本實用新型涉及顯示器加工技術領域，尤其涉及一種基板承載臺。

背景技術：

在半導體、液晶顯示面板、或者其他精密加工所需的基板需要放置在承載臺上，以進行各種加工。然而，基板載裝卸過程中，基板處理表面不能直接碰觸，因此一般通過在承載臺上伸出頂針，使頂針頂起基板，從而可以將基板進行裝卸。但是，現(xiàn)有的頂針設計容易與基板直接碰撞，導致基板內(nèi)部受損或表面產(chǎn)生凹點，大大地影響了產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型實施例提供一種可以提升基板良率的基板承載臺。

一種基板承載臺，所述基板承載臺包括載盤以及多個頂針，所述載盤設有多個穿孔，所述載盤用于水平承載基板；所述頂針可相對所述載盤上升或者下降，所述頂針包括頂端、底端以及彈性件，所述頂端和所述底端設置于所述頂針的兩個末端，所述頂端通過所述穿孔以頂升承載于所述載盤中的基板，當所述頂針上升使得頂端施加一頂升力于所述基板以頂升所述基板時，所述彈性件發(fā)生形變而產(chǎn)生一緩沖力，減緩所述頂針對所述基板的作用力。

進一步地，所述頂針還包括密封件，所述密封件包括本體、設置于本體內(nèi)的空腔、以及設置于本體上與所述空腔連通的通孔，所述彈性件和所述底端位于所述空腔內(nèi)，所述頂針靠近所述頂端的部分透過所述通孔外漏于所述本體。

進一步地，所述頂針還包括位于所述空腔內(nèi)的擋塊，所述擋塊設置于所述頂針靠近底端的位置上。

進一步地，所述密封件還包括相對設置的頂部和底部，所述頂部設有所述通孔。

進一步地，所述彈性件設置于所述擋塊與所述底部之間。

進一步地，所述彈性件套設于所述頂針上。

進一步地，所述穿孔的尺寸與所述頂針的尺寸相匹配，所述通孔的尺寸與所述頂針的尺寸相匹配。

進一步地，所述基板承載臺還包括升降機構，所述升降機構用于驅動所述頂針上升與下降。

進一步地，所述密封件還包括有凹槽及凸塊，所述凹槽用于與彈性件連接，所述凸塊用于與所述升降機構連接。

進一步地，所述升降機構還包括與所述凸塊相對應設置的凹塊，所述凹塊的尺寸與凸塊的尺寸相匹配。

上述基板承載臺在頂針上設有彈性件，在頂針頂升基板時產(chǎn)生緩沖力，避免所述頂針與所述基板產(chǎn)生的頂升力對該基板內(nèi)部造成損傷或在其表面產(chǎn)生凹點，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。

附圖說明

圖1為一種基板承載臺的第一實施例示意圖。

圖2為一種基板承載臺的第二實施例示意圖。

圖3為一種基板承載臺承載基板示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實施例的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型實施例進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型實施例，并不用于限定本實用新型實施例。

以下結合具體附圖對本實用新型實施例的實現(xiàn)進行詳細的描述。

請參看圖1，其為一種基板承載臺的第一實施例示意圖?；宄休d臺100包括載盤11、多個頂針12以及升降機構13。

載盤11上設有多個穿孔111，該載盤11用于水平承載基板 10(例如玻璃基板、塑料基板或曲面基板)。載盤11所采用的材料根據(jù)基板10具體制程場景來確定。例如，若是進行基板的涂布制程，該載盤11可采用大理石材質(zhì)；若是進行基板的烘烤制程，該載盤11可采用鋁材料。優(yōu)選地，載盤11的尺寸與基板尺寸相匹配。

頂針12可相對載盤11上升或者下降。在一些可行實施例中，頂針12呈圓柱體狀，在一些其他可行的實施例中，頂針12可為棱柱狀、矩形狀等。頂針12包括頂端121、以及底端123、彈性件 125、擋塊122、密封件124。彈性件125、擋塊122、以及頂針12 靠近底端123的部分位于密封件124中。頂端121和底端123分別設置于頂針12的兩個末端。擋塊122位于靠近底端123的位置。彈性件125套設于頂針12上并位于擋塊122靠近底端123的一側，并限制于擋塊122和密封件124之間。

