1.一種SEM/TEM關(guān)聯(lián)分析用真空移動(dòng)裝置，其特征在于：包括與掃描電鏡法蘭相連接的外真空腔體；安裝在外真空腔體底部的二維臺(tái)；偏心套筒用于TEM樣品桿(1)的固定及密封；外真空腔體包括頂部開(kāi)口式箱體主體、可拆卸密封蓋(20)及密封蓋上端可拆卸的觀察窗(19)；TEM樣品桿插入偏心套筒密封前端后與偏心套筒前法蘭、偏心套筒腔體、偏心套筒后法蘭通過(guò)螺栓相互固定，偏心套筒通過(guò)套筒支架放置二維臺(tái)上；二維臺(tái)從下至上依次包括移動(dòng)臺(tái)基板(11)、X/Y方向平移導(dǎo)軌(10)、水平移動(dòng)板(9)及套筒支架(8)；包括兩套推動(dòng)單元，每套結(jié)構(gòu)如下：推動(dòng)桿安裝于固定在推動(dòng)桿支架上的微分筒前端，微分筒后端安裝內(nèi)磁環(huán)，與推動(dòng)桿封頭外的外磁環(huán)形成從動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；兩套推動(dòng)單元分別用于水平平移臺(tái)的X/Y方向平移；水平移動(dòng)板通過(guò)帶有微分筒的推動(dòng)桿(12)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，內(nèi)磁環(huán)(15)通過(guò)腔體外磁環(huán)(17)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)推動(dòng)桿進(jìn)行前進(jìn)/后退的往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SEM/TEM關(guān)聯(lián)分析用真空移動(dòng)裝置，其特征在于：所述的外真空腔體(4)其材料為金屬板材，并通過(guò)焊接一體化成型；與掃描電鏡相連接的外腔體連接法蘭(3)通過(guò)焊接與外真空腔體(4)密封連接，與掃描電鏡法蘭通過(guò)螺栓連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SEM/TEM關(guān)聯(lián)分析用真空移動(dòng)裝置，其特征在于：密封蓋(20)為金屬密封蓋，中間預(yù)留圓孔，用于帶有鋼化玻璃的觀察窗(19)的密封固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SEM/TEM關(guān)聯(lián)分析用真空移動(dòng)裝置，其特征在于：可拆卸密封蓋預(yù)留圓孔安裝直徑觀察窗或者觀察窗替換為帶有電接口的不銹鋼法蘭。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SEM/TEM關(guān)聯(lián)分析用真空移動(dòng)裝置，其特征在于：外腔體與掃描電鏡腔體連接法蘭配有密封圈，外腔體與密封蓋連接法蘭、觀察窗壓蓋處均設(shè)有用于放置對(duì)應(yīng)尺寸真空密封圈的凹槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SEM/TEM關(guān)聯(lián)分析用真空移動(dòng)裝置，其特征在于：微分筒精度0.01mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SEM/TEM關(guān)聯(lián)分析用真空移動(dòng)裝置，其特征在于偏心套筒密封前端(2)內(nèi)部采用階梯式結(jié)構(gòu)，后端焊接密封法蘭用于與偏心套筒腔體的連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SEM/TEM關(guān)聯(lián)分析用真空移動(dòng)裝置，其特征在于：適應(yīng)于不同尺寸、適配于不同透射電鏡的樣品桿，樣品桿表面光潔并帶有密封圈。