本實(shí)用新型涉及石英制品技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種石英舟。

背景技術(shù)：

石英舟是晶硅太陽能電池?cái)U(kuò)散工序中用于承載硅片，將硅片置于擴(kuò)散爐中反應(yīng)的載具，具有耐高溫和化學(xué)穩(wěn)定性。

傳統(tǒng)的硅片，在加工過程中，需要人工將載有硅片的石英舟從擴(kuò)散爐中搬到插片機(jī)上進(jìn)行裝卸片或者需要人工插片，自動(dòng)化程度低；另外，現(xiàn)有的石英舟裝片間距較大(例如間距為4.76mm)，在相同工藝條件下的產(chǎn)能并不高，生產(chǎn)效率低。隨著硅片自動(dòng)化加工程度越來越高，因此，需要一種適應(yīng)自動(dòng)化加工、生產(chǎn)效率高的石英舟。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于，提供一種適用自動(dòng)化加工、生產(chǎn)效率高的石英舟。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，提供一種石英舟，其包括兩塊石英板和固設(shè)在所述兩塊石英板之間的至少三根槽棒，每一所述槽棒上間隔設(shè)置有若干用于放置硅片的卡槽，所述兩塊石英板的外端面上分別設(shè)置有供機(jī)械手抓取搬運(yùn)的端面柱，其中一塊所述石英板的外端面還設(shè)置有供插片機(jī)定位的基準(zhǔn)孔。

進(jìn)一步地，每一所述槽棒上的卡槽均勻間隔設(shè)置，相鄰兩個(gè)卡槽之間的間距為2mm-2.5mm。

進(jìn)一步地，所述槽棒有四根，四根所述槽棒相互平行并垂直于所述石英板的內(nèi)端面，四根所述槽棒在所述石英板上呈倒等腰梯形分布。

進(jìn)一步地，四根所述槽棒包括兩根位于等腰梯形長底邊上的第一槽棒和兩根位于等腰梯形短底邊上的第二槽棒，所述兩根第一槽棒分別開設(shè)槽口相對(duì)、槽寬相同的第一卡槽，所述兩根第二槽棒分別開設(shè)槽口相對(duì)、槽寬相同的的第二卡槽。

進(jìn)一步地，所述第一卡槽的槽寬小于所述第二卡槽的槽寬。

進(jìn)一步地，所述第一槽棒與所述第二槽棒之間以及第二槽棒與第二槽棒之間還設(shè)置有加強(qiáng)筋。

進(jìn)一步地，四個(gè)所述槽棒上用于放置同一個(gè)硅片的四個(gè)卡槽形成一個(gè)卡槽組，所述四個(gè)卡槽的中心面位于同一個(gè)安裝平面上。

進(jìn)一步地，所述安裝平面與所述石英板的內(nèi)端面呈3度夾角。

進(jìn)一步地，所述槽棒為三根，所述三根槽棒在所述石英板上呈倒等腰三角形，其中一根槽棒位于三角形的頂部，其上卡槽的截面呈“V”字型。

進(jìn)一步地，所述石英板的底部支撐處設(shè)置為平面。

本實(shí)用新型的石英舟，其兩塊石英板的外端面上分別設(shè)置有便于機(jī)械手抓取搬運(yùn)的端面柱，其中一塊石英板的外端面還設(shè)置有便于插片機(jī)定位的基準(zhǔn)孔。這樣能夠便于機(jī)械手將石英舟從擴(kuò)散爐中搬運(yùn)到插片機(jī)上以及便于插片機(jī)對(duì)石英舟進(jìn)行定位并裝卸硅片。與現(xiàn)有石英舟相比，本實(shí)用新型的石英舟適用自動(dòng)化加工，大大提高生產(chǎn)效率。

附圖說明

下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，附圖中。

圖1是本實(shí)用新型的石英舟的立體示意圖。

圖2是圖1中石英舟的俯視示意圖。

圖3是圖2中A-A方向的剖視示意圖。

圖4是圖2中B-B方向的剖視示意圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例作詳細(xì)說明。

