本發(fā)明涉及一種發(fā)光裝置以及其制造方法，特別涉及一種具有曲面的發(fā)光裝置。

背景技術(shù)：

目前，對有機el（electroluminescence：電致發(fā)光）元件的研究開發(fā)日益火熱。有機el元件（下面，也稱為el元件或發(fā)光元件）的基本結(jié)構(gòu)是在一對電極之間夾持包含發(fā)光有機化合物的層的結(jié)構(gòu)。通過對該元件施加電壓，可以得到來自發(fā)光有機化合物的發(fā)光。

作為應(yīng)用有機el元件的發(fā)光裝置，例如可以舉出照明裝置以及包括薄膜晶體管的組合的圖像顯示裝置等。

因為有機el元件可以形成為膜狀，所以可以容易形成大面積的元件。因此，作為能夠應(yīng)用于照明等的面光源的利用價值也高。例如，專利文獻(xiàn)1公開了使用有機el元件的照明設(shè)備。

此外，因為應(yīng)用有機el元件的圖像顯示裝置不需要液晶顯示裝置等所需要的背光燈，所以可以實現(xiàn)薄型、輕量、高對比度且低耗電量的顯示裝置。

當(dāng)形成有機el元件時，作為在形成于具有絕緣表面的襯底上的下部電極上形成包含發(fā)光有機化合物的層的方法，例如有真空蒸鍍法或涂敷法等。此外，作為形成下部電極及上部電極的方法，除了真空蒸鍍法或濺射法之外還有涂敷法、印刷法等。

近年來，發(fā)光裝置的形狀被要求具有多樣化。作為其中之一，有具有曲面的發(fā)光裝置。通過使發(fā)光裝置具有曲面，使設(shè)計性及通用性得到提高而使設(shè)置部分或組裝的部件的形狀的自由度也得到提高。例如，可以沿著建筑物或汽車的內(nèi)部裝修或外部裝修的曲面組裝照明裝置及顯示裝置。此外，可以應(yīng)用于各種用途，諸如腕帶等能夠佩戴的照明裝置或顯示裝置；以及具備具有曲面的顯示部的移動電話或平板終端等的便攜式終端等。

[專利文獻(xiàn)1]日本專利申請公開2009-130132號公報。

在此，當(dāng)按順序?qū)盈B形成構(gòu)成el元件的下部電極、包含發(fā)光有機化合物的層和上部電極時，需要在襯底面內(nèi)使它們各自的厚度為均勻。當(dāng)在襯底面內(nèi)它們各自的厚度不均勻時，可能在襯底面內(nèi)產(chǎn)生發(fā)光亮度的分布的不均勻。特別是，在被夾持在電極之間的包含發(fā)光有機化合物的層的厚度薄的部分，有因電場集中而使亮度增高或產(chǎn)生短路的憂慮。另一方面，在被夾持在電極之間的包含發(fā)光有機化合物的層的厚度厚的部分，有因發(fā)光所需要的電壓增高而使亮度降低或形成非發(fā)光的區(qū)域等的憂慮。

然而，在具有曲面的襯底形成el元件時，難以使其厚度均勻地形成構(gòu)成el元件的下部電極、包含發(fā)光有機化合物的層及上部電極。例如，當(dāng)采用真空蒸鍍法、濺射法時，依賴于蒸鍍源或靶材和被形成面之間的距離及角度而形成的膜的成膜速度不同。此外，就裝置的結(jié)構(gòu)而言，將涂敷法及印刷法應(yīng)用于具有曲面的襯底是極為困難的。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明鑒于上述技術(shù)背景而被提出。因此，本發(fā)明的課題之一是提供具備彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置。此外，本發(fā)明的課題之一是提供可靠性高的發(fā)光裝置。

本發(fā)明的一個方式解決上述課題中的至少一個。

為了解決上述課題，本發(fā)明著眼于形成發(fā)光元件的襯底的材料。作為襯底使用具有可塑性的襯底，在使襯底為平坦的狀態(tài)下形成發(fā)光元件，并且在具有彎曲的表面的支撐體的該表面使形成有上述發(fā)光元件的襯底彎曲而配置。然后，在使襯底彎曲的狀態(tài)下形成保護發(fā)光元件的保護層，即可。

注意，本說明書等中所示的“曲面”是指通過改變平面的形狀而不使平面伸縮來得到的曲面。換言之，在曲面上的任意的點上可以與平面以線接觸的曲面。在此，本說明書等中所示的曲面不包括不能通過改變平面的形狀而不使平面伸縮來得到的曲面（所謂的三維曲面）。

通過采用上述方法，可以制造具備彎曲的發(fā)光面的照明裝置或顯示裝置等的發(fā)光裝置。

所制造的發(fā)光裝置即使在形成保護層之后從支撐體分離也可以由可塑襯底保持其形態(tài)。因此，發(fā)光裝置可以用作具備與支撐體的彎曲面同樣彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置。

換言之，本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置包括：具有彎曲的表面且具有可塑性的襯底；形成在襯底的表面上的在一對電極之間具備發(fā)光層的發(fā)光元件；覆蓋發(fā)光元件的密封層；以及與密封層上接觸的保護層。

這種結(jié)構(gòu)的發(fā)光裝置由具備彎曲的發(fā)光面且覆蓋發(fā)光元件的密封層及與密封層上接觸的保護層抑制來自外部的水等雜質(zhì)的擴散，而成為可靠性高的發(fā)光裝置。

此外，本發(fā)明的另一個方式的發(fā)光裝置包括：具有彎曲的表面且具有可塑性的襯底；包括形成在襯底的表面上且在一對電極之間具備發(fā)光層的發(fā)光元件及晶體管的多個像素；覆蓋發(fā)光元件的密封層；以及與密封層上接觸的保護層。

此外，像這樣，本發(fā)明的一個方式可以應(yīng)用于設(shè)置有組合晶體管和發(fā)光元件的多個像素的發(fā)光裝置（也稱為圖像顯示裝置）。這種發(fā)光裝置可以貼附在建筑物或車輛等的彎曲的墻面或天花板而使用，也可以實現(xiàn)設(shè)計性高的便攜式終端等的電子設(shè)備。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置中，襯底包含金屬材料或合金材料。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置中，襯底包含選自鋁、銅、鐵、鎳、鈦、鎂中的至少一種。

像這樣，通過作為設(shè)置有發(fā)光裝置的襯底使用導(dǎo)熱性高的金屬材料或合金材料，可以提高放熱性。因此，即使長時間使用也可以抑制發(fā)光裝置的發(fā)熱，所以可以提供可靠性高的發(fā)光裝置。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置中，在發(fā)光元件和襯底之間具備平坦化層。

此外，像這樣，當(dāng)在發(fā)光元件的襯底一側(cè)設(shè)置平坦化層時，構(gòu)成發(fā)光元件的層的厚度的均勻性提高，所以是優(yōu)選的。特別是，在包含金屬材料或合金材料的襯底中，在很多情況下其表面的起伏大，所以設(shè)置平坦化層是有效的。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置中，平坦化層包含導(dǎo)熱材料。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置中，平坦化層包含分散有包含金屬材料或合金材料的粒子的樹脂。

此外，像這樣，通過將導(dǎo)熱材料用于更靠近于發(fā)光元件的平坦化層，可以提高對來自發(fā)光元件的發(fā)熱的放熱性。另外，特別是，因為當(dāng)使用包含金屬材料或合金材料的導(dǎo)熱襯底時，可以通過該平坦化層將來自發(fā)光元件的發(fā)熱傳導(dǎo)到襯底，所以可以進一步抑制發(fā)光裝置的發(fā)熱。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置中，保護層包括玻璃層而構(gòu)成。

此外，像這樣，通過將玻璃層應(yīng)用于保護發(fā)光元件的保護層，水或氧等的雜質(zhì)的擴散可以顯著得到抑制，所以是優(yōu)選的。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置中，保護層是按順序?qū)盈B玻璃層、粘合層和樹脂層的疊層體。

