本實(shí)用新型涉及一種清洗設(shè)備，更具體的說，它涉及一種自動(dòng)硅料清洗裝置。

背景技術(shù)：

地殼中含量達(dá)25.8%的硅元素，為單晶硅的生產(chǎn)提供了取之不盡的源泉，由于硅元素是地殼中儲(chǔ)量最豐富的元素之一，對(duì)太陽能電池這樣注定要進(jìn)入大規(guī)模市場(chǎng)的產(chǎn)品而言，儲(chǔ)量的優(yōu)勢(shì)也是硅成為光伏主要材料的原因之一。

硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運(yùn)算能力。科學(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動(dòng)著半導(dǎo)體的發(fā)展，自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)等技術(shù)發(fā)展，使硅片（集成電路）這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價(jià)已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應(yīng)用于航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防，甚至悄悄進(jìn)入每一個(gè)家庭。

在半導(dǎo)體期間生產(chǎn)中，大約有20%的工序與硅片清洗有關(guān)，硅片經(jīng)過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，后面已經(jīng)受到嚴(yán)重的污染，清洗的目的就是為了去除硅片表面顆粒，金屬離子以及有機(jī)物等污染。

現(xiàn)有技術(shù)中，授權(quán)公告號(hào)為CN106012006A的專利公布了一種用于放置多晶硅料的放置筒，包括筒體和密封蓋，所述筒體具有多個(gè)孔洞，所述筒體的左端或右端具有開口，所述開口與所述密封蓋連接，除此之外，本專利還公開了一種多晶硅料清洗裝置，包括如上述所述的用于放置多晶硅料的放置筒和放置有清洗酸液的密封浸泡池，所述多晶硅料清洗筒橫向放置在所述密封浸泡池內(nèi)。

該用于放置多晶硅料的放置筒在使用時(shí)，由于要將硅片從筒體的左端或右端的開口放入到筒體內(nèi)，所以可能導(dǎo)致硅片堆積在開口處而無法進(jìn)入到筒體的中心處。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種自動(dòng)硅料清洗裝置，該自動(dòng)硅料清洗裝置在清洗提籃的表面上設(shè)置有可拆卸提籃蓋，能夠通過拆卸提籃蓋來將硅片放入，不會(huì)導(dǎo)致硅片堆積在清洗提籃的兩端。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：一種自動(dòng)硅料清洗裝置，包括浸泡箱，所述浸泡箱內(nèi)設(shè)置有清洗花籃，所述清洗花籃為棱柱形，所述清洗花籃通體設(shè)置有若干篩孔，所述清洗花籃表面上開設(shè)有提籃開口，所述提籃開口上設(shè)置有提籃蓋，所述提籃蓋上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述提籃蓋旋轉(zhuǎn)連接，所述旋轉(zhuǎn)軸上固定設(shè)置有旋轉(zhuǎn)閂，所述提籃開口兩側(cè)設(shè)置有供旋轉(zhuǎn)閂旋轉(zhuǎn)時(shí)插入的旋轉(zhuǎn)孔。

通過采用上述技術(shù)方案，將硅片通過開口放置在清洗花籃內(nèi)后，不會(huì)使得硅片堆積在清洗花籃的兩端，提籃蓋抵設(shè)在開口處，人工對(duì)旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，能夠?qū)⒐潭ㄔO(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸上的旋轉(zhuǎn)閂旋到旋轉(zhuǎn)孔內(nèi)，實(shí)現(xiàn)對(duì)清洗花籃的封閉，能夠防止放置在清洗提籃內(nèi)的硅片在清洗的過程中脫離出花籃而造成對(duì)硅片的損壞，通過將清洗液導(dǎo)入浸泡箱內(nèi)，清洗液會(huì)通過篩孔進(jìn)入清洗花籃內(nèi)對(duì)硅片進(jìn)行清洗處理，清洗花籃為棱柱型，能夠在旋轉(zhuǎn)時(shí)，清洗花籃內(nèi)的硅片會(huì)發(fā)生攪拌的現(xiàn)象，不會(huì)使硅片堆積在清洗花籃內(nèi)的某一處，使得清洗液對(duì)硅片的清洗更加徹底。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述浸泡箱內(nèi)對(duì)稱設(shè)置有U型槽，所述清洗花籃兩端設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，所述清洗花籃通過所述轉(zhuǎn)軸與所述U型槽配合與所述浸泡箱旋轉(zhuǎn)連接。

