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一種用于低能電子顯微鏡的樣品座的制作方法

文檔序號(hào):12909030閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于低能電子顯微鏡的樣品座,包括樣品帽(1)、第一陶瓷支架(7)和第二陶瓷支架(9),其特征是:在樣品帽(1)與第一陶瓷支架(7)之間還設(shè)有樣品支撐架(2),樣品帽(1)與樣品支撐架(2)之間用彈簧片(13)連接,樣品支撐架(2)通過(guò)螺紋與第一陶瓷支架(7)連接;在樣品支撐架(2)內(nèi)設(shè)有加熱絲屏蔽罩(3)和加熱絲屏蔽罩支撐桿(5),加熱絲屏蔽罩(3)裝在加熱絲屏蔽罩支撐桿(5)頂端,第一加熱絲電極(4)接在加熱絲屏蔽罩(3)上;加熱絲(10)置于加熱絲屏蔽罩(3)內(nèi),加熱絲(10)兩端分別連接在加熱絲屏蔽罩(3)和第二加熱絲電極(11)上,第一加熱絲電極(4)和第二加熱絲電極(11)分別通過(guò)電極連接片(8)接在與電源相連的兩個(gè)電極插頭(6)上;在樣品支撐架(2)的內(nèi)壁上固定有用鉭箔制成的熱屏蔽罩(18)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于低能電子顯微鏡的樣品座,其特征是:所述的樣品支撐架(2)中部為鏤空架構(gòu)(14)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于低能電子顯微鏡的樣品座,其特征是:所述的加熱絲屏蔽罩(3)底部圓頭螺釘(19)頂面有凸起。

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