頂端121呈球面狀，頂端121穿過穿孔111接觸支撐基板10，該頂端121的尺寸與穿孔111相匹配。由于頂端121為球面狀，可減少頂端121與基板10的接觸面積，進而減少頂端121與基板10 接觸時對基板10的溫度影響。

彈性件125套設于頂針12上，彈性件125的橫截面大于頂針12 的橫截面，使得頂針12與彈性件125之間存在一定的間隙。在本實施例中彈性件125為彈簧。彈性件125的一端定位于密封件124上。

擋塊122呈“C”型環(huán)狀，擋塊122卡持固定于頂針12上，擋塊122與密封件124之間存在一定間隙，從而將頂針12與密封件 124隔離開。

密封件124包括本體1241、設置于本體內(nèi)的空腔1242、以及設置于本體1241上與空腔1242連通的通孔1243，本體1241上有相對設置的頂部12411和底部12412，本體1241可為中空的圓柱體。擋塊122、底端123以及彈性件125都位于密封件124設置于本體內(nèi)的空腔1242內(nèi)。頂針12靠近頂端121的部分透過通孔1243外漏于本體1241。通孔1243位于本體1241上的頂部12411上，該通孔1243 的尺寸與頂針12的尺寸相匹配。密封件124將擋塊122、底端123 以及彈性件125密封于其內(nèi)，用以固定頂針12和彈性件125的位置，且防止頂針12在上下移動過程中與升降機構13摩擦生塵。

密封件124還包括有凹槽1244，凹槽1244設置于底部12412的內(nèi)側，用以定位彈性件125，凹槽槽高可為2mm，凹槽為圓柱體凹槽；底部12412的外側還設有多個凸塊1245，凸塊1245厚度可為 2mm，凸塊1245與密封件124成一體成型結構，凸塊1245用于與升降機構13定位連接。

升降機構13用于驅動頂針12上升與下降。升降機構13包括了與凸塊1245相對應設置的凹塊131，凹塊131的尺寸與凸塊1245尺寸相匹配，凸塊1245與凹塊131接觸固定，密封件124放置在升降機構13平臺上。當升降機構13驅動頂針12上升時則直接帶動頂針 12上升，下降時則通過頂針12自身重力下降。由于凹塊131與凸塊 1245連接，可以防止密封件124與升降機構13大面積接觸連接，避免造成在相同表面接觸中頂針12出現(xiàn)高度差。

請參看圖2，一種基板承載臺的第二實施例示意圖。本實施例二與實施例一區(qū)別在于設置于底部12412＇上的凹槽1244＇、凸塊 1245＇設計形狀不同，凹槽1244＇用于固定彈性件125＇，凸塊 1245＇用于密封件124＇固定于升降機構13＇，升降機構13＇上設置的凹塊131＇與凸塊1245＇相對應，實施例二中的凹槽1244＇以及凸塊1245＇為浮型。

請參看圖3，一種基板承載臺承載基板示意圖。升降機構13驅動頂針12上升，帶動頂針12通過載盤11上的穿孔111以頂升承載基板10，當頂針12上升使得頂端121施加一頂升力于基板10以頂升基板10時，彈性件125發(fā)生形變而產(chǎn)生一緩沖力，減緩頂針對基板的作用力。

在一些實施例中，可以省略密封件124，將彈性件125固定于承載臺其他位置上。在一些實施例中，還可以省略密封件124和擋塊122，彈性件125一端固定于頂針上，另一端固定于承載臺的其他位置上。

上述實施例中，通過在頂針12與升降機構13中增加彈性件125，頂針12在上升接觸基板10時頂針頂端121對基板10產(chǎn)生了一頂升力，該頂升力通過頂針底端123連接的彈性件125發(fā)生形變而產(chǎn)生一緩沖力，進而減緩了頂針對基板產(chǎn)生的作用力，避免頂針與基板產(chǎn)生的頂升力對基板內(nèi)部造成損傷或在基板表面產(chǎn)生凹點，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。

以上僅為本實用新型實施例的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型實施例，凡在本實用新型實施例的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型實施例的保護范圍之內(nèi)。