技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種刻蝕裝置。其包括刻蝕槽，刻蝕槽的上游設(shè)置有上料端，上料端和刻蝕槽的上部設(shè)置有用于輸送硅片的滾輪組件，上料端在滾輪組件的上方設(shè)置有噴淋管，噴淋管和刻蝕槽之間設(shè)置有搟液滾輪，搟液滾輪位于滾輪組件的上方。噴淋管可向硅片噴灑液體，以去除硅片表面的磷硅玻璃，搟液滾輪可將硅片中殘留的液體搟走，使得硅片表面成疏水狀，保證硅片在經(jīng)過刻蝕槽時不會翻液，不易造成過刻。本實用新型的刻蝕裝置結(jié)構(gòu)簡單，無需大規(guī)模改裝，容易實現(xiàn)，適于推廣應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：周軍;黨繼東;劉東續(xù)
受保護的技術(shù)使用者：蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司
文檔號碼：201621370656
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.14
技術(shù)公布日：2017.08.15