1.一種石英舟，其包括兩塊石英板和固設(shè)在所述兩塊石英板之間的至少三根槽棒，每一所述槽棒上間隔設(shè)置有若干用于放置硅片的卡槽，其特征在于，所述兩塊石英板的外端面上分別設(shè)置有供機(jī)械手抓取搬運(yùn)的端面柱，其中一塊所述石英板的外端面還設(shè)置有供插片機(jī)定位的基準(zhǔn)孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟，其特征在于，每一所述槽棒上的卡槽均勻間隔設(shè)置，相鄰兩個(gè)卡槽之間的間距為2mm-2.5mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英舟，其特征在于，所述槽棒有四根，四根所述槽棒相互平行并垂直于所述石英板的內(nèi)端面，四根所述槽棒在所述石英板上呈倒等腰梯形分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英舟，其特征在于，四根所述槽棒包括兩根位于等腰梯形長底邊上的第一槽棒和兩根位于等腰梯形短底邊上的第二槽棒，所述兩根第一槽棒分別開設(shè)槽口相對、槽寬相同的第一卡槽，所述兩根第二槽棒分別開設(shè)槽口相對、槽寬相同的第二卡槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽的槽寬小于所述第二卡槽的槽寬。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述第一槽棒與所述第二槽棒之間以及第二槽棒與第二槽棒之間還設(shè)置有加強(qiáng)筋。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英舟，其特征在于，四個(gè)所述槽棒上用于放置同一個(gè)硅片的四個(gè)卡槽形成一個(gè)卡槽組，所述四個(gè)卡槽的中心面位于同一個(gè)安裝平面上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的石英舟，其特征在于，所述安裝平面與所述石英板的內(nèi)端面呈3度夾角。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英舟，其特征在于，所述槽棒為三根，所述三根槽棒在所述石英板上呈倒等腰三角形，其中一根槽棒位于三角形的頂部，其上卡槽的截面呈“V”字型。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英舟，其特征在于，所述石英板的底部支撐處設(shè)置為平面。