本技術(shù)涉及半導(dǎo)體襯底材料制造，特別是涉及一種掰邊設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、磷化銦襯底在多個領(lǐng)域具有應(yīng)用市場，包括高頻高功率器件制造、光纖通信、無線傳輸、射電天文學(xué)等射頻器件領(lǐng)域。使用磷化銦襯底制造的射頻器件在衛(wèi)星、雷達(dá)等應(yīng)用場景中表現(xiàn)出卓越性能，尤其在雷達(dá)和通信系統(tǒng)的射頻前端、模擬/混合信號寬帶寬電路方面具有強勁競爭力，適用于高速數(shù)據(jù)處理和高精度寬帶寬a/d轉(zhuǎn)換等應(yīng)用。

2、然而，當(dāng)前磷化銦切片加工過程中，拋光工序中的化蠟步驟費時費力，而磷化銦切片完切圓的掰邊工作主要依賴人工。員工需使用金剛石刀將不規(guī)則晶片手動掰成方形，耗時且效率低下。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有的掰邊工作需人工使用金剛石刀將不規(guī)則晶片手動掰成方形，耗時且效率低下。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種掰邊設(shè)備，包括；

3、設(shè)備本體；

4、第一機械手，包括用于調(diào)節(jié)位姿的第一機械臂，所述第一機械臂設(shè)置于所述設(shè)備本體；

5、掰邊組件，包括支撐結(jié)構(gòu)以及掰邊刀具，所述支撐結(jié)構(gòu)安裝于所述第一機械臂的末端，所述掰邊刀具安裝于所述支撐結(jié)構(gòu)；以及

6、第二機械手，包括用于調(diào)節(jié)位姿的第二機械臂以及托盤，所述第二機械臂安裝于所述設(shè)備本體，所述第二機械臂的末端安裝有所述托盤。

7、在一些實施例中，所述支撐結(jié)構(gòu)包括第一支架、兩個第一驅(qū)動件以及滑動安裝于所述第一支架兩端的兩個第二支架，所述第一支架安裝于所述第一機械臂的末端，所述第一驅(qū)動件安裝于所述第一支架，所述第一支架具有第一滑軌，所述第二支架與所述第一支架的第一滑軌滑動連接，每一所述第一驅(qū)動件的輸出軸與對應(yīng)的所述第二支架連接，以驅(qū)動所述第二支架沿著所述第一滑軌滑動，兩個所述第二支架間隔設(shè)置，且所述掰邊刀具安裝于一所述第二支架，且所述掰邊刀具的刀頭朝向另一所述第二支架。

8、在一些實施例中，所述設(shè)備本體具有滑動槽；

9、所述第一機械手還包括第二驅(qū)動件、第二滑軌、第一滑塊、第三驅(qū)動件以及第三滑軌，所述第一機械臂安裝于所述第二滑軌上，所述第二驅(qū)動件的輸出軸與所述第一機械臂連接，以驅(qū)動所述第一機械臂于所述第二滑軌上滑動；

10、所述第二滑軌安裝于所述第一滑塊，所述第一滑塊安裝于所述第三滑軌上，所述第三驅(qū)動件的輸出軸與所述第一滑塊連接，以驅(qū)動所述第一滑塊于所述第三滑軌上滑動。

11、在一些實施例中，所述滑動槽呈十字狀。

12、在一些實施例中，所述第一機械臂包括第一底座、第四驅(qū)動件、第四滑軌、第二滑塊以及第一支撐臂，所述第一底座具有安裝槽，所述第四滑軌安裝于所述安裝槽的槽壁，所述第二滑塊滑動安裝于所述第四滑軌，所述第一支撐臂安裝于所述第二滑塊，所述第四驅(qū)動件安裝于所述安裝槽內(nèi)，且所述第四驅(qū)動件的輸出軸與所述第二滑塊連接，用于驅(qū)動所述第二滑塊相對于所述第四滑軌滑動，以帶動所述第一支撐臂伸出或縮回所述安裝槽，所述掰邊組件安裝于所述第一支撐臂的末端。

13、在一些實施例中，所述第一機械臂還包括第二支撐臂，所述第二支撐臂與所述第一支撐臂連接，且所述第二支撐臂與所述第一支撐臂垂直設(shè)置，所述掰邊組件安裝于所述第二支撐臂的末端。

14、在一些實施例中，所述第二機械臂包括第二底座、第三支撐臂、第五驅(qū)動件、第四支撐臂以及第六驅(qū)動件，所述第二底座安裝于所述設(shè)備本體，所述第五驅(qū)動件安裝于所述第二底座，且所述第三支撐臂通過所述第五驅(qū)動件與所述第二底座轉(zhuǎn)動連接，所述第六驅(qū)動件安裝于所述第三支撐臂，且所述第四支撐臂通過所述第六驅(qū)動件與所述第三支撐臂轉(zhuǎn)動連接，所述托盤安裝于所述第四支撐臂末端。

15、在一些實施例中，所述第二機械臂還包括夾持臂以及第七驅(qū)動件，所述第七驅(qū)動件與所述夾持臂安裝于所述第四支撐臂，所述第七驅(qū)動件的輸出軸與所述夾持臂連接，以驅(qū)動所述夾持臂張開以松開所述托盤或夾緊以及夾持所述托盤。