此外，像這樣，通過在玻璃層上層疊樹脂層作為保護層，可以抑制在玻璃層中產(chǎn)生破裂或裂縫，從而可以提供強度高的發(fā)光裝置。此外，此時，通過將玻璃層設(shè)置為與發(fā)光元件相對，可以抑制來自樹脂層的雜質(zhì)擴散，所以是特別優(yōu)選的。

此外，本發(fā)明的一個方式是一種發(fā)光裝置的制造方法，包括如下步驟：以使一個表面成為平坦的方式配置具有可塑性的襯底，且在襯底的一個表面上按順序?qū)盈B第一電極、發(fā)光層、第二電極層來形成發(fā)光元件；以沿著支撐體的彎曲的表面彎曲的方式將形成有發(fā)光元件的襯底配置在具有彎曲的表面的支撐體上，并使與形成有發(fā)光元件的一個表面相反的表面相對于支撐體；對襯底的一個表面上滴加固化材料；在襯底中的沒有設(shè)置發(fā)光元件的區(qū)域上以使固化材料和端部的一部分接觸的方式配置保護層，且在保護層和固化材料接觸的區(qū)域中固定保護層；以保護層的相對于襯底的表面在設(shè)置有發(fā)光元件的區(qū)域中與固化材料接觸的方式使保護層沿著襯底的一個表面彎曲；以及使固化材料固化來形成密封層。

通過上述方法，可以制造具備彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置。此外，通過當(dāng)形成發(fā)光元件時使被形成面為平坦，可以使構(gòu)成發(fā)光元件的層的厚度的均勻性得到提高來可以使襯底面內(nèi)的發(fā)光亮度為均勻。此外，當(dāng)設(shè)置保護層時，首先只將其端部粘合，然后一邊沿著襯底面使保護層彎曲，一邊使其與在后面用作密封層的熱固化材料緊貼，從而抑制混入到保護層和密封層之間的氣泡等來可以制造可靠性高的發(fā)光裝置。

此外，本發(fā)明的另一個方式是一種發(fā)光裝置的制造方法，包括如下步驟：以使一個表面成為平坦的方式配置具有可塑性的襯底，且在襯底的一個表面上按順序?qū)盈B第一電極、發(fā)光層、第二電極層來形成發(fā)光元件；以沿著支撐體的彎曲的表面彎曲的方式將形成有發(fā)光元件的襯底配置在具有彎曲的表面的支撐體上，并使與形成有發(fā)光元件的一個表面相反的表面相對于支撐體；對襯底的一個表面上滴加光固化材料；在襯底中的沒有設(shè)置發(fā)光元件的區(qū)域上以使光固化材料和端部的一部分接觸的方式配置保護層，且對保護層和光固化材料接觸的區(qū)域照射光使光固化材料的一部分固化，來形成粘合保護層和襯底的一部分的密封層的一部分；以保護層的相對于襯底的表面在設(shè)置有發(fā)光元件的區(qū)域中與光固化材料接觸的方式使保護層沿著襯底的一個表面彎曲；以及對光固化材料的沒有固化的部分照射光來形成密封層。

此外，通過上述方法，不需要用來固定保護層的一部分和襯底的固定工具，從而可以容易制造具有彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置。

此外，本發(fā)明的另一個方式是一種發(fā)光裝置的制造方法，包括如下步驟：在具備平坦面的支撐襯底的平坦面上形成被剝離層，且在被剝離層上形成包括在一對電極之間具備發(fā)光層的發(fā)光元件及晶體管的多個像素；從支撐襯底剝離形成有像素的被剝離層，且對具有可塑性的襯底的一個表面上轉(zhuǎn)置形成有像素的被剝離層；以沿著支撐體的彎曲的表面彎曲的方式將具備像素的襯底配置在具有彎曲的表面的支撐體上，并使與具備像素的一個表面相反的表面相對于支撐體；對襯底的一個表面上滴加固化材料；在襯底中的沒有設(shè)置像素的區(qū)域上以使固化材料和端部的一部分接觸的方式配置保護層，且在保護層和固化材料接觸的區(qū)域上固定保護層；以保護層的相對于襯底的表面在設(shè)置有像素的區(qū)域中與固化材料接觸的方式使保護層沿著襯底的一個表面彎曲；以及使固化材料固化來形成密封層。

通過上述方法，可以形成彎曲且具有由多個像素構(gòu)成的顯示部的圖像顯示裝置。因為當(dāng)除了發(fā)光元件之外還形成晶體管時也可以使被形成面為平坦，所以容易形成，而且晶體管的電特性的不均勻得到抑制，從而可以提供可靠性高的顯示裝置。

此外，本發(fā)明的另一個方式是一種發(fā)光裝置的制造方法，包括如下步驟：在具備平坦面的支撐襯底的平坦面上形成被剝離層，且在被剝離層上形成包括在一對電極之間具備發(fā)光層的發(fā)光元件及晶體管的多個像素；從支撐襯底剝離形成有像素的被剝離層，且對具有可塑性的襯底的一個表面上轉(zhuǎn)置形成有像素的被剝離層；以沿著支撐體的彎曲的表面彎曲的方式將具備像素的襯底配置在具有彎曲的表面的支撐體上，并使與具備像素的一個表面相反的表面相對于支撐體；對襯底的一個表面上滴加光固化材料；在襯底中的沒有設(shè)置像素的區(qū)域上以使光固化材料和端部的一部分接觸的方式配置保護層，且對保護層和光固化材料接觸的區(qū)域照射光使光固化材料的一部分固化，來形成粘合保護層和襯底的一部分的密封層的一部分；以保護層的相對于襯底的表面在設(shè)置有像素的區(qū)域中與光固化材料接觸的方式使保護層沿著襯底的一個表面彎曲；以及對光固化材料的沒有固化的部分照射光來形成密封層。

此外，像這樣，優(yōu)選使用光固化材料固定保護層的一部分。

此外，在制造發(fā)光裝置之后，可以將該發(fā)光裝置從支撐體分離而使用或保持在支撐體上而使用。例如，將成為照明裝置或電子設(shè)備的框體的部件用作支撐體且在支撐體上制造發(fā)光裝置之后直接將發(fā)光裝置組裝在照明裝置或電子設(shè)備中。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置的制造方法中，作為襯底使用包含金屬材料或合金材料的襯底。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置的制造方法中，作為襯底使用包含選自鋁、銅、鐵、鎳、鈦、鎂中的至少一種元素的襯底。

此外，像這樣，通過作為襯底使用導(dǎo)熱性高的金屬材料或合金材料，可以制造放熱性提高了的發(fā)光裝置。另外，也可以在襯底中的形成元件的表面上使用平坦化膜或包含具有導(dǎo)熱性的材料的平坦化膜。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置的制造方法中，保護層采用包括玻璃層的結(jié)構(gòu)。

此外，在上述任一個發(fā)光裝置的制造方法中，保護層使用按順序?qū)盈B玻璃層、粘合層、樹脂層的疊層體。

此外，通過采用上述制造方法，抑制水、氧等雜質(zhì)的擴散來可以制造可靠性高的發(fā)光裝置。再者，通過使用玻璃和樹脂的疊層體，可以制造機械強度提高了的發(fā)光裝置。

注意，在本說明書中，el層是指設(shè)置在發(fā)光元件的一對電極之間且至少包括發(fā)光有機化合物的層（也稱為發(fā)光層）或包括發(fā)光層的疊層體。

注意，本說明書中的發(fā)光裝置是指圖像顯示裝置或光源（包括照明裝置）。另外，如下模塊也都包括在發(fā)光裝置中：在發(fā)光裝置安裝有連接器如fpc（flexibleprintedcircuit：柔性印刷電路）或tcp（tapecarrierpackage：帶載封裝）的模塊；tcp的前端設(shè)置有印刷布線板的模塊；或通過cog（chiponglass：晶玻接裝）方式將ic（集成電路）直接安裝在形成有發(fā)光元件的襯底的模塊。

根據(jù)本發(fā)明可以提供具備彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置。此外，可以提供可靠性高的發(fā)光裝置。

