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一種雙向超低電容瞬態(tài)電壓抑制器的制作方法

文檔序號(hào):12803272閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種雙向超低電容瞬態(tài)電壓抑制器,包括:第一導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體襯底;第二導(dǎo)電類型的第一外延層;第一導(dǎo)電類型的第一埋層,該第一埋層自第一外延層表面延伸至其內(nèi),第一埋層所環(huán)繞的第一外延層的區(qū)域?yàn)楦綦x島;在隔離島內(nèi)形成的第一導(dǎo)電類型的第三埋層,其延伸進(jìn)入第一外延層;形成第一導(dǎo)電類型的第三外延層;在隔離島內(nèi)形成的第二導(dǎo)電類型的隔離,其從第三外延層表面延伸進(jìn)入第一外延層;第一導(dǎo)電類型的第一摻雜區(qū),形成在第三埋層上方的第三外延層中;第一導(dǎo)電類型的第二摻雜區(qū),包括與隔離接觸的第二摻雜區(qū)和由隔離所環(huán)繞的區(qū)域內(nèi)的第二摻雜區(qū);第二導(dǎo)電類型的第三摻雜區(qū),形成在第一摻雜區(qū)環(huán)繞的第三外延層中。

技術(shù)研發(fā)人員:周源;淮永進(jìn);徐遠(yuǎn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:北京燕東微電子有限公司
文檔號(hào)碼:201621030298
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.31
技術(shù)公布日:2017.07.04

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