1.一種刻蝕裝置，包括刻蝕槽(1)，其特征在于，所述刻蝕槽(1)的上游設(shè)置有上料端(2)，所述上料端(2)和所述刻蝕槽(1)的上部設(shè)置有用于輸送硅片(100)的滾輪組件(3)，所述上料端(2)在所述滾輪組件(3)的上方設(shè)置有噴淋管(4)，所述噴淋管(4)和所述刻蝕槽(1)之間設(shè)置有搟液滾輪(5)，所述搟液滾輪(5)位于所述滾輪組件(3)的上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述刻蝕槽(1)內(nèi)設(shè)置有擋板組件，所述擋板組件將所述刻蝕槽(1)沿水平方向分隔成多個小槽，所述擋板組件包括至少一對溢流擋板(11)，每對所述溢流擋板(11)之間均設(shè)置有抽風管道(12)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述抽風管道(12)的側(cè)壁沿其長度方向設(shè)置有多個通風孔(121)或者設(shè)置有長條狀開口(122)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述滾輪組件(3)包括多個沿水平方向并排間隔設(shè)置的滾輪，所述刻蝕槽(1)內(nèi)每隔兩個所述滾輪均設(shè)置有一對所述溢流擋板(11)，一對所述溢流擋板(11)之間的距離等于相鄰的兩個所述滾輪之間的距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述抽風管道(12)的外徑小于相鄰的兩個所述滾輪之間的距離。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述噴淋管(4)與所述搟液滾輪(5)之間的水平距離為10～30cm。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述噴淋管(4)與所述搟液滾輪(5)之間的水平距離為15cm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述搟液滾輪(5)為海綿滾輪或硬質(zhì)滾輪。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕裝置，其特征在于，所述噴淋管(4)設(shè)置有至少一個噴頭(41)，所述噴頭(41)沿其長度方向設(shè)置有多個噴孔(411)。