附圖說明

圖1a至1d是說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的制造方法的圖；

圖2a至2e是說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的制造方法的圖；

圖3是說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的圖；

圖4a和4b是說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的圖；

圖5a至5d是說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的制造方法的圖；

圖6a至6c是說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的制造方法的圖；

圖7a至7e是說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的應(yīng)用例子的圖；

圖8a和8b是根據(jù)實施例1的溫度特性的測量結(jié)果；

圖9是根據(jù)實施例2的發(fā)光裝置的照片。

本發(fā)明的選擇圖是圖2a至2e。

具體實施方式

參照附圖對實施方式進行詳細(xì)說明。但是，本發(fā)明不局限于以下說明，而所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以很容易地理解一個事實就是其方式及詳細(xì)內(nèi)容在不脫離本發(fā)明的宗旨及其范圍的情況下可以被變換為各種各樣的形式。因此，本發(fā)明不應(yīng)該被解釋為僅局限在以下所示的實施方式所記載的內(nèi)容中。注意，在以下說明的發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，在不同的附圖中共同使用相同的附圖標(biāo)記來表示相同的部分或具有相同功能的部分，而省略反復(fù)說明。

注意，在本說明書所說明的每一個附圖中，有時為了明確起見，夸大表示各結(jié)構(gòu)的大小、層的厚度、區(qū)域。因此，本發(fā)明并不一定限定于該尺度。

實施方式1

在本實施方式中，參照附圖說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置及其制造方法。

[發(fā)光裝置的制造方法例子]

下面參照圖1a至1d以及圖2a至2e說明本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的制造方法。圖1a至1d以及圖2a至2e是每個階段的俯視示意圖以及沿著俯視示意圖中所示的截斷線a-b截斷的截面示意圖。

首先，準(zhǔn)備襯底101。作為襯底101使用具有可塑性的材料且使用至少被形成面為平坦的襯底。

此外，當(dāng)作為襯底101使用金屬材料或合金材料時，對來自在后面形成的發(fā)光元件的發(fā)熱的放熱性提高，所以是優(yōu)選的。作為用于襯底101的材料，也可以使用鋁、銅、鐵、鎳、鈦、鎂等金屬材料或包含該金屬材料的合金材料。此外，還可以使用不銹鋼或硬鋁。

此外，優(yōu)選使用使導(dǎo)電襯底的表面氧化或在表面形成絕緣膜等進行過絕緣處理的襯底。例如，既可以采用電沉積法、旋涂法或浸漬法等的涂敷法、蒸鍍法或濺射法等的方法形成絕緣膜，又可以通過在氧氣氛下放置或加熱或者采用陽極氧化法等的已知方法，在襯底101的表面形成氧化膜。

接著，在襯底101的被形成面上形成平坦化層113。為了覆蓋襯底101的表面的凹凸形狀來實現(xiàn)平坦化，形成平坦化層113。作為平坦化層113可以使用絕緣材料，例如可以使用聚酰亞胺、丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、苯并環(huán)丁烯類樹脂等有機材料。

平坦化層113可以通過旋涂法或浸漬法等的涂敷法、噴墨法或分配器法等的噴出法、絲網(wǎng)印刷等的印刷法等形成。

此外，作為平坦化層113也可以使用分散有包含金屬材料或合金材料的粒子的有機樹脂。像這樣，通過使用分散有導(dǎo)電材料的平坦化層113，可以將來自在后面形成的發(fā)光元件的發(fā)熱高效地傳導(dǎo)到襯底101，所以可以進一步提高放熱性。此外，為了提高平坦性或絕緣性，也可以在分散有導(dǎo)電粒子的有機樹脂上進一步層疊有機樹脂而使用。

另外，當(dāng)對襯底101的表面進行絕緣處理且其平坦性高時，可以不設(shè)置平坦化層113。

接著，在平坦化層113上形成第一電極層103及布線111。

第一電極層103的一部分成為構(gòu)成發(fā)光元件的一方電極。此外，布線111是對在后面形成的構(gòu)成發(fā)光元件的第二電極供應(yīng)電力的布線。在此，第一電極層103及布線111的一部分分別用作供應(yīng)電力的取出電極。

第一電極層103及布線111可以由同一材料形成或由不同的材料形成。此外，至少第一電極層103上的形成發(fā)光元件的區(qū)域使用對來自在后面形成的el層105的發(fā)光具有反射性的材料。另外，也可以在第一電極層103上的形成發(fā)光元件的區(qū)域?qū)盈B與用于第一電極層103的材料不同的光反射性高的材料。

作為用于第一電極層103及布線111的材料，例如可以使用鋁、金、鉑、銀、鎳、鎢、鉻、鉬、鐵、鈷、銅或鈀等的金屬材料或包含它們的合金材料。此外，也可以對這些金屬材料或合金材料添加鑭、釹、鍺等。除此之外，也可以使用鋁和鈦的合金、鋁和鎳的合金、鋁和釹的合金等含有鋁的合金（鋁合金），或者銀和銅的合金、銀和鎂的合金等含有銀的合金。銀和銅的合金具有高耐熱性，所以是優(yōu)選的。再者，通過層疊接觸于鋁合金膜的金屬膜或金屬氧化物膜，可以抑制鋁合金膜的氧化。作為該金屬膜、該金屬氧化物膜的材料，可以舉出鈦、氧化鈦等。此外，也可以層疊由上述具有透過性的材料構(gòu)成的膜與由上述金屬材料構(gòu)成的膜。例如，可以使用銀與氧化銀氧化錫的疊層膜或銀和鎂的合金與氧化銀氧化錫的疊層膜等。

第一電極層103及布線111可以通過濺射法、真空蒸鍍法或絲網(wǎng)印刷法等的印刷法、噴墨法或分配器法等的噴出法或者鍍法等形成。特別是，優(yōu)選使用絲網(wǎng)印刷法同時形成第一電極層103和布線111。

此階段的俯視示意圖及截面示意圖相當(dāng)于圖1a。

接著，形成絕緣層115，該絕緣層115覆蓋第一電極層103及布線111的端部的一部分且具備使第一電極層103及布線111的一部分露出的開口部。

絕緣層115可以通過噴墨法或分配器法等的噴出法、絲網(wǎng)印刷等的印刷法等形成。此外，也可以采用光刻法。

為了改進在后面形成的第二電極層107的覆蓋性，優(yōu)選使絕緣層115的上端部或下端部具備具有曲率半徑（0.2μm至3μm）的曲面。此外，作為絕緣層115的材料，除了可以使用與平坦化層113同樣的材料之外還可以使用：負(fù)型光敏樹脂或正型光敏樹脂等的有機化合物；或者氧化硅、氧氮化硅等的無機化合物。

此階段的俯視示意圖及截面示意圖相當(dāng)于圖1b。

接著，在第一電極層103上形成el層105。el層105通過真空蒸鍍法、噴墨法或分配器法等的噴出法或者旋涂法等的涂敷法形成。

el層105只要包括至少包含發(fā)光有機化合物的層（下面，也稱為發(fā)光層）即可，且也可以由單個層構(gòu)成或由多個層構(gòu)成。作為由多個層構(gòu)成的結(jié)構(gòu)，可以舉出從陽極一側(cè)層疊空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層的結(jié)構(gòu)作為例子。另外，除了發(fā)光層之外的上述層不一定需要設(shè)置在el層105中。此外，上述層也可以重疊設(shè)置。具體而言，可以在el層105中重疊設(shè)置多個發(fā)光層，而且還可以與電子注入層重疊設(shè)置空穴注入層。另外，作為中間層，除了電荷產(chǎn)生層之外還可以適當(dāng)?shù)刈芳与娮又欣^層等的其他結(jié)構(gòu)。此外，例如也可以層疊多個呈現(xiàn)不同的發(fā)光顏色的發(fā)光層，即可以通過層疊處于補色關(guān)系的兩個以上的發(fā)光層，得到白色發(fā)光。

