技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種用于相變記憶體芯片的薄膜、開關材料及其制備方法，屬于材料領域。開關材料包括摻雜有碳納米管的硫族元素化合物。通過引入碳納米管，使得該材料的導熱性能和導電性能明顯改善，但又不改變其作為開關材料的I?V曲線的特征。因此在該混合材料制成的靶材后續(xù)加工的過程中，其可加工性得到了極大的改進，良率和生產(chǎn)率得到了很大的提高，同時，由該種靶材濺射成的薄膜還保持著納秒級開關材料的性能，用于制作以相變材料為基礎的記憶體芯片。

技術(shù)研發(fā)人員：李宗雨;丘立安
受保護的技術(shù)使用者：成都先鋒材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.19
技術(shù)公布日：2017.10.27