如圖1和2所示，本實(shí)用新型的一種石英舟，其包括兩塊石英板10和固設(shè)在兩塊石英板10之間的至少三根槽棒20。每一槽棒20上間隔設(shè)置有若干用于放置硅片1的卡槽21，兩塊石英板10的外端面上分別設(shè)置有供機(jī)械手抓取搬運(yùn)的端面柱11，其中一塊石英板10的外端面還設(shè)置有供插片機(jī)定位的基準(zhǔn)孔12。這樣能夠便于機(jī)械手將石英舟從擴(kuò)散爐中搬運(yùn)到插片機(jī)上以及便于插片機(jī)對(duì)石英舟進(jìn)行定位并裝卸硅片1。與現(xiàn)有石英舟相比，本實(shí)用新型的石英舟適用自動(dòng)化加工，大大提高生產(chǎn)效率。

具體地，每一槽棒20上的卡槽21均勻間隔設(shè)置，相鄰兩個(gè)卡槽21之間的間距為2mm-2.5mm，優(yōu)選為2.5mm。該間距比一般石英舟的間距(例如4.76mm)要小的多，因此，能夠裝載更多的硅片1，大大提高生產(chǎn)效率。在本實(shí)施例中，卡槽21設(shè)置有五百個(gè)，每個(gè)卡槽21中能裝兩塊硅片1，一共可裝載一千塊硅片1。當(dāng)然，卡槽21的間距還可以設(shè)置為其它大小，例如2.38mm、2mm等。

由于石英舟裝載的硅片1比較多，為確保槽棒20能夠承受較大重量，選擇槽棒20為四根。四根槽棒20相互平行并垂直于石英板10的內(nèi)端面。具體地，四根槽棒20上用于放置同一個(gè)硅片1的四個(gè)卡槽21形成一個(gè)卡槽組，四個(gè)卡槽21的中心面位于同一個(gè)安裝平面2上，確保硅片1能夠順利的插入卡槽組中，否則硅片1不能順利插入，使硅片1破碎或磨損。在本實(shí)施例中，安裝平面2與石英板10的內(nèi)端面呈3度夾角，這樣是為了插片機(jī)可以進(jìn)行正常的插取硅片1。如果不傾斜硅片1在石英舟的卡槽組中就會(huì)左右搖擺，這樣會(huì)導(dǎo)致硅片1損傷并且無法插片。

如圖3所示，四根槽棒20在石英板10上呈倒等腰梯形分布，四根槽棒20包括兩根位于等腰梯形長底邊上的第一槽棒20a和兩根位于等腰梯形短底邊上的第二槽棒20b。兩根第一槽棒20a分別開設(shè)槽口相對(duì)、槽寬相同的的第一卡槽21a，兩根第二槽棒20b分別開設(shè)槽口相對(duì)、槽寬相同的的第二卡槽21b。這種結(jié)構(gòu)能夠適應(yīng)不同尺寸的硅片1的放置，例如能夠放置邊長為125mm或156mm的正方形硅片1。在第一槽棒20a與所述第二槽棒20b之間以及第二槽棒20b與第二槽棒20b之間固設(shè)加強(qiáng)筋22，這樣可以加強(qiáng)槽棒20的承受能力。

進(jìn)一步如圖4所示，第一卡槽21a的槽寬小于第二卡槽21b的槽寬，這樣能夠避免由于卡槽21的加工誤差，使得第一卡槽21a與第二卡槽21b不在同一個(gè)安裝平面2上,造成的硅片1磨損的問題。同時(shí)能夠更好的保證每塊硅片1所傾斜的角度一致，達(dá)到硅片1間距均勻的效果。例如，第一卡槽21a的槽寬為0.8mm，第二卡槽的槽寬為1mm。石英板10的底部舟腳處13設(shè)置為平面，當(dāng)石英舟放置在平臺(tái)上時(shí)，石英舟舟腳13與平臺(tái)之間通過平面接觸。這樣能夠避免石英舟舟腳13斷裂損壞。

另外，在石英舟裝載硅片1不多的情況下，槽棒20可以為三根。三根槽棒20在石英板10上呈倒等腰三角形，其中一根槽棒20位于三角形的頂部，其上卡槽21截面呈“V”字型。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，可以對(duì)上述實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而所有這些修改和替換，都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。