此階段的俯視示意圖及截面示意圖相當(dāng)于圖1c。

接著，形成覆蓋el層105且與布線111電連接的第二電極層107。

第二電極層107使用對來自el層105的發(fā)光具有透光性的材料。

作為透光材料，可以使用導(dǎo)電氧化物諸如氧化銦、氧化銦氧化錫、氧化銦氧化鋅、氧化鋅、添加有鎵的氧化鋅等?；蛘?，也可以使用石墨烯。另外，作為導(dǎo)電層，可以使用金、銀、鉑、鎂、鎳、鎢、鉻、鉬、鐵、鈷、銅、鈀、鈦等金屬材料或包含上述材料的合金材料?；蛘?，也可以使用上述金屬材料的氮化物（例如，氮化鈦）等。另外，當(dāng)使用金屬材料（或者其氮化物）時，將金屬材料形成得薄，以使其具有透光性，即可。此外，可以將上述材料的疊層膜用作導(dǎo)電層。例如，通過使用銀和鎂的合金以及氧化銦氧化錫的疊層膜等，可以提高導(dǎo)電性，所以是優(yōu)選的。

第二電極層107通過蒸鍍法或濺射法等形成。除此之外，也可以通過噴墨法等的噴出法、絲網(wǎng)印刷法等的印刷法或鍍法形成。

另外，當(dāng)通過濺射法形成具有透光性的上述導(dǎo)電氧化物時，通過在包含氬和氧的氣氛下形成該導(dǎo)電氧化物，可以提高透光性。

此外，當(dāng)在el層上形成導(dǎo)電氧化物膜時，通過采用層疊在減少氧濃度的包含氬的氣氛下形成的第一導(dǎo)電氧化物膜和在包含氬和氧的氣氛下形成的第二導(dǎo)電氧化物膜的疊層膜，可以減少對el層的成膜損壞，所以是優(yōu)選的。在此，特別優(yōu)選的是，當(dāng)形成第一導(dǎo)電氧化物膜時使用的氬的純度高，例如使用露點為-70℃以下，優(yōu)選為-100℃以下的氬氣體。

通過上述步驟形成層疊有第一電極層103、el層105及第二電極層107的發(fā)光元件120。在此，將形成在襯底101上的結(jié)構(gòu)總稱為發(fā)光器件110。

此外，在形成發(fā)光器件110的各工序中，將襯底101配置為使被形成面為平坦而形成。因此，可以提高構(gòu)成發(fā)光器件110的各層的厚度、形狀、位置等的控制性。特別是，因為可以使構(gòu)成發(fā)光元件120的第一電極層103、el層105及第二電極層107的各厚度為均勻，所以可以制造發(fā)光亮度的均勻性提高了的發(fā)光裝置。

此外，也可以在第二電極層107上形成保護膜。通過形成保護膜，對發(fā)光元件120的水或氧等的雜質(zhì)的擴散得到抑制，從而可以提供可靠性高的發(fā)光裝置。作為保護膜，使用具有透光性且對水或氧具有阻擋性的材料。例如，可以使用硅等的半導(dǎo)體、鋁等的金屬的氧化物或氮化物，即可。

此階段的俯視示意圖及截面示意圖相當(dāng)于圖1d。

接著，如圖2a所示，在支撐體121上配置形成有發(fā)光器件110的襯底101。為了明確起見，在下面的附圖中簡明表示發(fā)光器件110。

支撐體121具有彎曲的表面。此外，其截面優(yōu)選由連續(xù)的曲線構(gòu)成。作為圖2a示出截面形狀為凸?fàn)畹膱A弧形的支撐體121，但是除此之外還可以采用各種形狀。例如，可以采用其截面形狀是凹狀的圓弧形或波浪形等。

沿著支撐體121的彎曲的表面配置襯底101。在此，因為襯底101具備可塑性，所以可以在沿著支撐體121的彎曲的表面彎曲而配置之后保持其形狀。

此外，也可以使用粘合材料或固定工具使支撐體121和襯底101固定。另外，當(dāng)在后面將發(fā)光裝置100從支撐體121分離而使用時，使用低粘性的粘合材料或能夠裝卸的固定工具固定。

在此，作為使用的支撐體121的曲率半徑，可以采用在使襯底101彎曲時，在構(gòu)成發(fā)光器件110的各層中不產(chǎn)生裂縫或破裂的程度的曲率半徑。此外，將構(gòu)成發(fā)光器件110的各層形成得越薄，可以使用曲率半徑越小的支撐體。

接著，在彎曲的襯底101上涂敷密封材料122（圖2b）。作為密封材料122，通過對至少覆蓋發(fā)光元件120且在后面形成保護層的區(qū)域上滴加用于密封材料122的材料等來形成。此外，此時，以使第一電極層103及布線111的設(shè)置在襯底101的外周一側(cè)的用作取出電極的區(qū)域露出的方式涂敷密封材料122。

作為密封材料122，使用光固化有機樹脂。此外，作為密封材料122使用在通過光照射進行固化之后至少對來自發(fā)光元件的發(fā)光具有透光性的材料。

例如，作為密封材料122，可以使用pvc（聚氯乙烯）、丙烯酸樹脂、聚酰亞胺、環(huán)氧樹脂、硅酮樹脂、pvb（聚乙烯醇縮丁醛）、eva（乙烯-醋酸乙烯酯）。

接著，以與密封材料122的一部分接觸的方式設(shè)置保護層125（圖2c）。

作為保護層125使用至少對來自發(fā)光元件120的發(fā)光具有透光性的材料。例如，可以使用薄片狀的有機樹脂或厚度為具有柔性程度的玻璃材料。

也可以層疊多個層而用作保護層125。特別是，通過采用具有玻璃層的結(jié)構(gòu)，可以提高對水或氧的阻擋性而提供可靠性高的發(fā)光裝置。

特別是，作為保護層125優(yōu)選使用從靠近于發(fā)光元件的一側(cè)依次層疊有玻璃層、粘合層和有機樹脂層的薄片。該玻璃層的厚度為20μm以上且200μm以下，優(yōu)選為25μm以上且100μm以下。這種厚度的玻璃層可以同時實現(xiàn)對水或氧的高阻擋性和柔性。此外，有機樹脂層的厚度為10μm以上且200μm以下，優(yōu)選為20μm以上且50μm以下。通過在玻璃層的外側(cè)設(shè)置這種有機樹脂層，抑制玻璃層的破裂或縫裂來提高機械強度。通過將這種玻璃材料和有機樹脂的復(fù)合材料應(yīng)用于保護層125，可以提供可靠性極高且具有彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置。

首先，將保護層125以使其端部與密封材料122接觸的方式至少設(shè)置在襯底101上的設(shè)置有發(fā)光元件120的區(qū)域的外側(cè)的區(qū)域。此時，如圖2c所示，優(yōu)選不使保護層125的端部之外的部分與密封材料122接觸。

接著，對保護層125和密封材料122接觸的區(qū)域照射光127，使該區(qū)域的密封材料122固化，來粘合襯底101和保護層125。此時，密封材料122固化的一部分的區(qū)域成為密封層123。

然后，以保護層125和密封層123粘合的區(qū)域為支點，一邊使保護層125逐漸地彎曲一邊使保護層125與密封材料122緊貼。像這樣，在使保護層125的端部粘合一次之后，從粘合部分向外側(cè)逐漸進行貼合，從而抑制氣泡等的引入來可以提供可靠性高的發(fā)光裝置。

上述貼合優(yōu)選通過如下步驟進行：例如，使用滾筒狀的按壓部件，該按壓部件以上述粘合部分為起點滾動，來使保護層125和密封材料122緊貼。此外，此時將保護層125和襯底101之間的距離控制為固定。

接著，如圖2d所示，從保護層125的上方對密封材料122照射光127來使密封材料122固化，從而形成密封層123。

此時，也可以在防止剝離地固定保護層125的狀態(tài)下對密封材料122照射光127。

通過上述工序，在支撐體121上形成具備彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置100。

另外，在上述工序中，作為用于密封材料122的材料使用光固化有機樹脂，但是不局限于此而也可以使用熱固化有機樹脂或兩液混合型樹脂等的在常溫下固化的固化樹脂。

當(dāng)作為密封材料122使用熱固化樹脂時，可以在使保護層125的一部分與密封材料122緊貼之后，對該緊貼部分局部性地進行加熱而使密封材料固化。然后，使保護層125彎曲而與密封材料122緊貼之后，對保護層125整體進行加熱而使其固化，即可。作為局部性地進行加熱的方法，可以舉出局部性地照射燈光或使加熱器等的熱源接近等的方法。此外，作為對整體進行加熱的方法，除了燈光及加熱器之外還可以使用熱板或烤箱等。

