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一種雙向超低電容瞬態(tài)電壓抑制器的制作方法

文檔序號:12803272閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種雙向超低電容瞬態(tài)電壓抑制器,其特征在于,包括:

第一導電類型的半導體襯底(2);

第二導電類型的第一外延層(3),形成在該襯底上;

第一導電類型的第一埋層(6),該第一埋層自第一外延層表面延伸至其內(nèi),第一埋層所環(huán)繞的第一外延層的區(qū)域為隔離島;

在隔離島內(nèi)形成的第一導電類型的第三埋層(7),其延伸進入第一外延層;

形成第一導電類型的第三外延層(5);

在隔離島內(nèi)形成的第二導電類型的隔離(8),其從第三外延層表面延伸進入第一外延層;

第一導電類型的第一摻雜區(qū)(10),形成在第三埋層上方的第三外延層中;

第一導電類型的第二摻雜區(qū)(9),包括與隔離接觸的第二摻雜區(qū)和由隔離所環(huán)繞的區(qū)域內(nèi)的第二摻雜區(qū);

第二導電類型的第三摻雜區(qū)(11),形成在第一摻雜區(qū)(10)環(huán)繞的第三外延層中;

其中相互接觸的隔離和第二摻雜區(qū)分別作為第一瞬態(tài)電壓抑制器管的陽極和陰極,第一外延層和襯底分別作為第二瞬態(tài)電壓抑制器管的陽極和陰極,第三摻雜區(qū)和第一摻雜區(qū)分別作為上整流二極管的陽極和陰極,由隔離所環(huán)繞的區(qū)域內(nèi)的第二摻雜區(qū)作為下整流二極管的陰極,下整流二極管與第一、第二瞬態(tài)電壓抑制器管共用陽極;

并且其中第一導電類型與第二導電類型相反。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瞬態(tài)電壓抑制器,其特征在于,還包括

在第二摻雜區(qū)、第一摻雜區(qū)、第三摻雜區(qū)對應的位置形成的引線孔;

在引線孔的位置形成的互連線(13),其中上整流管的陽極和下整流管的陰極通過互連線連接,形成雙向瞬態(tài)電壓抑制器的一個引出端;

形成在襯底背面的金屬化層(1),作為雙向瞬態(tài)電壓抑制器管的另一個引出端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瞬態(tài)電壓抑制器,其特征在于,該與隔離接觸的第二摻雜區(qū)位于所述隔離內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瞬態(tài)電壓抑制器,其特征在于,該第三摻雜區(qū)與第三埋層不接觸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瞬態(tài)電壓抑制器,其特征在于,第一摻雜區(qū)延伸接觸第三埋層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瞬態(tài)電壓抑制器,其特征在于,

第一外延層的電阻率不大于0.02Ω·cm,厚度不小于6μm;

第三外延層的電阻率大于5.5Ω·cm,厚度>5.5μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瞬態(tài)電壓抑制器,其特征在于,

第一摻雜區(qū)為濃度不小于E19cm-3數(shù)量級的第一導電類型雜質(zhì)形成的摻雜區(qū);

第二摻雜區(qū)為濃度不小于E19cm-3數(shù)量級的第一導電類型雜質(zhì)形成的摻雜區(qū);

第三摻雜區(qū)為離子注入劑量大于E14cm-2數(shù)量級的第二導電類型雜質(zhì)并退火后形成的摻雜區(qū)。

8.如權(quán)利要求1-7中任一項所述的瞬態(tài)電壓抑制器,其特征在于,所述第一導電類型為N型,第二導電類型為P型;或

所述第一導電類型為P型,第二導電類型為N型。

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