技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種陣列基板和陣列基板的制備方法,所述陣列基板包括基底和形成在基底上的源極、漏極、有源層和鈍化層,通過將有源層覆蓋源極和/或漏極,且鈍化層覆蓋有源層,從而在鈍化層的沉積過程中,沉積氣體中氧離子僅與有源層接觸,且不會與源極和漏極接觸,相應(yīng)氧離子不會氧化源極和漏極的材料,進(jìn)而在保證陣列基板的電學(xué)特性的前提下,減小陣列基板的信號延遲量,相應(yīng)提高顯示面板的顯示效果。
技術(shù)研發(fā)人員:孫雙
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.08.29
技術(shù)公布日:2017.11.07