技術(shù)總結(jié)
本用新型涉及一種石英舟，其包括兩塊石英板和固設(shè)在所述兩塊石英板之間的至少三根槽棒，每一所述槽棒上間隔設(shè)置有若干用于放置硅片的卡槽，所述兩塊石英板的外端面上分別設(shè)置有供機(jī)械手抓取搬運(yùn)的端面柱，其中一塊所述石英板的外端面還設(shè)置有供插片機(jī)定位的基準(zhǔn)孔。這樣能夠便于機(jī)械手將石英舟從擴(kuò)散爐中搬運(yùn)到插片機(jī)上以及便于插片機(jī)對(duì)石英舟進(jìn)行定位并裝卸硅片。與現(xiàn)有石英舟相比，本實(shí)用新型的石英舟適用自動(dòng)化加工，大大提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：王俊朝;向文山;李軍陽(yáng);李學(xué)文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳豐盛裝備股份有限公司
文檔號(hào)碼：201620769277
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.19
技術(shù)公布日：2017.01.25