技術(shù)編號：12599111
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及硅片制備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片脫膠清洗方法及裝置。背景技術(shù)隨著社會的發(fā)展和對環(huán)境保護的重視，太陽能的利用越來越受到重視，硅片是太陽能電池片的載體，硅片質(zhì)量的好壞直接決定了太陽能電池片轉(zhuǎn)換效率的高低。而硅片表面的潔凈度是影響硅片質(zhì)量的關(guān)鍵因素。為了獲得潔凈度高的硅片，在經(jīng)過線切割后的硅片需經(jīng)過脫膠清洗和精細清洗兩個部分，而作為第一道清洗工序的脫膠清洗是獲得潔凈硅片的重要工序。傳統(tǒng)的脫膠清洗工藝一般為人工操作，工藝過程為將硅片浸泡在40℃以上的熱水槽中，浸泡50-130分鐘，效率低，...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。