此外，當(dāng)作為密封材料122使用在常溫下固化的樹脂時，預(yù)先在設(shè)置有發(fā)光元件120的區(qū)域的外側(cè)的區(qū)域涂敷樹脂，且在該樹脂與保護層125的一部分緊貼的狀態(tài)下進行固化。然后，在與發(fā)光元件120重疊的區(qū)域再次涂敷樹脂，一邊使保護層125彎曲一邊將保護層125緊貼到該樹脂，然后進行固化，即可。

此外，雖然在上述工序中說明了在設(shè)置有發(fā)光元件120的區(qū)域的外側(cè)的區(qū)域中，通過使與保護層125緊貼的密封材料122固化來粘合保護層125和襯底101的方法，但是不局限于該方法而可以至少在使保護層125彎曲時，在該區(qū)域中以不使保護層125的位置偏移的方式進行固定。

例如，在將密封材料122涂敷到襯底101上之后，在設(shè)置有發(fā)光元件120的區(qū)域的外側(cè)的區(qū)域?qū)⒈Ｗo層125與密封材料122緊貼地配置，在將保護層125的端部固定到襯底101的狀態(tài)下使保護層125彎曲并使其與密封材料122緊貼，然后使密封材料122的整體固化，即可。作為將保護層125的端部固定到襯底101的方法，可以舉出如下方法：使用按壓部件從保護層125的上方按壓的方法；或者使用膠帶等的固定工具直接固定支撐體121或襯底101和保護層125的端部的方法等。

當(dāng)使用這種方法時，對用于密封材料122的固化材料的種類沒有限制，而可以適當(dāng)?shù)厥褂霉夤袒瘶渲?、熱固化樹脂或在常溫下固化的固化樹脂等?/p>

另外，既可以如圖2d所示那樣使用由支撐體121支撐的狀態(tài)的發(fā)光裝置100，又可以如圖2e所示那樣使用從支撐體121分離的狀態(tài)的發(fā)光裝置100。

在使用由支撐體121支撐的狀態(tài)的發(fā)光裝置100的情況下，例如也可以將成為照明裝置或電子設(shè)備的框體的部件用作支撐體121，且在支撐體121上制造發(fā)光裝置100之后直接將發(fā)光裝置100安裝到照明裝置或電子設(shè)備中。

像這樣，通過將具有可塑性的材料用于襯底101，可以在被形成面平坦的狀態(tài)下進行在襯底101上形成發(fā)光器件110的工序，所以可以提供亮度的分布得到改善的發(fā)光裝置。

再者，由于能夠在彎曲的狀態(tài)下進行貼合襯底101和保護層125的工序，所以可以緩和在貼合之后產(chǎn)生的起因于保護層125的應(yīng)力。在此，例如在以平坦的狀態(tài)進行保護層125的貼合，然后使發(fā)光裝置100的整體彎曲時，由于在保護層125自身中或在與保護層125固定的密封層或發(fā)光器件中產(chǎn)生大的應(yīng)力，因此在它們中產(chǎn)生縫裂或破裂。像這樣，通過在彎曲的狀態(tài)下粘合保護層，可以緩和這種應(yīng)力，從而可以提供可靠性高的發(fā)光裝置。

特別是，當(dāng)作為密封層使用包括玻璃層的材料時，通過在以平坦的狀態(tài)進行貼合之后使密封層大幅度地彎曲，即使密封層自身具有柔性，由于密封層與襯底粘合而使該玻璃層受到的應(yīng)力變大，所以產(chǎn)生破裂的可能性也高。另一方面，當(dāng)采用上述方法時，由于在使密封層彎曲時密封層和襯底未粘合，因此即使使密封層大幅度地彎曲也沒有破裂的憂慮。其結(jié)果是，可以實現(xiàn)具備曲率半徑小的發(fā)光面且由玻璃層抑制雜質(zhì)的擴散的可靠性高的發(fā)光裝置。

[變形例子]

此外，通過使支撐體121的形狀為不同，可以容易制造各種形狀的發(fā)光裝置。例如，如圖3所示，可以提供波浪形的發(fā)光裝置100。

另外，在本實施方式中，將發(fā)光器件110的俯視形狀設(shè)定為四角形，但是不局限于此而還可以制造各種形狀的發(fā)光器件。因為可以制造包括橢圓的圓形、多角形、由不同的曲率的曲線圍繞的圖形、由曲線和直線圍繞的圖形等的各種形狀的發(fā)光裝置，所以可以實現(xiàn)高設(shè)計性。

此外，由于作為襯底101或保護層125可以使用薄片狀材料，因此適合于輥對輥（rolltoroll）方式而可以容易制造大面積的發(fā)光裝置。

本實施方式可以與本說明書所記載的其他實施方式及實施例適當(dāng)?shù)亟M合而實施。

實施方式2

在本實施方式中，參照附圖說明在上述實施方式所例示的發(fā)光裝置的制造方法中應(yīng)用圖像顯示器件作為發(fā)光器件的情況。

注意，下面，關(guān)于與實施方式1所說明的內(nèi)容重復(fù)的部分，省略說明或簡單地說明。

形成在具有可塑性的襯底101上的圖像顯示器件具備多個包括至少一個發(fā)光元件的像素。作為圖像顯示器件有：一個像素由一個發(fā)光元件構(gòu)成的被動矩陣型圖像顯示器件；以及一個像素由發(fā)光元件和至少一個晶體管構(gòu)成的有源矩陣型圖像顯示器件。

下面，作為能夠應(yīng)用于本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的制造方法的圖像顯示裝置的一個例子，以有源矩陣型的圖像顯示器件為例子而進行說明。

[結(jié)構(gòu)例子]

圖4a示出圖像顯示器件150的像素的一部分，而圖4b示出沿著圖4a中的截斷線c-d截斷的截面的截面示意圖。

在圖4a所示的圖像顯示器件150中，多個源極布線151彼此平行且彼此分離地配置，并且與源極布線151交叉的多個柵極布線152彼此平行且彼此分離地配置。此外，被源極布線151和柵極布線152圍繞的區(qū)域成為圖像顯示器件150的一個像素，且該像素被配置為矩陣狀。

此外，各像素具備晶體管153、晶體管154以及形成在晶體管154上的發(fā)光元件120。

襯底101可以使用與實施方式1同樣的襯底。

圖4b示出包括襯底101、設(shè)置在襯底101上的粘合層161、設(shè)置在粘合層161上的絕緣層163、形成在絕緣層163上的晶體管154以及與晶體管154電連接的發(fā)光元件120的截面示意圖。

晶體管154包括柵電極層、柵極絕緣層、半導(dǎo)體層、源電極層以及漏電極層。

對構(gòu)成圖像顯示器件150的晶體管的結(jié)構(gòu)沒有特別的限制。例如，可以采用交錯型的晶體管或反交錯型的晶體管。此外，也可以采用頂柵型或底柵型的晶體管結(jié)構(gòu)。

此外，作為用于晶體管的半導(dǎo)體材料，例如既可以使用硅或鍺等的半導(dǎo)體材料，又可以使用包含銦、鎵和鋅中的至少一個的氧化物半導(dǎo)體材料。此外，對用于晶體管的半導(dǎo)體的結(jié)晶性也沒有特別的限制，可以使用非晶半導(dǎo)體或結(jié)晶半導(dǎo)體（微晶半導(dǎo)體、多晶半導(dǎo)體、單晶半導(dǎo)體或其一部分具有結(jié)晶區(qū)的半導(dǎo)體）。當(dāng)使用結(jié)晶半導(dǎo)體時可以抑制晶體管的特性劣化，所以是優(yōu)選的。

