技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于晶片氧化的石英舟，包括舟底架，所述舟底架包括支撐架以及設(shè)置在支撐架一端的三角掛鉤，所述支撐架上均勻設(shè)置有分檔桿組件，所述支撐架包括兩個(gè)平行設(shè)置的承載桿，所述分檔桿組件包括設(shè)置在兩承載桿之間的連接桿、設(shè)置在承載桿上部的支撐桿以及設(shè)置在支撐桿頂部的分檔桿。本實(shí)用新型中承載桿上是沒(méi)有設(shè)置在容納晶片的容納槽的，在加上分檔桿的設(shè)置，大大提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)量，降低了成本，相應(yīng)的提高了成品率。

技術(shù)研發(fā)人員：魏興政;李浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：濟(jì)南蘭星電子有限公司
文檔號(hào)碼：201720310573
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.28
技術(shù)公布日：2017.11.10