技術(shù)編號：12909040
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于晶片氧化的石英舟。背景技術(shù)在半導(dǎo)體器件制造工藝中，常在晶片表面生長一層氧化層，用來保護器件表面，二極管芯片制造也如此。目前GPP二極管芯片氧化工序，大多采用單槽插片氧化方法，此方法存在以下缺點：1、每爐產(chǎn)量低，批量生產(chǎn)效率低，成本相對較高；2、操作過程中石英舟對晶片邊緣損傷較大，最終導(dǎo)致成品率下降。實用新型內(nèi)容本實用新型針對上述的問題，提供了一種用于晶片氧化的石英舟。為了達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案為，本實用新型提供一種用于晶片氧化的石...
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