通過采用上述技術(shù)方案，在清洗時(shí)，清洗花籃兩端設(shè)置的轉(zhuǎn)軸能夠在U型槽內(nèi)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠帶動(dòng)清洗花籃內(nèi)的硅片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、翻轉(zhuǎn)，能夠?qū)⒐杵逑吹母訌氐住?/p>

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述清洗花籃兩端同心設(shè)置有從動(dòng)齒輪，所述浸泡箱內(nèi)穿設(shè)有齒輪軸，所述齒輪軸上設(shè)置有與所述從動(dòng)齒輪相嚙合的主動(dòng)齒輪，所述浸泡箱內(nèi)還設(shè)置有驅(qū)動(dòng)所述齒輪軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)組件。

通過采用上述技術(shù)方案，驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)齒輪軸旋轉(zhuǎn)，使之主動(dòng)齒輪帶動(dòng)從動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，由于從動(dòng)齒輪設(shè)置在清洗花籃上，所以從動(dòng)齒輪的旋轉(zhuǎn)能夠帶動(dòng)清洗花籃旋轉(zhuǎn)，使得清洗花籃內(nèi)的硅片與浸泡箱內(nèi)的清洗液充分的接觸，硅片清洗的更加徹底，齒輪傳動(dòng)結(jié)構(gòu)簡單并且具有精確高，壽命長的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)置在浸泡箱上的傳送帶主動(dòng)輪以及設(shè)置在所述齒輪軸一端的傳送帶從動(dòng)輪，所述傳送帶主動(dòng)輪與傳送帶從動(dòng)輪上套設(shè)有傳送帶，所述浸泡箱上還設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)所述傳送帶主動(dòng)輪旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)件。

通過采用上述技術(shù)方案，驅(qū)動(dòng)件來帶動(dòng)傳送帶主動(dòng)輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，傳送帶從動(dòng)輪在傳送帶的傳動(dòng)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)齒輪軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，齒輪傳動(dòng)來使得清洗花籃進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并且傳送帶傳動(dòng)具有結(jié)構(gòu)簡單，并且傳動(dòng)平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述驅(qū)動(dòng)件為電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸與所述傳送帶主動(dòng)輪連接。

通過采用上述技術(shù)方案，電機(jī)開啟后，能夠帶動(dòng)傳送帶主動(dòng)輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，結(jié)構(gòu)簡單，并且操作簡單。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述浸泡箱上設(shè)置有張緊帶輪，所述張緊帶輪的滾動(dòng)面與所述傳送帶的內(nèi)周面抵接并對(duì)所述傳送帶施加張力。

通過采用上述技術(shù)方案，張緊帶輪的設(shè)置能夠起到對(duì)傳送帶的張緊作用，防止傳送帶脫離出傳送帶從動(dòng)輪或傳送帶主動(dòng)輪。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述浸泡箱底面設(shè)置有排液口。

通過采用上述技術(shù)方案，清洗液在對(duì)清洗提籃內(nèi)的硅片清洗完后，能夠方便的通過排液口來排出。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述清洗花籃的材質(zhì)為聚四氟乙烯。

通過采用上述技術(shù)方案，聚四佛乙烯材質(zhì)重量輕，具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、密封性、高潤滑不粘性和良好的抗老化耐力，能夠防止清洗提籃被清洗液所腐蝕，并且使用壽命長。

綜上所述，本實(shí)用新型具有以下有益效果：本實(shí)用新型能夠防止放置在清洗提籃內(nèi)的硅片在清洗的過程中脫離出花籃而造成對(duì)硅片的損壞。

附圖說明

圖1為實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為實(shí)施例的爆炸圖。

圖中：1、浸泡箱；2、混酸腐蝕槽；21、排液口；22、機(jī)座；23、清洗提籃；24、轉(zhuǎn)軸；25、轉(zhuǎn)動(dòng)槽；231、提籃開口；232、提籃蓋；233、旋轉(zhuǎn)軸；234、旋轉(zhuǎn)閂；235、旋轉(zhuǎn)孔；236、篩孔；31、從動(dòng)齒輪；32、齒輪軸；33、主動(dòng)齒輪；41、傳送帶從動(dòng)輪；42、傳送帶主動(dòng)輪；43、張緊帶輪；44、傳送帶；45、電機(jī)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

