1.一種硅片快速冷卻裝置，其特征在于：包括輸送帶(1)以及設(shè)于所述輸送帶(1)上用于承載硅片的鋁制承載盒(2)和用于冷卻硅片的冷卻機(jī)構(gòu)，所述輸送帶(1)沿長度方向上均勻設(shè)有多個(gè)所述承載盒(2)，所述承載盒(2)底部與所述輸送帶(1)外表面固定連接，所述承載盒(2)內(nèi)設(shè)有空腔，所述承載盒(2)遠(yuǎn)離所述輸送帶(1)的一端設(shè)有開口，所述開口與所述空腔連通，所述承載盒(2)內(nèi)壁上鋪設(shè)有一層薄膜(3)，所述薄膜(3)與所述承載盒(2)內(nèi)壁之間填充有冷卻劑，所述冷卻機(jī)構(gòu)包括保溫腔(4)以及設(shè)于所述保溫腔(4)內(nèi)的冷卻管(5)，所述保溫腔(4)沿所述輸送帶(1)長度方向套設(shè)于所述輸送帶(1)外側(cè)，所述冷卻管(5)呈螺旋狀繞設(shè)于所述輸送帶(1)外側(cè)，所述冷卻管(5)內(nèi)設(shè)有冷卻劑，所述冷卻管(5)兩端與換熱器(6)連接。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片快速冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)所述冷卻管(5)，所述冷卻管(5)交叉設(shè)置于所述輸送帶(1)外側(cè)，兩所述冷卻管(5)中冷卻劑流向相反，所述冷卻管(5)中輸入端向輸出端方向螺距逐漸變大。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片快速冷卻裝置，其特征在于：所述承載盒(2)傾斜設(shè)于所述輸送帶(1)上，傾斜角度設(shè)于45°～60°之間。
4.如權(quán)利要求3所述的硅片快速冷卻裝置，其特征在于：所述承載盒(2)沿所述輸送帶(1)寬度方向的側(cè)壁上設(shè)有便于吸盤裝片和取片的凹槽(2-1)，所述凹槽(2-1)與所述開口連通。