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一種異質(zhì)結(jié)雙極晶體管的基極結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11335001閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種異質(zhì)結(jié)雙極晶體管的基極結(jié)構(gòu),包括基極半導(dǎo)體層以及設(shè)于所述基極半導(dǎo)體層之上的基極金屬,其特征在于:所述基極金屬由Pt/Ti/Pt的疊層結(jié)構(gòu)組成,其中:第一Pt金屬層與所述基極半導(dǎo)體層接觸,厚度為3~8nm;Ti金屬層設(shè)置于所述第一Pt金屬層之上,厚度為40~60nm;第二Pt金屬層設(shè)置于所述Ti金屬層之上,厚度為110~150nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異質(zhì)結(jié)雙極晶體管的基極結(jié)構(gòu),其特征在于:所述基極半導(dǎo)體層是GaAs。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異質(zhì)結(jié)雙極晶體管的基極結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一Pt金屬層的厚度為4~7nm,所述Ti金屬層的厚度為45~55nm,所述第二Pt金屬層的厚度為120~140nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的異質(zhì)結(jié)雙極晶體管的基極結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一Pt金屬層的厚度為5nm,所述Ti金屬層的厚度為50nm,所述第二Pt金屬層的厚度為130nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異質(zhì)結(jié)雙極晶體管的基極結(jié)構(gòu),其特征在于:所述Pt/Ti/Pt的疊層結(jié)構(gòu)通過蒸鍍或?yàn)R鍍形成,所述第一Pt金屬層、Ti金屬層和第二Pt金屬層等寬。

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