技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種各向異性氮化鈦陶瓷薄膜及其制備方法，由統(tǒng)一晶格取向的單層氮化鈦納米層片晶粒構(gòu)成，所述層片晶粒的（111）晶面平行于薄膜表面排列堆垛，形成具有織構(gòu)取向的氮化鈦陶瓷薄膜；制備方法包括以下步驟：（1）置于氫氟酸中，腐蝕得Ti3C2陶瓷粉末；（2）將陶瓷粉末清洗后超聲剝離，得單層的Ti3C2納米片；（3）將Ti3C2納米片經(jīng)離心，真空抽濾后得到Ti3C2陶瓷薄膜前驅(qū)體；（4）干燥后得到Ti3C2陶瓷薄膜；（5）將Ti3C2陶瓷薄膜高溫氮化處理得目標(biāo)產(chǎn)物；本發(fā)明通過對Ti3C2陶瓷薄膜前驅(qū)體進行熱處理，在高溫下實現(xiàn)原位氮化，得到導(dǎo)電性能好、硬度高，具有各向異性的氮化鈦陶瓷薄膜。

技術(shù)研發(fā)人員：胡春峰;朱德貴;許璐迪;姚遠思
受保護的技術(shù)使用者：西南交通大學(xué)
文檔號碼：201710045553
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.20
技術(shù)公布日：2017.06.13