實(shí)施例：

一種自動(dòng)硅料清洗裝置，如圖1以及圖2所示，包括浸泡箱1，浸泡箱1上設(shè)置有混酸腐蝕槽2，混酸腐蝕槽2的底面開設(shè)有排液口21，清洗液在對(duì)硅片清洗完后能夠通過排液口21排出，混酸腐蝕槽2內(nèi)設(shè)置有機(jī)座22，機(jī)座22上設(shè)置有清洗提籃23，清洗提籃23的材質(zhì)為聚四氟乙烯，聚四佛乙烯材質(zhì)重量輕，具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性、密封性、高潤滑不粘性和良好的抗老化耐力，能夠防止清洗提籃23被清洗液所腐蝕，并且使用壽命長，清洗提籃23兩端設(shè)置有轉(zhuǎn)軸24，機(jī)座22上設(shè)置有與轉(zhuǎn)軸24配合的U型的轉(zhuǎn)動(dòng)槽25，清洗提籃23通過轉(zhuǎn)軸24與轉(zhuǎn)動(dòng)槽25的配合與混酸腐蝕槽2旋轉(zhuǎn)連接，清洗提籃23形狀為棱柱，在清洗提籃23旋轉(zhuǎn)時(shí)增大了硅片與清洗液的接觸面積，使得硅片能夠清洗的更加徹底，并且清洗提籃23通體設(shè)置有若干的篩孔236，能夠在清洗的過程中，通過篩孔236來過濾掉清洗液。

清洗提籃23上設(shè)置有提籃開口231，提籃開口231上設(shè)置有提籃蓋232，提籃蓋232上對(duì)稱固定設(shè)置有兩根旋轉(zhuǎn)軸233，旋轉(zhuǎn)軸233與提籃蓋232旋轉(zhuǎn)連接，旋轉(zhuǎn)軸233上固定穿設(shè)有旋轉(zhuǎn)閂234，提籃開口231兩側(cè)均設(shè)置有旋轉(zhuǎn)孔235，旋轉(zhuǎn)孔235的位置與旋轉(zhuǎn)軸233相對(duì)應(yīng)，硅片放置到清洗提籃23內(nèi)后，將提籃蓋232蓋合在提籃開口231上，旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)軸233能夠?qū)⑿D(zhuǎn)閂234旋入到旋轉(zhuǎn)孔235內(nèi)，來完成對(duì)清洗提籃23的封閉，防止放置在清洗提籃23里的硅片脫離出清洗提籃23。

由于在清洗時(shí)，需要使得清洗提籃23旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行對(duì)清洗提籃23內(nèi)的硅片進(jìn)行徹底的清洗，所以混酸腐蝕槽2內(nèi)設(shè)置有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括清洗提籃23兩端面均同心設(shè)置有從動(dòng)齒輪31，兩側(cè)機(jī)座22底端穿設(shè)有齒輪軸32，齒輪軸32上固定設(shè)置有與從動(dòng)齒輪31相嚙合的主動(dòng)齒輪33，主動(dòng)齒輪33設(shè)置有兩個(gè)，分別處于清洗提籃23的兩端，齒輪軸32的一端設(shè)置有驅(qū)動(dòng)齒輪軸32進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件帶動(dòng)齒輪軸32進(jìn)行旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于主動(dòng)齒輪33與從動(dòng)齒輪31相嚙合，所以主動(dòng)齒輪33會(huì)帶動(dòng)從動(dòng)齒輪31轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得清洗提籃23在混酸腐蝕槽2內(nèi)發(fā)生旋轉(zhuǎn)。

驅(qū)動(dòng)組件包括穿設(shè)在齒輪軸32一端的傳送帶從動(dòng)輪41，以及旋轉(zhuǎn)設(shè)置在混酸腐蝕槽2側(cè)壁上的傳送帶主動(dòng)輪42以及張緊帶輪43，傳送帶從動(dòng)輪41、張緊帶輪43以及傳送帶主動(dòng)輪42上套設(shè)有傳送帶44，張緊帶輪43的滾動(dòng)面與傳送帶44的內(nèi)周面抵接并對(duì)傳送帶44施加張力，張緊帶輪43起到對(duì)傳送帶44的張緊作用，防止傳送帶44脫離出傳送帶從動(dòng)輪41或傳送帶主動(dòng)輪42，浸泡箱1外壁上設(shè)置有電機(jī)45，電機(jī)45的輸出軸穿設(shè)于浸泡箱1并伸出與傳送帶主動(dòng)輪42連接，電機(jī)45啟動(dòng)，帶動(dòng)傳送帶主動(dòng)輪42旋轉(zhuǎn)從而通過傳送帶44從帶輪傳動(dòng)至齒輪軸32，齒輪軸32帶動(dòng)清洗提籃23進(jìn)行自動(dòng)化旋轉(zhuǎn)。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。