發(fā)光元件120可以采用與實施方式1相同的結(jié)構(gòu)，且具有按順序?qū)盈B第一電極層103、el層105及第二電極層107的結(jié)構(gòu)。此外，第一電極層103通過設(shè)置在絕緣層165及絕緣層167的開口部與晶體管154的源電極或漏電極電連接。

此外，形成有覆蓋發(fā)光元件120的絕緣層166。設(shè)置絕緣層166是為了抑制水或氧等雜質(zhì)擴散到發(fā)光元件中。例如，可以使用無機絕緣材料諸如硅等的半導(dǎo)體的氧化物或氮化物或者鋁等的金屬的氧化物或氮化物等。

相鄰的像素的發(fā)光元件120具備呈現(xiàn)不同的發(fā)光顏色的el層105。例如，通過采用具備分別呈現(xiàn)紅色（r）、綠色（g）、藍(lán)色（b）的發(fā)光顏色的el層105的發(fā)光元件120，可以提供能夠進行全彩色顯示的發(fā)光器件150。此外，也可以設(shè)置除了上述三種顏色之外還具備呈現(xiàn)黃色（y）及白色（w）的發(fā)光顏色的el層105的發(fā)光元件120。

此外，覆蓋設(shè)置在上述絕緣層165及絕緣層167的開口部以及第一電極層103的端部地形成有絕緣層115。作為絕緣層115的結(jié)構(gòu)可以采用與實施方式1同樣的結(jié)構(gòu)。

絕緣層165起平坦化層的作用，其用來抑制因設(shè)置在下部的晶體管等產(chǎn)生的凹凸形狀的影響。通過設(shè)置絕緣層165，可以抑制發(fā)光元件120的短路等。絕緣層165可以使用光敏有機樹脂等形成。

此外，與晶體管的半導(dǎo)體層接觸的絕緣層168及絕緣層169以及覆蓋晶體管的絕緣層167優(yōu)選抑制對構(gòu)成晶體管的半導(dǎo)體的雜質(zhì)的擴散。作為這些絕緣層可以使用硅等的半導(dǎo)體的氧化物或氮化物或者鋁等的金屬的氧化物或氮化物。此外，也可以使用這種無機絕緣材料的疊層膜或無機絕緣材料和有機絕緣材料的疊層膜。

在此，粘合層161可以使用絕緣材料。此外，粘合層161與實施方式1所例示的平坦化層113同樣地具有覆蓋襯底101的表面的凹凸形狀的功能。此外，通過采用具備分散有包含金屬材料或合金材料的粒子的有機樹脂的結(jié)構(gòu)，可以將來自發(fā)光元件120的發(fā)熱高效地傳導(dǎo)到襯底101，所以可以進一步提高放熱性。

以上是圖像顯示器件150的結(jié)構(gòu)例子的說明。

[制造方法例子]

下面，參照附圖說明圖像顯示器件150的制造方法。

首先，在支撐襯底171上層疊形成剝離層173和絕緣層163（圖5a）。通過在形成剝離層173之后，不暴露于大氣地連續(xù)形成絕緣層163，可以抑制雜質(zhì)的混入，所以是優(yōu)選的。

作為支撐襯底171使用具有平坦面的襯底。例如，可以使用玻璃、石英、藍(lán)寶石、不銹鋼或金屬等的襯底。此外，在對制造工序中的溫度具有耐熱性時，也可以使用塑料等的有機樹脂襯底。在此，在使用塑料襯底時，有時不需要剝離層173。

此外，在本實施方式中與支撐襯底171接觸地形成剝離層173，但是當(dāng)作為支撐襯底171使用玻璃襯底時，通過在支撐襯底171和剝離層173之間形成氧化硅膜、氧氮化硅膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜等的絕緣層，可以防止來自玻璃襯底的污染，所以是更優(yōu)選的。

剝離層173由選自鎢、鉬、鈦、鉭、鈮、鎳、鈷、鋯、釕、銠、鈀、鋨、銥、硅中的金屬材料、包含上述金屬材料的合金材料、包含上述金屬材料的化合物材料或包含硅的材料構(gòu)成，且是單層或疊層。包含硅的層的結(jié)晶結(jié)構(gòu)可以是非晶、微晶或多晶中的任一種。

此外，剝離層173可以通過濺射法、等離子體cvd法、涂敷法、印刷法等形成。另外，涂敷法包括旋涂法。除此之外，還可以使用液滴噴出法、分配器法等。

當(dāng)剝離層173是單層結(jié)構(gòu)時，優(yōu)選形成鎢層、鉬層或包含鎢和鉬的混合物的層。此外，形成包含鎢的氧化物或氧氮化物的層、包含鉬的氧化物或氧氮化物的層或者包含鎢和鉬的混合物的氧化物或氧氮化物的層。另外，鎢和鉬的混合物例如相當(dāng)于鎢和鉬的合金。

此外，當(dāng)作為剝離層173形成包含鎢的層和包含鎢的氧化物的層的疊層結(jié)構(gòu)時，也可以應(yīng)用如下現(xiàn)象：通過形成包含鎢的層且在其上層形成由氧化物形成的絕緣層，在包含鎢的層和絕緣層之間的界面形成包含鎢的氧化物的層。另外，通過對包含鎢的層的表面進行熱氧化處理、氧等離子體處理、使用臭氧水等的氧化力高的溶液的處理等，來形成包含鎢的氧化物的層。此外，等離子體處理或加熱處理也可以在單獨地使用氧、氮、一氧化二氮的氣氛下或上述氣體和其他氣體的混合氣體氣氛下進行。通過上述等離子體處理或加熱處理來改變剝離層173的表面狀態(tài)，可以控制剝離層173和在后面形成的絕緣層163之間的緊貼性。

接著，在剝離層173上形成絕緣層163。絕緣層163優(yōu)選由氮化硅、氧氮化硅或氮氧化硅等的單層或疊層形成。

絕緣層163可以通過濺射法或等離子體cvd法、涂敷法、印刷法等形成。例如，通過采用等離子體cvd法，以250℃以上且400℃以下的成膜溫度形成絕緣層163，可以形成致密且透水性非常低的膜。另外，絕緣層163的厚度為10nm以上且3000nm以下，更優(yōu)選為200nm以上且1500nm以下。

接著，在絕緣層163上形成晶體管153（未圖示）、晶體管154、源極布線151以及柵極布線152（未圖示）等。在此，制造底柵型的晶體管。

首先，在形成成為柵電極層的導(dǎo)電膜之后，使用已知的光刻法去除該導(dǎo)電膜的不需要的部分，來形成柵電極層。另外，在此同時形成通過對與柵電極層相同的導(dǎo)電膜進行加工來形成的布線等。

可以使用鉬、鈦、鉻、鉭、鎢、鋁、銅、釹、鈧等金屬材料或包含上述金屬材料的合金材料作為材料并以這種材料的單層或疊層形成柵電極層。

接著，在柵電極層上形成成為柵極絕緣層的絕緣層169。絕緣層169可以通過等離子體cvd法或濺射法等并使用氧化硅、氮化硅、氧氮化硅、氮氧化硅或氧化鋁的單層或疊層形成。例如，作為成膜氣體使用sih4、n2o并通過等離子體cvd法形成氧氮化硅膜，即可。

接著，形成半導(dǎo)體膜，通過光刻法形成島狀的半導(dǎo)體層。

半導(dǎo)體膜可以使用硅半導(dǎo)體或氧化物半導(dǎo)體形成。作為硅半導(dǎo)體，有單晶硅、多晶硅或微晶硅等，而作為氧化物半導(dǎo)體，例如可以使用至少包含in、ga、zn中任一個的氧化物半導(dǎo)體。典型地，可以舉出in-ga-zn類金屬氧化物等。在此，通過使用in-ga-zn類金屬氧化物的氧化物半導(dǎo)體形成載流子密度低的半導(dǎo)體層作為半導(dǎo)體層，可以抑制在后面形成的發(fā)光元件的截止時的泄漏電流，所以是優(yōu)選的。

