1.一種晶圓背面刷膠裝置，其特征在于其包含：
真空吸盤，經(jīng)配置以具有真空吸附區(qū)域；
夾具，經(jīng)配置以設(shè)置于所述真空吸盤上，所述夾具進(jìn)一步包含：
上定位部，具有：
第一上表面；以及
第一下表面，其與該第一上表面相對；
收容槽，其至少貫穿該第一上表面至該第一下表面；以及
下定位部，具有：
第二上表面；
第二下表面，其與該第二上表面相對；以及
若干真空孔，貫穿該第二上表面至該第二下表面，且經(jīng)配置以與所述真空吸附區(qū)域相通以將待刷膠的晶圓真空吸附于所述收容槽中；以及
刷膠網(wǎng)，其經(jīng)配置以具有刷膠孔，且經(jīng)配置以當(dāng)刷膠作業(yè)時所述刷膠孔與所述收容槽對準(zhǔn)以將所述待刷膠的晶圓暴露于所述刷膠孔。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓背面刷膠裝置，其中所述收容槽可進(jìn)一步延伸至所述下定位部而自所述第二上表面向下凹陷一定深度。
3.如權(quán)利要求1或2所述的晶圓背面刷膠裝置，其中所述收容槽的深度與所述待刷膠的晶圓的厚度相同。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓背面刷膠裝置，其中所述收容槽的開口直徑比所述待刷膠的晶圓的直徑大1mm，所述刷膠網(wǎng)的刷膠孔直徑大于等于所述待刷膠的晶圓的直徑。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓背面刷膠裝置，其中所述上定位部與所述下定位部是分離或一體成型的。
6.一種用于晶圓背面刷膠的夾具，其特征在于其包含：
上定位部，具有：
第一上表面；以及
第一下表面，其與該第一上表面相對；
收容槽，其至少貫穿該第一上表面至該第一下表面；以及
下定位部，具有：
第二上表面；
第二下表面，其與該第二上表面相對；以及
若干真空孔，貫穿該第二上表面至該第二下表面，且經(jīng)配置以將待刷膠的晶圓真空吸附于所述收容槽。
7.如權(quán)利要求6所述的夾具，其中所述收容槽可進(jìn)一步延伸至所述下定位部而自所述第二上表面向下凹陷一定深度。
8.如權(quán)利要求6或7所述的夾具，其中所述收容槽的深度與所述待刷膠的晶圓的厚度相同。
9.如權(quán)利要求6所述的夾具，其中所述收容槽的開口直徑比所述待刷膠的晶圓的直徑大1mm，刷膠網(wǎng)的刷膠孔直徑大于等于所述待刷膠的晶圓的直徑。
10.如權(quán)利要求6所述的夾具，其中所述上定位部與所述下定位部是分離或一體成型的。