技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)一種靜電吸附拾取夾具系統(tǒng)，包括可對(duì)微薄片進(jìn)行篩選的篩選平臺(tái)、可對(duì)篩選平臺(tái)上的微薄片進(jìn)行靜電吸附并轉(zhuǎn)移的靜電吸附夾具、可對(duì)被靜電吸附的微薄片去除靜電的去靜電平臺(tái)。具體地，篩選平臺(tái)包括可承載微薄片的負(fù)極板載物臺(tái)，以及位于負(fù)極板載物臺(tái)下方并帶有正電荷的篩選正極板；靜電吸附夾具設(shè)有帶有正電荷的夾具正極板，去靜電平臺(tái)包括靜電載物臺(tái)以及位于下方的電容極板。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型能夠有效解決納米級(jí)成品進(jìn)行準(zhǔn)確搬移的技術(shù)問(wèn)題，能夠有效篩選成品、有效吸附成品以及緩降定位等優(yōu)點(diǎn)，能夠提高生產(chǎn)效率以及保證成品完整性。

技術(shù)研發(fā)人員：張一博;劉強(qiáng);姚建華;盧詩(shī)毅;喻里程;劉浩;劉震;張霞峰;張根明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201720183071
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.28
技術(shù)公布日：2017.10.13