1.一種基板承載臺，其特征在于，所述基板承載臺包括載盤以及多個頂針，所述載盤設(shè)有多個穿孔，所述載盤用于水平承載基板；所述頂針可相對所述載盤上升或者下降，所述頂針包括頂端、底端以及彈性件，所述頂端和所述底端設(shè)置于所述頂針的兩個末端，所述頂端通過所述穿孔以頂升承載于所述載盤中的基板，當(dāng)所述頂針上升使得頂端施加一頂升力于所述基板以頂升所述基板時，所述彈性件發(fā)生形變而產(chǎn)生一緩沖力，減緩所述頂針對所述基板的作用力。
2.如權(quán)利要求1所述的基板承載臺，其特征在于，所述頂針還包括密封件，所述密封件包括本體、設(shè)置于本體內(nèi)的空腔、以及設(shè)置于本體上與所述空腔連通的通孔，所述彈性件和所述頂針靠近所述底端的部分位于所述空腔內(nèi)，所述頂針靠近所述頂端的部分透過所述通孔外漏于所述本體。
3.如權(quán)利要求2所述的基板承載臺，其特征在于，所述頂針還包括位于所述空腔內(nèi)的擋塊，所述擋塊設(shè)置于所述頂針靠近底端的位置上。
4.如權(quán)利要求3所述的基板承載臺，其特征在于，所述密封件還包括本體上相對設(shè)置的頂部和底部，所述頂部設(shè)有所述通孔。
5.如權(quán)利要求4所述的基板承載臺，其特征在于，所述彈性件設(shè)置于所述擋塊與所述底部之間。
6.如權(quán)利要求5所述的基板承載臺，其特征在于，所述彈性件套設(shè)于所述頂針上。
7.如權(quán)利要求2所述的基板承載臺，其特征在于，所述穿孔的尺寸與所述頂針的尺寸相匹配，所述通孔的尺寸與所述頂針的尺寸相匹配。
8.如權(quán)利要求2所述的基板承載臺，其特征在于，所述基板承載臺還包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動所述頂針上升與下降。
9.如權(quán)利要求8所述的基板承載臺，其特征在于，所述密封件還包括有凹槽及凸塊，所述凹槽用于與彈性件連接，所述凸塊用于與所述升降機(jī)構(gòu)連接。
10.如權(quán)利要求9所述的基板承載臺，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)還包括與所述凸塊相對應(yīng)設(shè)置的凹塊，所述凹塊的尺寸與凸塊的尺寸相匹配。