接著，在形成覆蓋半導(dǎo)體層的絕緣膜之后，通過光刻法形成具有使半導(dǎo)體層的一部分露出的開口部的絕緣層168。

然后，在形成導(dǎo)電膜之后，通過光刻法形成源電極層及漏電極層。此外，與此同時，通過對與源電極層及漏電極層相同的導(dǎo)電膜進行加工來形成布線等。

作為用于源電極層及漏電極層的導(dǎo)電膜，例如使用選自al、cr、cu、ta、ti、mo、w中的金屬材料或包含上述金屬材料的金屬氮化物材料（例如，氮化鈦、氮化鉬、氮化鎢）等的薄膜。此外，還可以在al、cu等的金屬膜的下側(cè)和上側(cè)中的一方或雙方層疊ti、mo、w等的高熔點金屬膜或它們的金屬氮化物膜（氮化鈦膜、氮化鉬膜、氮化鎢膜）。另外，也可以使用導(dǎo)電金屬氧化物形成用于源電極層及漏電極層的導(dǎo)電膜。作為導(dǎo)電金屬氧化物，可以使用氧化銦（in2o3等）、氧化錫（sno2等）、氧化鋅（zno）、氧化銦氧化錫合金（in2o3-sno2等）、氧化銦氧化鋅（in2o3-zno等）或者在這些金屬氧化物中含有氧化硅的材料。

通過上述工序形成晶體管154。

接著，在半導(dǎo)體層、源電極層及漏電極層上形成絕緣層167。作為絕緣層167，可以使用無機絕緣膜諸如氧化硅膜、氧氮化硅膜、氧化鋁膜等。

接著，在絕緣層167上形成絕緣層165（參照圖5b）。

作為絕緣層165選擇具有平坦化功能的絕緣層，以減少起因于晶體管的表面凹凸。例如，可以使用聚酰亞胺、丙烯酸樹脂、苯并環(huán)丁烯類樹脂等有機材料。此外，除了上述有機材料之外，還可以使用低介電常數(shù)材料（low-k材料）等。例如，也可以通過層疊由這些材料形成的多個絕緣膜，形成絕緣層165。

接著，通過光刻法，在絕緣層165及絕緣層167形成到達(dá)源電極層或漏電極層的開口部。當(dāng)形成開口部時，可以適當(dāng)?shù)剡x擇干蝕刻、濕蝕刻等?；蛘?，也可以作為絕緣層165使用光敏材料并通過光刻法形成具備開口部的絕緣層165，然后以該絕緣層165為掩模對絕緣層167的一部分進行蝕刻來形成開口部?；蛘撸部梢栽陬A(yù)先形成絕緣層167之后形成開口部，然后形成具備開口部的絕緣層165。

接著，在絕緣層165上形成導(dǎo)電膜，通過光刻法形成與晶體管154的源電極層或漏電極層電連接的第一電極層103。

接著，形成覆蓋第一電極層103的端部以及形成在絕緣層165的開口部的絕緣層115（參照圖5c）。

接著，在第一電極層103上形成el層105。在此，通過采用蒸鍍法并使用金屬掩模，選擇性地形成呈現(xiàn)與相鄰的像素不同的發(fā)光顏色的el層105。

另外，作為el層105也可以共同使用呈現(xiàn)白色發(fā)光的el層，通過在相鄰的像素的發(fā)光元件120的上方設(shè)置分別透射不同的光的濾光片來進行全彩色顯示。在此情況下，在絕緣層166上形成濾光片或者在實施方式1所例示的保護層125的一個表面預(yù)先形成濾光片。通過共同使用白色發(fā)光的el層，不需要用來在像素中分開形成不同顏色的el層的金屬掩模，所以是優(yōu)選的。

接著，在el層105上形成第二電極層107。

另外，第一電極層103和第二電極層107中的一方用作發(fā)光元件120的陽極，另一方用作發(fā)光元件120的陰極。作為用作陽極的電極優(yōu)選使用功函數(shù)大的物質(zhì)，而作為用作陰極的電極優(yōu)選使用功函數(shù)小的物質(zhì)。

通過上述工序，形成發(fā)光元件120。

最后，形成覆蓋第二電極層107的絕緣層166（參照圖5d）。

通過上述工序，可以在支撐襯底171上形成晶體管、布線或發(fā)光元件120。

接著，在絕緣層163和剝離層173之間進行剝離（分離）（參照圖6a）。作為剝離方法可以使用各種方法。

在此，利用在晶體管的形成工序中產(chǎn)生的熱在剝離層173和絕緣層163之間的界面形成金屬氧化膜。例如，也可以利用如下現(xiàn)象：形成到達(dá)剝離層173的凹槽（未圖示），以該凹槽為起因使金屬氧化膜脆弱化，而在剝離層173和絕緣層163之間的界面產(chǎn)生剝離。

作為剝離方法，施加機械力（使用人手或夾具來剝離的處理或使?jié)L筒轉(zhuǎn)動來進行分離的處理等），即可。此外，也可以對凹槽滴加液體，并使液體浸透到剝離層173與絕緣層163的界面來從剝離層173剝離絕緣層163。此外，也可以采用如下方法：對凹槽引入nf3、brf3、clf3等的氟化氣體，使用氟化氣體蝕刻并去除剝離層173，然后從具有絕緣表面的支撐襯底171剝離絕緣層163。

作為其他剝離方法，可以使用如下方法：當(dāng)由鎢形成剝離層173時，一邊使用氨水和過氧化氫水的混合溶液對剝離層進行蝕刻，一邊進行剝離。

此外，當(dāng)作為剝離層173使用包含氮、氧或氫等的膜（例如，包含氫的非晶硅膜、含氫合金膜、含氧和金膜等），且作為支撐襯底171使用具有透光性的襯底時，可以使用如下方法：從支撐襯底171一側(cè)對剝離層173照射激光，使剝離層所包含的氮、氧及氫氣化而在支撐襯底171和剝離層173之間進行剝離。

接著，由粘合層161粘合絕緣層163和襯底101（參照圖6b）。該工序也稱為轉(zhuǎn)置。

粘合層161可以使用各種固化型粘合劑如紫外線固化型粘合劑等光固化粘合劑、反應(yīng)固化型粘合劑、熱固化型粘合劑或厭氧型粘合劑等。作為這些粘合劑的材料可以使用環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、硅酮樹脂、酚醛樹脂等。

通過上述工序，可以在具有可塑性的襯底101上形成圖像顯示器件150（參照圖6c）。

通過將形成有這種圖像顯示器件150的襯底101應(yīng)用于實施方式1所例示的發(fā)光裝置的制造方法，可以制造具備彎曲的發(fā)光面的圖像顯示裝置。在此情況下，也可以將圖像顯示器件150置換為實施方式1所例示的發(fā)光器件110。

本實施方式可以與本說明書所記載的其他實施方式及實施例適當(dāng)?shù)亟M合而實施。

實施方式3

在本實施方式中，參照附圖說明應(yīng)用本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置的電子設(shè)備或照明裝置的例子。

作為應(yīng)用具備彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置的電子設(shè)備，例如可以舉出電視裝置（也稱為電視或電視接收機）、用于計算機等的顯示屏、數(shù)碼相機、數(shù)碼攝像機、數(shù)碼相框、移動電話機（也稱為移動電話、移動電話裝置）、便攜式游戲機、便攜式信息終端、音頻再現(xiàn)裝置、彈珠機等的大型游戲機等。

此外，也可以將照明或顯示裝置沿著在房屋及高樓等的內(nèi)壁或外壁、汽車的內(nèi)部裝修或外部裝修的曲面組裝。

圖7a示出移動電話機的一個例子。移動電話機7400包括組裝在框體7401中的顯示部7402、操作按鈕7403、外部連接端口7404、揚聲器7405、揚聲器7406等。另外，通過將發(fā)光裝置用于顯示部7402制造移動電話機7400。

圖7a所示的移動電話機7400通過用手指等觸摸顯示部7402，可以輸入信息。此外，通過用手指等觸摸顯示部7402可以進行打電話或輸入文字等的所有操作。

此外，通過操作按鈕7403的操作，可以切換電源的on、off或顯示在顯示部7402的圖像的種類。例如，可以將電子郵件的編寫畫面切換為主菜單畫面。

在此，在顯示部7402中組裝有本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置。因此，可以提供具備彎曲的顯示部且可靠性高的移動電話機。