16、在一些實施例中，所述夾持臂包括安裝座以及與所述安裝座活動連接的兩個夾臂，所述安裝座安裝于所述第四支撐臂末端，所述第七驅(qū)動件穿過所述安裝座與兩個所述夾持臂連接，以驅(qū)動兩個所述夾持臂相對靠近或遠(yuǎn)離。

17、在一些實施例中，所述托盤具有供廢料通過的卸料孔。

18、本實用新型實施例一種掰邊設(shè)備與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于：

19、本實用新型實施例的第二機械臂帶動托盤將晶片傳送到掰邊刀具的下方，此時隨著第一機械手的位姿調(diào)整帶動掰邊刀具于晶片表面滑動，以畫出掰邊軌跡，隨后隨著掰邊刀具在對晶片多余的位置施力，以將多余的廢料掰掉，完成掰邊工作，本實施例利用自動化的方式代替人工手動掰邊，降低了掰邊工作的工時，提高了工作效率。

技術(shù)特征：

1.一種掰邊設(shè)備，其特征在于，包括；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)包括第一支架、兩個第一驅(qū)動件以及滑動安裝于所述第一支架兩端的兩個第二支架，所述第一支架安裝于所述第一機械臂的末端，所述第一驅(qū)動件安裝于所述第一支架，所述第一支架具有第一滑軌，所述第二支架與所述第一支架的第一滑軌滑動連接，每一所述第一驅(qū)動件的輸出軸與對應(yīng)的所述第二支架連接，以驅(qū)動所述第二支架沿著所述第一滑軌滑動，兩個所述第二支架間隔設(shè)置，且所述掰邊刀具安裝于一所述第二支架，且所述掰邊刀具的刀頭朝向另一所述第二支架。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備本體具有滑動槽；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述滑動槽呈十字狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述第一機械臂包括第一底座、第四驅(qū)動件、第四滑軌、第二滑塊以及第一支撐臂，所述第一底座具有安裝槽，所述第四滑軌安裝于所述安裝槽的槽壁，所述第二滑塊滑動安裝于所述第四滑軌，所述第一支撐臂安裝于所述第二滑塊，所述第四驅(qū)動件安裝于所述安裝槽內(nèi)，且所述第四驅(qū)動件的輸出軸與所述第二滑塊連接，用于驅(qū)動所述第二滑塊相對于所述第四滑軌滑動，以帶動所述第一支撐臂伸出或縮回所述安裝槽，所述掰邊組件安裝于所述第一支撐臂的末端。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述第一機械臂還包括第二支撐臂，所述第二支撐臂與所述第一支撐臂連接，且所述第二支撐臂與所述第一支撐臂垂直設(shè)置，所述掰邊組件安裝于所述第二支撐臂的末端。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述第二機械臂包括第二底座、第三支撐臂、第五驅(qū)動件、第四支撐臂以及第六驅(qū)動件，所述第二底座安裝于所述設(shè)備本體，所述第五驅(qū)動件安裝于所述第二底座，且所述第三支撐臂通過所述第五驅(qū)動件與所述第二底座轉(zhuǎn)動連接，所述第六驅(qū)動件安裝于所述第三支撐臂，且所述第四支撐臂通過所述第六驅(qū)動件與所述第三支撐臂轉(zhuǎn)動連接，所述托盤安裝于所述第四支撐臂末端。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述第二機械臂還包括夾持臂以及第七驅(qū)動件，所述第七驅(qū)動件與所述夾持臂安裝于所述第四支撐臂，所述第七驅(qū)動件的輸出軸與所述夾持臂連接，以驅(qū)動所述夾持臂張開以松開所述托盤或夾緊以及夾持所述托盤。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述夾持臂包括安裝座以及與所述安裝座活動連接的兩個夾臂，所述安裝座安裝于所述第四支撐臂末端，所述第七驅(qū)動件穿過所述安裝座與兩個所述夾持臂連接，以驅(qū)動兩個所述夾持臂相對靠近或遠(yuǎn)離。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掰邊設(shè)備，其特征在于，所述托盤具有供廢料通過的卸料孔。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種掰邊設(shè)備，包括設(shè)備本體、第一機械手、掰邊組件以及第二機械手，第一機械手包括用于調(diào)節(jié)位姿的第一機械臂，第一機械臂設(shè)置于設(shè)備本體；掰邊組件包括支撐結(jié)構(gòu)以及掰邊刀具，支撐結(jié)構(gòu)安裝于第一機械臂的末端，掰邊刀具安裝于支撐結(jié)構(gòu)；第二機械手包括用于調(diào)節(jié)位姿的第二機械臂以及托盤，第二機械臂安裝于設(shè)備本體，第二機械臂的末端安裝有托盤。本技術(shù)實施例的第二機械臂帶動托盤將晶片傳送到掰邊刀具的下方，此時隨著第一機械手的位姿調(diào)整帶動掰邊刀具于晶片表面滑動，以畫出掰邊軌跡，隨后隨著掰邊刀具在對晶片多余的位置施力，將多余廢料掰掉，利用自動化方式代替人工手動掰邊，降低掰邊工作的工時，提高了工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭金龍,唐勇,黃藝毅,周鐵軍,馬金峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東先導(dǎo)微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231228
技術(shù)公布日：2024/12/19