技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種用于擴散爐的加熱裝置，包括導(dǎo)熱管體和傳熱至導(dǎo)熱管體的加熱元件，導(dǎo)熱管體的進氣口經(jīng)第一單向閥與一載氣源連接以從載氣源接收載氣，導(dǎo)熱管體的出氣口經(jīng)第二單向閥與一擴散爐連接以向擴散爐輸送載氣。通過增設(shè)一加熱裝置，當(dāng)擴散爐爐門打開后，加熱裝置中的高溫載氣通入擴散爐中，可以較快速的使晶體硅太陽能電池溫度達到工藝要求，并保持管內(nèi)氣氛的穩(wěn)定，減少升溫的時間，可以提升單位時間內(nèi)的產(chǎn)能。本實用新型還提供一種保溫擴散爐系統(tǒng)，包括載氣源、擴散源、進氣管、擴散爐以及上述加熱裝置，載氣源中載氣攜帶擴散源中擴散元素經(jīng)進氣管均勻輸送至擴散爐中，載氣源中載氣經(jīng)加熱裝置加熱后輸送至擴散爐中。

技術(shù)研發(fā)人員：沈波濤;楊健;黨紀(jì)東
受保護的技術(shù)使用者：蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司
文檔號碼：201720288379
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.23
技術(shù)公布日：2017.10.13