圖7b是腕帶型的顯示裝置的一個例子。便攜式顯示裝置7100包括框體7101、顯示部7102、操作按鈕7103以及收發(fā)裝置7104。

便攜式顯示裝置7100能夠由收發(fā)裝置7104接收圖像信號，且可以將所接收的圖像顯示在顯示部7102。此外，也可以將聲音信號發(fā)送到其他接收設(shè)備。

此外，可以由操作按鈕7103進行電源的on、off工作或所顯示的圖像的切換或者音量調(diào)整等。

在此，顯示部7102組裝有本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置。因此，可以提供具備彎曲的顯示部且可靠性高的便攜式顯示裝置。

圖7c至7e示出照明裝置的一例。照明裝置7200、7210、7220分別包括具備操作開關(guān)7203的底座7201、以及由底座7201支撐的發(fā)光部。

圖7c所示的照明裝置7200具備具有波狀的發(fā)光面的發(fā)光部7202。因此，提供設(shè)計性高的照明裝置。

圖7d所示的照明裝置7210所具備的發(fā)光部7212采用對稱地配置彎曲為凸?fàn)畹膬蓚€發(fā)光部的結(jié)構(gòu)。因此，可以以照明裝置7210為中心全方位地進行照射。

圖7e所示的照明裝置7220具備彎曲為凹狀的發(fā)光部7222。因此，因為將來自發(fā)光部7222的發(fā)光聚集到照明裝置7220的前面，所以適合應(yīng)用于照亮特定的范圍的情況。

在此，在發(fā)光部7222中組裝有本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置。因此，可以提供具備彎曲的顯示部且可靠性高的照明裝置。

另外，不用說，如果具備本發(fā)明的一個方式的發(fā)光裝置，則并不局限于如上所示的電子設(shè)備或照明裝置。

本實施方式可以與本說明書中所記載的其他實施方式及實施例適當(dāng)?shù)亟M合而實施。

實施例1

在本實施例中說明在絕緣襯底及導(dǎo)電襯底上分別制造發(fā)光元件，且對使這些發(fā)光元件發(fā)光時的溫度特性進行測量而得的結(jié)果。

[樣本的制造]

首先，準(zhǔn)備厚度為0.2mm的鋁襯底以及厚度為0.7mm的玻璃襯底。

接著，在各襯底上作為平坦化層分別通過旋涂法形成厚度大約為6μm的環(huán)氧樹脂的層。

接著，作為第一電極及布線，通過使用屏蔽掩模的濺射法依次層疊形成厚度大約為50nm的鈦膜、厚度大約為200nm的鋁膜和厚度大約為100nm的鈦膜。

接著，作為覆蓋第一電極的端部等的絕緣層，通過絲網(wǎng)印刷法形成厚度大約為20μm的環(huán)氧樹脂的層。

然后，在與第一電極重疊的位置上通過真空蒸鍍法形成呈現(xiàn)白色發(fā)光的el層。接著，在el層上作為第二電極通過真空蒸鍍法形成厚度大約為30nm的銀和鎂的合金膜。

像這樣，在鋁襯底及玻璃襯底上形成具備長度大約為56mm且寬度大約為42mm的發(fā)光區(qū)域的發(fā)光元件。在此，將使用鋁襯底的樣品作為樣品1，而將使用玻璃襯底的樣品作為樣品2。在本實施例中，分別制造兩個樣品1及樣品2。

[溫度特性評價]

接著，對使各樣品發(fā)光時的發(fā)光面上的溫度的時間依賴性進行評價。

當(dāng)進行評價時，將樣品接觸地配置在不銹鋼制造的桌子上，將0.7mm的玻璃板接觸地設(shè)置在樣品上，并將熱電耦貼附到該玻璃板上而測量發(fā)光面附近的溫度。對兩個部分，即發(fā)光面的中央部和靠近于外周的區(qū)域進行溫度的測量。

圖8a、8b都是各樣品的各測量點的從發(fā)光開始的時間的溫度變動的測量結(jié)果。圖8a示出發(fā)光面的中央部分的測量結(jié)果，圖8b示出靠近于發(fā)光面的外周的區(qū)域的測量結(jié)果。下面，說明測量結(jié)果。

首先，在所有的樣品中都有發(fā)光面的中央部分的發(fā)熱溫度比靠近于發(fā)光面的外周的區(qū)域的發(fā)熱溫度高的趨勢。

在使用鋁襯底的樣品1中，當(dāng)注目于中央部分時確認(rèn)到如下趨勢，即雖然在從發(fā)光開始大約50秒的期間溫度陡然升高，但是之后溫度上升變緩慢。至于從發(fā)光開始到300秒鐘后的發(fā)光面附近的溫度，在中央部分有37℃左右，且在靠近于外周的區(qū)域有34℃左右。

另一方面，在使用玻璃襯底的樣品2中確認(rèn)到如下趨勢，即在發(fā)光開始之后的溫度上升是陡然的，且之后溫度上升的比例也比樣品1大。至于從發(fā)光開始到300秒鐘后的發(fā)光面近旁的溫度，在中央部分有42℃且在靠近于外周的區(qū)域有37℃左右。

根據(jù)上述結(jié)果，確認(rèn)到通過作為襯底使用金屬襯底，可以實現(xiàn)高放熱性。

本實施例可以與本說明書所記載的其他實施方式或?qū)嵤├m當(dāng)?shù)亟M合而實施。

實施例2

在本實施例中，說明通過實施方式1所例示的方法制造的發(fā)光裝置。

首先，與實施例1所說明的樣品1同樣，在鋁襯底上形成平坦化層、第一電極層、絕緣層、el層及第二電極層，來形成具備長度大約為56mm且寬度大約為42mm的發(fā)光區(qū)域的發(fā)光元件。

接著，使用低粘性的粘合劑將形成有發(fā)光元件的鋁襯底彎曲地固定到具備曲率半徑為45mm的凸?fàn)畹谋砻娴闹误w。

接著，在鋁襯底上滴加光固化環(huán)氧樹脂作為密封劑。

接著，作為保護層使用依次層疊厚度大約為50μm的玻璃層、厚度大約為20μm的粘合層和厚度大約為38μm的由pet（polyethyleneterephthalate：聚對苯二甲酸乙二醇酯）構(gòu)成的樹脂層的疊層體，并且在鋁襯底上的沒有設(shè)置發(fā)光元件的區(qū)域中，將該保護層的端部緊貼到上述光固化環(huán)氧樹脂。然后，從保護層的上方對該緊貼部分照射波長為365nm的紫外線來使環(huán)氧樹脂固化，從而使保護層和鋁襯底的一部分粘合。

接著，使用滾筒狀的部件，一邊將該滾筒狀的部件按壓到保護層的表面，一邊以上述緊貼部分為開始點使該滾筒狀的部件沿著支撐體的曲面按壓滾動，來使保護層和光固化樹脂緊貼。

接著，從保護層的上方對光固化樹脂的未固化的區(qū)域照射上述紫外線而進行固化，來使鋁襯底和保護層完全粘合。

像這樣，在鋁襯底上制造具備彎曲的發(fā)光部的發(fā)光裝置。

圖9示出使所制造的發(fā)光裝置發(fā)光時的照片。

此外，確認(rèn)到在本實施例中制造的發(fā)光裝置在常溫常濕下的超過380小時時也進行優(yōu)良的發(fā)光。另外，沒有形成保護層的樣品在制造之后大約82小時時產(chǎn)生發(fā)光不良。

根據(jù)上述結(jié)果，可以確認(rèn)到根據(jù)本發(fā)明的一個方式的制造方法，能夠在不產(chǎn)生縫裂或破裂等的不良的情況下制造具備彎曲的發(fā)光面的發(fā)光裝置。此外，還可以確認(rèn)到這樣制造的發(fā)光裝置是沒有密封不良的可靠性高的發(fā)光裝置。

本實施例可以與本說明書中所記載的其他實施方式及實施例適當(dāng)?shù)亟M合而實施。