技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于硅片制備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種硅片脫膠清洗方法，通過噴淋沖洗、超聲清洗、弱酸溶液浸泡脫膠三個步驟，對硅片表面的切割液、污染物顆粒以及殘留膠依次進(jìn)行了有效的清洗清除。本發(fā)明還提供了一種硅片脫膠清洗裝置，通過自動化程序控制，減少人工干預(yù)。本發(fā)明有效的提高了硅片脫膠質(zhì)量，提升了清洗效率，有利于硅片的后續(xù)精細(xì)清洗。

技術(shù)研發(fā)人員：王會敏;張浩強(qiáng);曹祥瑞;李立偉;張穩(wěn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：邢臺晶龍電子材料有限公司
文檔號碼：201710097258
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.22
技術(shù)公布日：2017.06.09