中的齒輪之間設(shè)置有鏈條。本技術(shù)的分體式治具，在抬升組件的作用下，能同時將第一基板和第二基板同時向上抬起，還能在定位桿與上模抵接時，保持第一基板不動而繼續(xù)向上抬起第二基板直至晶圓與上模貼緊，避免產(chǎn)生間隙而影響產(chǎn)品質(zhì)量。多個夾爪之間由鏈條傳動連接，可同時控制多個夾爪動作。

技術(shù)研發(fā)人員：張洪棋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東和半導(dǎo)體設(shè)備研究開發(fā)（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2024/12/12