本實用新型涉及導(dǎo)模法藍寶石單晶生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是一種藍寶石爐石墨加熱裝置。

背景技術(shù)：

藍寶石是一種簡單配位型氧化物晶體。具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，被廣泛的應(yīng)用于民用航天、半導(dǎo)體襯底、紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強度激光的窗口材料等，同時晶體生長設(shè)備-單晶生長爐也隨之得到了飛速的發(fā)展。

藍寶石單晶生長爐行業(yè)，國內(nèi)導(dǎo)模法都是采用線圈感應(yīng)線圈為加熱源，由于線圈形狀的穩(wěn)定性，長期生產(chǎn)的變形等因素，對溫度場的穩(wěn)定性帶來變化，不利于工藝穩(wěn)定性。我公司的導(dǎo)模法藍寶石爐為多片式，對溫度場的穩(wěn)定性尤其要求更高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種藍寶石爐石墨加熱裝置，對溫度場的穩(wěn)定性能提供更好的保證。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型包括：石墨電阻加熱器和一對正、負(fù)石墨電極，其中：石墨電阻加熱器形狀為圓筒形，圓筒形展開后的模擬中心線為矩形波形狀，矩形波形狀的波峰和波谷為加厚結(jié)構(gòu)，正、負(fù)石墨電極對稱設(shè)置于石墨電阻加熱器的兩端。

所述的正、負(fù)石墨電極通過螺紋與石墨電阻加熱器連接。

本實用新型高溫下形狀穩(wěn)定性好，長期使用也能很好保證穩(wěn)定形狀，本實用新型對多片式導(dǎo)模法藍寶石爐，能提供更穩(wěn)定的加熱源，對溫度場的穩(wěn)定性能提供更好的保證。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細(xì)說明。

如圖1所示，本實施例包括：石墨電阻加熱器1和一對正、負(fù)石墨電極2，其中：石墨電阻加熱器1形狀為圓筒形，圓筒形展開后的模擬中心線為矩形波形狀，矩形波形狀的波峰和波谷為加厚結(jié)構(gòu)，正、負(fù)石墨電極2對稱設(shè)置于石墨電阻加熱器1的兩端。

所述的正、負(fù)石墨電極2通過螺紋與石墨電阻加熱器1連接。

以上已對本實用新型創(chuàng)造的較佳實施例進行了具體說明，但本實用新型創(chuàng)造并不限于所述的實施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本實用新型創(chuàng)造精神的前提下還可以作出種種的等同的變型或替換，這些等同變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。