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一種光電探測器陣列的制作方法

文檔序號:12725236閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種光電探測器陣列,其特征在于,包括:

半絕緣的襯底層;

覆蓋在所述襯底層表面的絕緣鈍化層;

設置在所述襯底層上且位于所述鈍化層內(nèi)的至少2個光電探測器;

在每個所述光電探測器的N接觸層上蒸鍍的N接觸電極;

在每個所述光電探測器的P接觸層上蒸鍍的P接觸電極;

在所述N接觸電極上開孔設置并在所述鈍化層上蒸鍍的接地大電極;以及

在所述P接觸電極上開孔設置并在所述鈍化層上蒸鍍的信號大電極。

2.如權(quán)利要求1所述的光電探測器陣列,其特征在于,各個光電探測器的N接觸電極通過所述接地大電極互相連通,各個光電探測器的P接觸電極通過所述信號大電極互相連通;

所述信號大電極,用于將各個光電探測器產(chǎn)生的電信號進行疊加形成信號線;

所述接地大電極,用于將電信號接地形成地線。

3.如權(quán)利要求2所述的光電探測器陣列,其特征在于,各個光電探測器以所述信號大電極為中心呈中心對稱分布,各個光電探測器的P接觸電極到所述信號大電極的距離相等。

4.如權(quán)利要求2所述的光電探測器陣列,其特征在于,所述接地大電極為一環(huán)形結(jié)構(gòu),所述環(huán)形結(jié)構(gòu)的中心與所述信號大電極的中心重合。

5.如權(quán)利要求1所述的光電探測器陣列,其特征在于,所述光電探測器利用標準半導體工藝制作而成,為PIN光電探測器、單行載流子光電探測器和雪崩光電探測器中的任一種。

6.如權(quán)利要求5所述的光電探測器陣列,其特征在于,所述光電探測器為垂直耦合的光耦合方式,入射光通過所述襯底層入射。

7.如權(quán)利要求1所述的光電探測器陣列,其特征在于,各個光電探測器之間通過化學刻蝕至所述襯底層并且相互隔離。

8.如權(quán)利要求1所述的光電探測器陣列,其特征在于,所述襯底層經(jīng)過減薄拋光處理。

9.如權(quán)利要求1所述的光電探測器陣列,其特征在于,所述鈍化層為在整個襯底層上覆蓋的聚酰亞胺或二氧化硅。

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